处理挠性薄膜结构的显示元件的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及包括对烧性薄膜结构的显示元件进行处理这一技术领域在内的技术领域。特别是，本发明涉及对有机EL显示元件这样的能够形成为挠性薄膜结构的显示元件的处理，但其不为限定性的含义。
【背景技术】
[0002]有机EL显示元件因为能够形成为挠性薄膜结构，所以还可以将使用该显示元件的显示装置形成为曲面，或者挠性地构成整个显示装置，使之能够卷绕成卷筒或弯折。但是，因为这种显示元件为挠性的薄膜结构，所以，在制造显示装置的阶段，显示元件的处理较为不易。
[0003]另外，在智能手机或平板电脑大小的显示装置中所使用的较小尺寸的显示元件，是通过在一个基板上形成多个元件而制造的。作为对工业制造这种较小画面尺寸的有机EL显示元件的方法进行记载的文献，具有韩国专利申请公开公报10-1174834号(专利文献1)。根据该专利文献1所记载的方法，在玻璃基板上形成聚酰亚胺树脂这样的树脂的膜，利用该树脂膜作为形成膜状显示元件所用的基材。然后，在该基材上形成配置为纵横多列的大量显示元件，利用工序膜覆盖其整个面，接着，将形成有该显示元件的基材从玻璃基板上剥离。之后，在贴合有工序膜的状态下，分割各个膜状显示元件，在对应端子部分的位置，剥离该工序膜以使具有形成于各个膜状显示元件一边的电连接用电气端子的该端子部分露出，由此形成各个膜状显示元件。
[0004]在向形成于这种玻璃基板上的显示元件上贴合之后的处理所需要的各种薄膜的工序中，通常使用具有具备真空吸引功能的吸附盘的可动支承台。并且，将玻璃基板上的树脂基材和形成于其上的多个显示元件以玻璃基板在下的状态吸附保持在该支承台的吸附盘上，根据需要向显示元件的表面贴合保护膜。接着，将贴合了保护膜的显示元件与玻璃基板一起搬运至玻璃基板剥离位置。然后，在该玻璃基板剥离位置，利用具备真空吸附功能的第二吸附盘把持树脂基材上的显示元件的上表面，同时，解除可动支承台的吸附盘的真空吸引而将玻璃基板自可动支承台分离，转变为利用第二吸附盘从上方支承的状态。之后，利用从玻璃基板的下侧照射激光等方法，将玻璃基板自树脂基材剥离。该激光照射的方法记载在例如国际公开公报W02009/104371A1 (专利文献2)中。接着，在树脂基材的下表面贴合背面保护膜。
[0005]该方法为了从具备真空吸引功能的可动支承台上接收玻璃基板和形成于其上的树脂基材及显示元件，需要使用具备真空吸附功能的第二吸附盘。因此，整个装置变得庞大且昂贵。
[0006]专利文献1:韩国专利申请公开公报10-1174834号
[0007]专利文献2:国际公开公报W02009/104371A1
[0008]专利文献3:(日本)特开2007-157501号公报
[0009]专利文献4:(日本)特开2013-63892号公报
[0010]专利文献5:(日本)特开2010-13250号公报
[0011]专利文献6:(日本)特开2013-35158号公报
[0012]专利文献7:(日本)特愿2013-070787号
[0013]专利文献8:(日本)特愿2013-070789号
[0014]专利文献9:(日本)专利第5204200号
[0015]专利文献10:(日本)专利第5448264号
【发明内容】
[0016]本发明所要解决的技术问题在于提供一种挠性薄膜结构的显示元件的处理方法，该处理方法能够在不在挠性薄膜结构的显示元件的搬运路径上方使用具备真空吸附功能的吸附盘的前提下，将形成于树脂基材上的挠性薄膜结构的显示元件与玻璃基板这样的耐热性基板一起向后续工序移送。
[0017]本发明在广义上提供一种在通过使挠性薄膜结构的光学显示元件经过多道工序来制造光学显示单元的情况下，处理该挠性薄膜结构的光学显示元件的方法。该方法的特征在于，使一侧形成有粘接剂层的载体带一边以该粘接剂层朝下的状态在所述光学显示元件的输送方向上移动，一边使该载体带的所述粘接剂层与该光学显示元件的上表面接触，在该载体带上接合所述光学显示元件，由此，自该上表面支承该光学显示元件，通过使该载体带在输送方向上移动，贯穿该多道工序地移送光学显示元件。
[0018]本发明一方式的挠性薄膜结构的显示元件的处理方法的特征在于，
[0019]对于在玻璃基板这样的耐热性母基板上支承由树脂基材与形成于该树脂基材上的至少一个挠性薄膜结构的显示元件构成的元件母板而成的母板结构体，使粘接带以该耐热性母基板在下的状态与上述母板结构体的上表面接触，通过利用该粘接带自该上表面支承该母板结构体并使粘接带在输送方向上移动，将该母板结构体向后续工序输送。
