一种应用于半导体工艺的运输推车的制作方法

本实用新型涉及半导体工艺技术领域，尤其涉及一种应用于半导体工艺的运输推车。

背景技术：

在半导体工艺的制造过程中，半导体设备的零配件的尺寸越来越大，对于半导体装置和半导体器件的搬运过程中，全自动化操作是很难实现的，因此在搬运环节上存在隐患。

现有技术中通常是采用多层隔板的手推车来搬运，在手推车的设计结构上存在明显的缺陷，(1)每层隔板是固定不变的，工作人员在拿取半导体装置时不方便，甚至会造成半导体装置的损坏；(2)每层隔板的周围未设计保护结构，在运输过程中可能会造成半导体装置的滑落；(3)未设计防震装置，在制动或者推动过程中，会造成损坏；(4)未涉及小型的半导体器件的收纳装置，对于精密性高的半导体器件来说，会造成一定的污染，进一步地带来经济损失。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种应用于半导体工艺的运输推车。

具体技术方案如下：

一种应用于半导体工艺的运输推车，其中包括：

一车身，所述车身由固定支架组成，所述固定支架的边缘设置滑槽，所述固定支架的底部设有滚轮；

至少一支撑板，水平设置于所述固定支架上，每层所述支撑板的边缘设置与所述滑槽相匹配的滑块，每层所述支撑板上还设置一收纳室；

一显示控制装置，包括驱动装置、触控面板；

所述驱动装置包括轴承及电机，所述轴承设置于每层所述支撑板的下方，所述电机驱动所述轴承，所述轴承带动所述滑块于所述滑槽内滑动，以带动每层所述支撑板运动；

所述触控面板电连接所述驱动装置，以控制每层所述支撑板的水平移动或停止；

一防震装置，设置于所述固定支架与所述滚轮之间。

优选的，还包括一推车手柄，于所述支撑板上所述收纳室位于靠近所述推车手柄的一侧。

优选的，每层所述支撑板的边缘设有档杆。

优选的，所述电机为直流电机，具有可充电电源。

优选的，所述触控面板上还设置有开关按钮、前进按钮、后退按钮及停止按钮。

优选的，所述收纳室的侧面开设有开口。

优选的，所述滚轮至少设置为四个。

优选的，数量与所述滚轮对应的所述防震装置为硬性弹簧。

优选的，所述固定支架的底部还设置数量与所述滚轮对应的脚撑。

本实用新型的技术方案有益效果在于：采用多层支撑板，可以放置多种半导体装置，并且每层支撑板上设置收纳室，便于分类收集小的半导体器件，采用电机驱动和触控面板操作，进一步提高工作人员的工作效率，同时车身底部设置防震装置与脚撑，起到防震效果和防止滑动的效果，进一步使得运输推车的制动性和稳定性更好。

附图说明

图1为本实用新型中，关于运输推车的整体结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

一种应用于半导体工艺的运输推车，其中包括：

一车身1，车身1由固定支架10组成，固定支架10的边缘设置滑槽(在图中未示出)，固定支架10的底部设有滚轮101；

至少一支撑板2，水平设置于固定支架10上，每层支撑2板的边缘设置与滑槽(在图中未示出)相匹配的滑块20，每层支撑板2上还设置一收纳室21；

一显示控制装置3，包括驱动装置30、触控面板31；

驱动装置30包括轴承300及电机301，轴承300设置于每层支撑板2的下方，电机301驱动轴承300，轴承300带动滑块20于滑槽(在图中未示出)内滑动，以带动每层支撑板2运动；

触控面板31电连接驱动装置30，以控制每层支撑板2的水平移动或停止；

一防震装置4，设置于固定支架10与滚轮101之间。

通过上述应用于半导体工艺的运输推车的技术方案，如图1所示，运输推车应用于半导体工艺，主要用于运输半导体装置与半导体器件，大型的半导体装置可以放置于每层支撑板2上，小型的半导体器件放置于每层支撑板2上的收纳室21内，并且收纳室21的侧面设置开口210，使得工作人员拿取方便；

进一步地，在需要使用时，将固定支架10底部的脚撑102放下，以保持运输推车静止不动，接着操作触控面板31，启动驱动装置30的电机301，电机301驱动轴承300，轴承300带动滑块20于滑槽(在图中未示出)内滑动，以带动支撑板2移动，当移动到目标位置时，触控面板31控制按下停止按钮；

具体地，电机3放置于最底下一层的支撑板2上，显示控制模板31为触控面板，设置于靠近推车手柄11的位置，控制电机301时，电机301可以同时带动多层支撑板2的移动，并且各层支撑板2之间的移动互不干扰；同时每层支撑板2的边缘设有档杆22，避免半导体装置滑落；进一步方便工作人员使用，提高工作人员的工作效率，同时使得运输推车的制动性和稳定性更好。

在一种较优的实施例中，还包括一推车手柄11，于支撑板2上收纳室21位于靠近推车手柄11的一侧。设置推车手柄11便于工作人员使用，靠近推车手柄11的位置设置触控面板，方便工作人员操作。

在一种较优的实施例中，每层支撑板2的边缘设有档杆22。在每块支撑板2移动的过程中，档杆22起到保护的作用，进一步避免半导体装置的滑动，避免造成不必要的损坏。

在一种较优的实施例中，电机301为直流电机，具有可充电电源302。直流电机采用可充电电源充电，充电一次可进行多次操作，实用性很强。

在一种较优的实施例中，触控面板31上还设置有开关按钮(在图中未示出)、前进按钮(在图中未示出)、后退按钮(在图中未示出)及停止按钮(在图中未示出)。触控面板31方便工作人员操作，并且设置多功能的按钮，其中包括开关按钮(在图中未示出)、前进按钮(在图中未示出)、后退按钮(在图中未示出)及停止按钮(在图中未示出)。

在一种较优的实施例中，收纳室21的侧面开设有开口210。在每层支撑板2上设置收纳室21，主要用于收集小型的半导体器件或者收集对于防尘要求比较高的半导体器件。

在一种较优的实施例中，滚轮101至少设置为四个。设置滚轮101方便运输推车的运输。

在一种较优的实施例中，数量与滚轮101对应的防震装置4为硬性弹簧。防震装置4选择硬性弹簧，起到防震效果，并且价格便宜，经济实惠，利用率高。

在一种较优的实施例中，固定支架10的底部还设置数量与滚轮101对应的脚撑102。在运输的过程中，工作人员需要使用半导体器件时，需要脚撑102来稳定运输推车，进一步使得运输推车的制动性和稳定性更好。

本实用新型的技术方案有益效果在于：采用多层支撑板，可以放置多种半导体装置，并且每层支撑板上设置收纳室，便于分类收集小的半导体器件，采用电机驱动和触控面板操作，进一步提高工作人员的工作效率，同时车身底部设置防震装置与脚撑，起到防震效果和防止滑动的效果，进一步使得运输推车的制动性和稳定性更好。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。