然后，覆盖透明导电膜4的侧面，设置第二抗蚀剂膜24。因而，以透明导电膜4被第一表面抗蚀剂膜22以及第二抗蚀剂膜24覆盖的形态，蚀刻基板2。其结果，能够防止透明导电膜4被蚀刻液26腐蚀。
[0093](3)根据本实施方式，将基板2的第二面2b朝向重力加速度方向31，向第二面2b喷射蚀刻液26。到达第二面2b的蚀刻液26与基板2反应，成为包含基板2的材料的状态。然后，位于第二面2b的蚀刻液26由于重力的作用从第二面2b脱离。因而，在基板2的第二面2b中包含基板2的材料的蚀刻液26的除去和不包含基板2的材料的蚀刻液26的供给并行。其结果，能够高效率地蚀刻基板2。
[0094](4)根据本实施方式，基板2的侧面相对于第一面2a成斜面。于是，第一面2b相对于第二面2b突出。因为基板2的侧面相对于第一面2a成斜面，从而喷射蚀刻液26而形成基板2。然后，设置有发电膜3的第一面2a比第二面2b突出，所以在第二面2b设置抗蚀剂膜并从第二面2b侧喷射蚀刻液26。此时，是仅从第二面2b喷射蚀刻液26的方法。因而，由于图案形成为一次，因此本实施方式的太阳能电池1是不产生图案形成的位置偏移的电池。而且，由于蚀刻为一次，因此与进行两次蚀刻的方法相比较，能够制成可高生产率地形成的太阳能电池1。
[0095](5)根据本实施方式，太阳能电池1用蚀刻形成。在用冲压模具进行冲割(blanking)时，太阳能电池1增大则形状精度降低。蚀刻时，由于形状精度由曝光装置的精度决定，因此与冲割相比较，能够高精度地形成形状。
[0096](第二实施方式)
[0097]接着，使用图10以及图11，对太阳能电池的一个实施方式进行说明。图10的(a)是示出钟表的构造的模式侧视图，图10的(b)是示出太阳能电池的构造的模式俯视图。图10的(a)以及图10的(b)是省略钟表的外部装饰的图。本实施方式中的钟表具备与第一实施方式同样构造的太阳能电池。而且，对于第一实施方式相同点省略说明。
[0098]即，在本实施方式中，如图10所不，作为电子机器的钟表35具备机芯36，在机芯36设置有轮系(train wheel) 37、驱动电路38、电源部39等。机芯36是指在钟表35中除去外部装饰以及指针等的部分。轮系37由多个齿轮构成，各齿轮以不同旋转数进行旋转。秒针轴40、分针轴41、时针轴42从轮系37突出。在秒针轴40设置有秒针43，在分针轴41设置有分针44。在时针轴42设置有时针45。
[0099]在机芯36的时针45侧在机芯36上重叠设置有太阳能电池46以及刻度盘(dialplate)47。在刻度盘47设置有示出时、分、秒的刻度。刻度盘47由光透过性材料构成，照射钟表35的光照射在太阳能电池46。然后，太阳能电池46接收光并发电。太阳能电池46由无图示的配线与驱动电路38连接。
[0100]太阳能电池46发电的电力通过驱动电路38对电源部39通电。电源部39具备蓄电器，电源部39对太阳能电池46发电的电力进行蓄电。在驱动电路38设置无图示的电动机，驱动电路38驱动电动机。此时，驱动电路38使用蓄电于电源部39的电力。通过电动机，轮系37内的齿轮旋转，秒针轴40、分针轴41以及时针轴42旋转。其结果，秒针43、分针44以及时针45旋转。
[0101]如图10的(b)所示，太阳能电池46具有第一太阳能电池46a以及第二太阳能电池46b，第一太阳能电池46a和第二太阳能电池46b通过配线部件48串联。
[0102]太阳能电池46是与第一实施方式的太阳能电池1同样的构造。太阳能电池46具备基板2，在基板2的第一面2a设置有发电膜3。基板2的侧面相对于第一面2a为斜面，相对于第二面2b，第一面2a突出。即，太阳能电池46用蚀刻形成，从第二面2b侧喷射蚀刻液26而形成。
[0103]图11是太阳能电池集合基板的模式俯视图，其是用于说明步骤S5的基板蚀刻工序的图。如图11所示，太阳能电池集合基板49具备框体50。在太阳能电池单元30形成有六个第一太阳能电池46a以及第二太阳能电池46b。第一太阳能电池46a通过连接部51与框体50连接，第二太阳能电池46b也通过连接部51与框体50连接。第一太阳能电池46a和第二太阳能电池46b通过连接部51连接。