[0020]更具体而言，本发明该方式的方法的特征在于，包括:
[0021]在输送方向上对在耐热性母基板上支承由树脂基材与形成于该树脂基材上的至少一个烧性薄膜结构的显示元件构成的元件母板而成的母板结构体以该显示元件朝上的状态进行输送的步骤；
[0022]使具有粘接面且在输送方向上延伸的载体带与在该输送方向上输送的母板结构体的显示元件接触而利用该载体带自上表面支承该母板结构体，通过使该载体带在输送方向上移动，在该输送方向上输送该母板结构体的步骤；
[0023]从由该载体带支承、且在输送方向上被输送的母板结构体中剥离耐热性母基板的步骤；
[0024]—边在输送方向上输送剥离了该耐热性母基板的元件母板，一边在该元件母板的下表面贴合下表面贴合膜，通过使该元件母板的该载体带及下表面贴合膜中的一方或两方在该输送方向上移动，使该元件母板在输送方向上被该载体带及下表面贴合膜中的该一方或两方支承着输送的步骤；
[0025]从下表面贴合了下表面贴合膜的该元件母板的上表面剥去该载体带的步骤。
[0026]元件母板至少可以包括配置成与输送方向平行的纵向列的多个显示元件，在该情况下，上述方法可以包括将剥去了载体带的元件母板与下表面贴合膜一起切割为各个显示元件的切割步骤。
[0027]并且，在本发明的上述方法中，可以在该方法的中间步骤中将剥离了耐热性母基板的所述元件母板卷绕成卷筒，在之后的步骤中从该卷筒中放出元件母板，进行该下表面贴合膜的贴合步骤。显示元件可以为有机EL显示元件。
[0028]根据本发明的其他方式，处理挠性薄膜结构的显示元件的方法可以体现为一种对具有至少一个挠性薄膜结构的显示元件的元件母板进行处理的方法。该方法的特征在于，包括:
[0029]在输送方向上对在玻璃基板这样的耐热性母基板上支承由树脂基材与形成于该树脂基材上的至少一个挠性薄膜结构的显示元件构成的元件母板而成的母板结构体以显示元件朝上的状态进行输送的步骤；
[0030]使具有粘接面且在输送方向上延伸的载体带与在该输送方向上输送的所述母板结构体的该显示元件接触而利用该载体带自上表面支承该母板结构体，通过使该载体带在输送方向上移动，在该输送方向上输送将该母板结构体的步骤；
[0031]从由载体带支承、且在输送方向上被输送的该母板结构体中剥离耐热性母基板的步骤。
[0032]该方法还可以包括将剥离了耐热性母基板的母板结构体与载体带一起卷绕成卷筒的步骤。并且，在将母板结构体与载体带一起卷绕成卷筒的步骤之前，可以包括一边利用该载体带在输送方向上输送母板结构体，一边在母板结构体的剥离了耐热性母基板的面上形成粘接剂层的步骤。
[0033]根据本发明的方法，对于由玻璃基板这样的耐热性母基板和元件母板构成的母板结构体，使粘接带以该耐热性母基板在下的状态与该母板结构体的上表面接触，通过利用该粘接带自该上表面支承该母板结构体并使粘接带在输送方向上移动，来对该母板结构体进行输送，从该母板结构体中剥离耐热性母基板后的元件母板也是利用该粘接带从上方进行支承，所以，能够在不在输送路径的上方使用真空吸引盘的前提下移送母板结构体。
【附图说明】
[0034]图1是表示能够在本发明一实施方式的方法中使用的光学显示元件的一例的俯视图。
[0035]图2是示意性地表示具有较小型显示画面的有机EL显示元件的制造工序的一例的立体图。
[0036]图3(a)、(b)表示应用本发明的方法的元件集合体母板的一例，(a)为俯视图，(b)为剖面图。
[0037]图4(a)、(b)、(c)、(d)是表示表面保护膜剥离动作的各步骤的图。
[0038]图5 (a)、(b)是表示光学检查装置的结构的概况图，(a)表示反射检查装置，(b)表示点灯检查装置。
[0039]图6是表示图2所示的元件集合体母板的点灯检查所用的虚拟端子单元的俯视图。
[0040]图7是表示使用图6所示的虚拟端子单元进行点灯检查的状态的立体图。
[0041]图8是表示整个光学膜贴合机构的侧视概况图。
[0042]图9是表示光学膜的一例的剖面图。
[0043]图10 (a)、(b)、(c)、(d)、(e)是表示本发明一实施方式的、光学膜在元件集合体母板上的贴合顺序的概况图。
[0044]图11(a)、(b)、(c)是表示本发明其他实施方式的、光学膜在元件集合体母板上的贴合顺序的概况图。
[0045]图12是用于实施本发明的光学显示元件处理方法的、一实施方式的光学显示单元制造装置的概况图。
[0046]图13是表示在