541的一个侧中。气体供应部件530包含在气体注射块540内的气体注射空间541的方向上排列的多个储箱(tanks) 530a、530b以及530c，储箱530a、530b以及530c具有彼此不同的体积。此处，具有相对小体积的储箱可邻近于气体注射空间541而布置。同样地，多个储箱530a、530b以及530c中的每一个可在第一注射狭缝540a以及第二注射狭缝550a中的每一个的延伸方向上延伸。同样地，第一储箱530a可具有从第一储箱530a的两个端朝向第一储箱530a的中心方向逐渐地减小的内径，惰性气体被引入到两个端中。
[0053]更详细地，气体供应部件530包含:第一储箱530a，第一储箱530a包含第一划分构件531、第二划分构件532以及第三划分构件533，第一划分构件531、第二划分构件532以及第三划分构件533在气体注射空间541的方向上彼此隔开，以将第一储箱530a的内部划分以及分割成三个空间(在下文中被称为第一通道531a、第二通道532a以及第三通道533a);第二储箱530b，第二储箱530b具有第一储箱530a与气体注射空间541之间界定的空间，并且具有小于第一储箱530a的体积的体积；第三储箱530c，第三储箱530c界定在第二储箱530b与气体注射空间541之间，并且具有小于第二储箱530b的体积的体积；连接通道530d，连接通道530d将第三储箱530c连接到第二储箱530b ；以及排放狭缝530e，排放狭缝530e将第三储箱530c连接到气体注射空间541，以将惰性气体排放到气体注射空间541中。
[0054]此处，第一储箱530a、第二储箱530b、连接通道530d、第三储箱530c以及排放狭缝530e是在气体注射空间541的方向上从气体注射空间541的外部依次地排列。
[0055]第一储箱530a可为其中收纳从第一气体供应管561以及第二气体供应管562供应的惰性气体以将所收纳的惰性气体供应到第二储箱530b中的空间。第一储箱530a包含:第一划分构件531、第二划分构件532以及第三划分构件533,第一划分构件531、第二划分构件532以及第三划分构件533在第一注射狭缝540a以及第二注射狭缝550a的延伸方向上延伸、在第二储箱530b以及第三储箱530c的方向上排列，并且彼此隔开；以及第一通道531a、第二通道532a以及第三通道533a，第一通道531a、第二通道532a以及第三通道533a是由第一划分构件531、第二划分构件532以及第三划分构件533分割。S卩，第一储箱530a包含:第一划分构件531、第二划分构件532以及第三划分构件533,第一划分构件531、第二划分构件532以及第三划分构件533在第二储箱530b被布置的内部方向上依次地排列；第一通道531a，第一通道531a对应于第一气体注射块540与第一划分构件531之间的空间，并且具有分别连接到第一气体供应管561以及第二气体供应管562的两个端；第二通道532a，第二通道532a对应于第一划分构件531与第二划分构件532之间的空间；以及第三通道533a，第三通道533a对应于第二划分构件532与第三划分构件533之间的空间。此处，第一划分构件531、第二划分构件532以及第三划分构件533可具有相同延伸方向。
[0056]同样地，第一通道531a可在第一通道531a的中心方向上具有从分别连接到气体供应管561以及562的两个端逐渐地减小的内径或宽度。对于这种情形，如图5到图7所说明，第一划分构件531可在第一划分构件531的中心方向上具有从第一划分构件531的两个端逐渐地增大的宽度。更详细地，第一划分构件531可在第一划分构件531的中心方向上具有从第一划分构件531的两个端逐渐地增大的宽度。另外，第一划分构件531可具有面对第一通道531a的一个凸形表面，以及为具有圆弧或扇形形状的平面并且面对第二通道532a的另一表面。同样地，第一划分构件531具有用于允许第一通道531a与第二通道532a连通的多个第一连通孔534a。多个第一连通孔534a可在第一划分构件531的延伸方向上排列，并且彼此隔开。同样地，多个第一连通孔534a可以多级形式(mult1-stages)垂直地设置。
[0057]因此，当从第一气体供应管561以及第二气体供应管562供应惰性气体时，惰性气体可在第一通道531a的中心方向上从第一通道531a的两个端流动，并且接着扩展。此处，因为第一通道531a具有在第一通道531a的中心方向上逐渐地减小的宽度，所以内部压力可在第一通道531a的中心方向上从第一通道531a的两个端逐渐地增大。与在延伸方向上具有相同内径的通道相比较，惰性气体可归因于压力差而快速地扩展到第一通道531a中。因此，惰性气体可均匀地供应到第二储箱530b、第三储箱530c以及排放狭缝530e中，并且因此均匀地供应到衬底S的被照射激光的区域上。
