制造显示装置的装置和方法
【专利说明】制造显示装置的装置和方法
[0001]本申请要求于2014年10月6日在韩国知识产权局提交的第10-2014-0134487号韩国专利申请的权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。
技术领域
[0002]所描述的技术总体上涉及一种制造显示装置的装置和方法。
【背景技术】
[0003]便携式或移动设备已被广泛使用。例如，平板电脑是移动电子设备的常见示例，除了诸如移动电话的小尺寸电子设备之外。
[0004]这些电子设备包括显示单元，用于支持各种功能并向用户提供诸如图像或视频的可视信息。最近，随着用于驱动显示单元的组件已经被小型化，显示单元已经逐渐地增大尺寸。此外，已经开发出能够被弯曲(即，具有相对于平坦构造的预定角度)的显示器。
【发明内容】
[0005]—个发明方面是一种用于制造显示装置的装置和制造显示装置的方法。
[0006]另一个方面是一种用于制造显示装置的装置，该装置包括:室；无机层形成喷嘴单元，形成在室中，用于形成无机层；有机层形成喷嘴单元，形成在室中，并被布置为无机层形成喷嘴单元顺列以形成有机层；以及分隔喷嘴单元，形成在无机层形成喷嘴单元与有机层形成喷嘴单元之间以喷射惰性气体。
[0007]无机层形成喷嘴单元和分隔喷嘴单元以及有机层形成喷嘴单元和分隔喷嘴单元可被形成为彼此分隔开，室中的气体可在无机层形成喷嘴单元与分隔喷嘴单元之间以及有机层形成喷嘴单元与分隔喷嘴单元之间被抽吸。
[0008]所述装置还可包括形成在所述室中以直线地移动的传送单元，其中，其上形成有显示单元的基底被安装在传送单元上。
[0009]无机层形成喷嘴单元可包括:源气体供给喷嘴单元，包括第一空间，源气体被供给到第一空间以被喷射；等离子体供给喷嘴单元，包括第二空间，反应气体被供给到第二空间以产生等离子体，等离子体供给喷嘴单元向外部喷射等离子体；以及吹扫气体供给喷嘴单元，与源气体供给喷嘴单元和等离子体供给喷嘴单元中的至少一个分开，并供给吹扫气体。
[0010]等离子体供给喷嘴单元可包括:反应气体供给单元，形成在第二空间中并包括第三空间，使得可通过第三空间供给反应气体；以及等离子体供给喷嘴主体，被设置为围绕反应气体供给单元以与反应气体供给单元形成第二空间，并与反应气体供给单元产生电势差以从反应气体(从第三空间供给到第二空间的)产生等离子体。
[0011]有机层形成喷嘴单元可包括喷头，喷头供给来自外部的沉积气体以形成活化的离子物种并喷射活化的离子物种。
[0012]有机层形成喷嘴单元可包括:外部，形成外观；绝缘单元，形成在外部中并在其中包括喷头；以及第二电源单元，用于在外部与喷头之间产生电势差。
[0013]无机层形成喷嘴单元、分隔喷嘴单元和有机层形成喷嘴单元可顺序地布置。
[0014]有机层形成喷嘴单元、分隔喷嘴单元和无机层形成喷嘴单元可顺序地布置。
[0015]无机层形成喷嘴单元和有机层形成喷嘴单元中的至少一者可设置为多个。
[0016]分隔喷嘴单元可形成在两个相邻的无机层形成喷嘴单元之间或两个相邻的有机层形成喷嘴单元之间。
[0017]所述装置还可包括卸载单元，卸载单元用于通过连接到所述室来从所述室卸载基底，在所述室中，其上形成有显示单元的基底被运送，并且通过形成无机层和有机层中的至少一个在显示单元上形成薄膜包封层。
[0018]所述装置还可包括保护层形成单元，保护层形成单元连接到卸载单元使得基底可从卸载单元传送，保护层形成单元在薄膜包封层上形成保护层。
[0019]另一方面是一种制造显示装置的方法，该方法包括:将其上形成有显示单元的基底运送到室中；通过在室中在显示单元上沉积无机层和有机层来形成薄膜包封层；以及通过连接到室的保护层形成单元在薄膜包封层上形成保护层。
[0020]薄膜包封层可由用于形成无机层的无机层形成喷嘴单元和用于形成有机层的有机层形成喷嘴单元来形成，其中，无机层形成喷嘴单元和有机层形成喷嘴单元在室中彼此直列地布置。
[0021 ] 在形成无机层和有机层的同时，可以传送基底。
[0022]该方法还可包括:在形成无机层或有机层时，向基底的侧表面喷射惰性气体。
[0023]该方法还可包括抽吸惰性气体。无机层和有机层中的至少一者可设置为多个。
[0024]另一个方面是一种用于制造显示装置的装置，该装置包括:室；无机层形成喷嘴单元，形成在室中并被配置为形成至少一个无机层；有机层形成喷嘴单元，形成在室中并被配置为形成至少一个有机层，其中，有机层形成喷嘴单元与无机层形成喷嘴单元基本上直列地布置；以及分隔喷嘴单元，形成在无机层形成喷嘴单元与有机层形成喷嘴单元之间并被配置为喷射惰性气体。