[0104]太阳能电池集合基板49在与第一实施方式同样地没有设置发电膜3的侧的面上从喷嘴25喷射蚀刻液26而进行蚀刻。S卩，太阳能电池46用一次蚀刻形成发电膜3以及太阳能电池集合基板49的形状。因而，太阳能电池46是形状精度高且生产率良好地形成的电池。其结果，钟表35能够成为具备形状精度高且生产率良好地形成的太阳能电池的电子机器。
[0105]而且，本实施方式并不限定于上述实施方式，在本发明的技术思想内由在本领域中具有通常知识的技术人员施加各种变更或改良。以下叙述变形例。
[0106](变形例1)
[0107]在上述第一实施方式中，在步骤S4的抗蚀剂膜设置工序中，用第二抗蚀剂膜24覆盖第一表面抗蚀剂膜22的槽部22c、分离表面图案22e以及定位表面图案22f。改为该方法，剥离第一表面抗蚀剂膜22，也可以在透明导电膜4上设置具有分离表面图案22e以及定位表面图案22f的图案的抗蚀剂膜。然后，用抗蚀剂膜覆盖对应于槽部图案22c的地方。然后，也可以从喷嘴25向第二面2b侧喷射蚀刻液26。用该方法也能够形状精度精确地形成太阳能电池1。
[0108](变形例2)
[0109]在上述第一实施方式中，由长方形的基板2形成太阳能电池1。基板2可以是长的卷材。能够高效率地向制造装置供给。而且，卷材也称作条带材料(ribbon material)或者环带材料(hoop material)。
[0110](变形例3)
[0111]在上述第一实施方式中，半导体层16为三层构造的多接合型的发电层。半导体层16可以是利用光发电的层，还可以适用各种pn接合、pin接合。
[0112](变形例4)
[0113]在上述第二实施方式中，示出具备太阳能电池46的钟表35的例子。在具备太阳能电池的全部电子机器中能够设置从基板2的第二面2b侧喷射蚀刻液26而形成的太阳能电池。其结果，能够制成具备高形状精度且生产率良好地形成的太阳能电池的电子机器。例如，在便携式电话、计步器(注册商标)、收音机、电视机、数码相机、摄像机、温度计等电子机器能够设置与上述太阳能电池1相同制造方法的太阳能电池。
【主权项】
1.一种太阳能电池的制造方法，其特征在于， 在基板的第一面设置具有光电转换功能的发电膜； 在所述第一面侧和所述第一面的相反侧的第二面设置第一抗蚀剂膜； 将所述第一抗蚀剂膜图案形成为规定的形状；以及 从所述第二面侧向所述基板喷射蚀刻液并使所述基板形成为规定的形状。2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于， 所述第一抗蚀剂膜在所述第一面侧和第二面侧图案形成为不同的形状。3.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于， 在设置所述第一抗蚀剂膜前与所述发电膜重叠地设置透明导电膜， 所述第一抗蚀剂膜被设置于所述透明导电膜上， 在图案形成所述第一抗蚀剂膜后蚀刻所述透明导电膜， 覆盖所述透明导电膜的侧面而设置第二抗蚀剂膜。4.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于， 在向所述基板喷射所述蚀刻液时将所述第二面朝向重力加速度方向。5.一种太阳能电池，其特征在于， 在具有第一面和与所述第一面相对的第二面的基板的所述第一面设置具有光电转换功能的发电膜， 所述基板的侧面相对于所述第一面成为斜面， 相对于所述第二面，所述第一面突出。6.一种电子机器，其特征在于， 所述电子机器具备太阳能电池， 所述太阳能电池是权利要求5所述的太阳能电池。7.根据权利要求6所述的电子机器，其特征在于， 所述电子机器是钟表。
【专利摘要】本发明提供了高形状精度且生产率良好地制造太阳能电池的太阳能电池、电子机器以及太阳能电池的制造方法。将发电膜(3)设置于基板(2)的第一面(2a)，与发电膜(3)重叠地设置透明导电膜(4)，在透明导电膜(4)上以及与第一面(2a)相反侧的第二面(2b)上设置第一表面抗蚀剂膜(22)以及第一背面抗蚀剂膜(23)，将第一背面抗蚀剂膜(23)图案形成为规定的形状，从第二面(2b)侧向基板(2)喷射蚀刻液(26)而使基板(2)形成为规定的形状。
【IPC分类】H01L31/20, H01L31/0352
【公开号】CN105374905
【申请号】CN201510474273
【发明人】永野大介
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年8月5日
【公告号】US20160043252