[0058]举例来说，如果第一划分构件531在第一划分构件531的延伸方向上具有相同宽度,那么第一通道531a也可在第一通道531a的延伸方向上具有相同宽度。如果从第一通道531a的两个端供应惰性气体，那么在将惰性气体转移直到第一通道531a的中心区之前，可将惰性气体通过第一划分构件531中界定的多个第一连通孔534a排放到第二通道532a中。因此，如果惰性气体未均匀地供应到第二通道532a中，那么惰性气体可能不会通过第一注射狭缝540a以及第二注射狭缝550a均匀地排放。结果，激光可能非均匀地照射到衬底的被照射激光的区域上，并且因此，衬底的区域的部分可能暴露给氧气以及杂质。
[0059]然而，如上文所描述，因为第一通道531a在第一通道531a的中心方向上具有从第一通道531a的两个端逐渐地减小的宽度，所以与在延伸方向上具有相同宽度的通道相比较，惰性气体可快速地流动。同样地，因为从第一通道531a的两个端供应的惰性气体快速地转移以及扩展直到第一通道531a的中心区，所以惰性气体可均匀地供应到第二通道532a的整个区中，并且因此均匀地注射到衬底S的被照射激光的区域上。
[0060]根据示范性实施例的第二划分构件532可在第二划分构件532的延伸方向上具有相同宽度。举例来说，第二划分构件532可具有形状为正方形的横截面，并且布置在第一划分构件531与第三划分构件533之间。第二划分构件532可具有用于允许第二通道532a与第三通道533a连通的多个第二连通孔535a。多个第二连通孔535a可在第二划分构件532的延伸方向上排列，并且彼此隔开。同样地，多个第二连通孔535a可以多级形式垂直地设置。
[0061]同样地，根据示范性实施例的第三划分构件533可在第三划分构件533的延伸方向上具有相同宽度。举例来说，第三划分构件533可具有形状为正方形的横截面，并且布置在第二划分构件532与第二储箱530b之间。第三划分构件533可具有用于允许第三通道533a与第二储箱530b连通的多个第三连通孔536a。多个第三连通孔536a可在第三划分构件533的延伸方向上排列，并且彼此隔开。同样地，多个第三连通孔536a可以多级形式垂直地设置。
[0062]在分别界定在第一划分构件531、第二划分构件532以及第三划分构件533中的多个连通孔534a、535a以及536a中，设置在第二划分构件532中的第二连通孔535a的数目可小于设置在第一划分构件531中的第一连通孔534a的数目。同样地，设置在第三划分构件533中的第三连通孔536a的数目可小于设置在第二划分构件532中的第二连通孔535a的数目。如果第一划分构件531、第二划分构件532以及第三划分构件533具有相同长度，那么连通孔必须均匀地设置在划分构件531、532以及533中。因此，多个第二连通孔535a之间的距离可大于多个第一连通孔534a之间的距离，并且多个第三连通孔536a之间的距离可大于多个第二连通孔535a之间的距离。
[0063]对于另一实例，第二连通孔535a可具有小于第一连通孔534a的内径的内径，并且第三连通孔536a可具有小于第二连通孔535a的内径的内径。
[0064]当然，第一连通孔534a、第二连通孔535a以及第三连通孔536a的数目以及内径可依次地减小。
[0065]因此，从第一气体供应管561以及第二气体供应管562供应的惰性气体可被逐渐地压缩，同时穿过第一划分构件531的第一连通孔534a、第二划分构件532的第二连通孔535a以及第三划分构件533的第三连通孔536a。结果，惰性气体可均匀地流动，同时穿过第一储箱530a，并且因此，惰性气体可均匀地供应到第二储箱530b的整个区中。
[0066]第二储箱530b可布置在第一储箱530a与第三储箱530c之间，以将从第一储箱530a供应的惰性气体供应到第三储箱530c中。更详细地，第二储箱530b可为在第一储箱530a的第三划分构件533与连接通道530d之间的空间，并且具有小于第一储箱530a的体积的体积。
[0067]第三储箱530c可布置在连接通道530d与排放狭缝530e之间以收纳来自连接通道530d的惰性气体，由此将所收纳的惰性气体供应到排放狭缝530e中。第三储箱530c可具有小于第二储箱530b的体积的体积。
[0068]在当前实施例中，可提供三个储箱530a、530b以及530c，S卩，第一储箱530a、第二储箱530b以及第三储箱530c。然而，本发明并不限于这种情形。举例来说，根据待供应的惰性气体的流动速率，可提供三个或多于三个或少于三个储箱，即，各种数目个储箱。同样地，储箱530a、530b以及530c中的每一个的体积可变化。
[0069]连接通道530d可布置在第二储箱530b与第三储箱530c之间。连接通道530d可具有连接到第二储箱530b的一个端，以及为连接到第三储箱530