[0025]上述装置还包括被配置为在无机层形成喷嘴单元与分隔喷嘴单元之间以及有机层形成喷嘴单元与分隔喷嘴单元之间抽吸室中的气体的吸气单元。上述装置还包括形成在室中并被配置为基本上直线地移动的传送器，其中，传送器还被配置为接收其上形成有显示单元的基底。在上述装置中，无机层形成喷嘴单元包括:源气体供给喷嘴，包括第一空间，源气体被供给到第一空间以被喷射；等离子体供给喷嘴，包括第二空间，反应气体被供给到第二空间以产生等离子体，等离子体供给喷嘴被配置为向外部喷射等离子体；以及吹扫气体供给喷嘴，与源气体供给喷嘴和等离子体供给喷嘴中的至少一个分开，并被配置为供给吹扫气体。在上述装置中，等离子体供给喷嘴包括:反应气体供给单元，形成在第二空间中并包括第三空间，通过第三空间供给反应气体；以及等离子体供给喷嘴主体，被配置为围绕反应气体供给单元以与反应气体供给单元形成第二空间，并被配置为与反应气体供给单元产生电势差以从反应气体产生等离子体。
[0026]在上述装置中，有机层形成喷嘴单元包括喷头，喷头被配置为供给沉积气体以形成活化的离子物种并被配置为喷射活化的离子物种。在上述装置中，有机层形成喷嘴单元包括:外部，形成外观；绝缘单元，形成在外部中并在其中包括喷头；以及第二电源单元，被配置为在外部与喷头之间产生电势差。在上述装置中，无机层形成喷嘴单元、分隔喷嘴单元和有机层形成喷嘴单元顺序地布置。在上述装置中，有机层形成喷嘴单元、分隔喷嘴单元和无机层形成喷嘴单元顺序地布置。在上述装置中，无机层形成喷嘴单元是多个喷嘴单元，和/或有机层形成喷嘴单元是多个喷嘴单元。
[0027]在上述装置中，分隔喷嘴单元形成在两个相邻的无机层形成喷嘴单元之间或两个相邻的有机层形成喷嘴单元之间。上述装置还包括卸载器，卸载器被配置为从室卸载其上形成有显示单元和薄膜包封层的基底。上述装置还包括与被配置为传送基底的卸载器连接的保护层形成单元，其中，保护层形成单元被配置为在薄膜包封层上形成保护层。
[0028]另一方面是一种制造显示装置的方法，该方法包括:将其上形成有显示单元的基底运送到室中；在室中在显示单元上沉积无机材料和有机材料，以形成薄膜包封层；以及通过连接到室的保护层形成单元在薄膜包封层上形成保护层。
[0029]在上面的方法中，通过被配置为喷射无机材料的无机层形成喷嘴单元和被配置为喷射有机材料的有机层形成喷嘴单元来形成薄膜包封层，其中，无机层形成喷嘴单元和有机层形成喷嘴单元在室中基本上彼此直列地布置。在上面的方法中，在沉积无机材料和有机材料的同时传送基底。上述方法还包括:在沉积无机材料和有机材料时，向基底的侧表面喷射惰性气体。上述方法还包括抽吸惰性气体。在上面的方法中，沉积包括形成至少一个无机层和至少一个有机层。
[0030]另一方面是一种用于制造显示装置的装置，该装置包括:室；多个第一喷嘴，安置在室中，其中，多个第一喷嘴中的每个被配置为喷射无机材料以形成无机层；以及多个第二喷嘴，安置在室中，其中，多个第二喷嘴中的每个被配置为喷射有机材料以形成有机层，其中，第一喷嘴和第二喷嘴交替地布置。
【附图说明】
[0031]图1是根据实施例的用于制造显示装置的装置的概念图。
[0032]图2是图1的用于制造显示装置的装置中的无机层形成喷嘴单元和有机层形成喷嘴单元的布置的概念图。
[0033]图3是图2的无机层形成喷嘴单元的分解透视图。
[0034]图4是无机层形成喷嘴单元沿图3中的IV-1V线截取的剖视图。
[0035]图5是由图1的用于制造显示装置的装置制造的显示装置的概念图。
[0036]图6是图5的显示装置的部分的剖视图。
【具体实施方式】
[0037]因为所描述的技术允许各种变化和众多实施例，所以将在附图中示出具体的实施例，并将在书面描述中详细地描述具体的实施例。然而，这并不意图将所描述的技术局限于具体的实施方式，并且将要理解的是，不脱离精神和技术范围的所有改变、等同物和替换物被包含在所描述的技术中。
[0038]在下文中，将通过参照附图解释所描述的技术的示例性实施例来详细描述所描述的技术。附图中的相同的附图标记表示相同的元件。
[0039]将要理解的是，尽管在这里可使用术语“第一”、“第二”等来描述各种组件，但是这些组件不应该受这些术语的限制。这些术语仅是用来将一个组件与另一个组件区分开来。
[0040]如这里所使用的，除非上下文另外清楚地指出，否则单数形式的“一个(种)(者)”、“该”和“所述”也意图包括复数形式。
[0041]将要理解的是，当层、区域或组件被称作“形成在”另一层、区域或组件“上”时，它可