在显示单元D上。
[0108]在完成上述工艺后，从第一吹扫气体供给喷嘴单元133a供给吹扫气体，以去除显示单元D上的反应副产物。
[0109]在上述工艺过程中，第一分隔喷嘴单元150a喷射惰性气体，以将室120的其他区域与第一无机层形成喷嘴单元130a阻断。第一分隔喷嘴单元150a可设置为围绕第一无机层形成喷嘴单元130a。
[0110]当从第一分隔喷嘴单元150a喷射惰性气体时，惰性气体将第一无机层形成喷嘴单元130a与外部阻断，以防止副产物或来自第一无机层形成喷嘴单元130a的气体泄漏。
[0111]此外，在上述喷射惰性气体的过程中，惰性气体、副产物以及使用过的气体可在第一无机层形成喷嘴单元130a与第一分隔喷嘴单元150a之间被吸出，并排到室120的外部。
[0112]当执行上述工艺之后，在显示单元D上形成第一无机层U1时，传送单元160可将基底210传送到第一有机层形成喷嘴单元140a的下表面。
[0113]第一有机层形成喷嘴单元140a可按照与第一无机层形成喷嘴单元130a类似的方式来操作。具体地，将沉积气体供给到第一喷头141a以形成活化的离子物种(activated1n species)，并将活化的离子物种喷射到基底210上。第二电源单元145在第一外部142a与第一喷头141a之间产生电势差以将沉积气体沉积在显示单元D上。这里，第一绝缘单元143a可使第一外部142a和第一喷头141a彼此绝缘。
[0114]在完成上述工艺后，可在第一无机层U1上形成第一有机层01。这里，与第一分隔喷嘴单元150a相似，第二分隔喷嘴单元150b可将第一有机层形成喷嘴单元140a与外部阻断。
[0115]可执行上述工艺以形成第二无机层U2和第二有机层02。这里，第一无机层U1、第一有机层01、第二无机层U2和第二有机层02顺序地堆叠，且上述层中的每个可以不清楚地与其他层区分开。具体地，因为第一无机层U1、第一有机层01、第二无机层U2和第二有机层02在室120中形成，所以无机层和有机层可在层之间的边界处混合。
[0116]在通过在显示单元D上顺序地形成第一无机层U1、第一有机层01、第二无机层U2和第二有机层02来形成薄膜包封层E之后，传送单元160可将基底210供给到卸载单元170。
[0117]将基底210从卸载单元170供给到保护层形成单元180，保护层形成单元180可在薄膜包封层E上形成保护层P。保护层P可通过各种方式形成。例如，可使用溅射法、离子束沉积法、蒸发法或化学气相沉积法形成保护层P。在下文中，为了便于描述，将假设保护层P由化学气相沉积法形成。
[0118]保护层P可被形成为基本上围绕薄膜包封层E的整个侧表面。因此，保护层P可保护薄膜包封层E免受潮气或氧的影响，从而可增加薄膜包封层E的寿命。
[0119]根据装置100和制造显示装置的方法，在一个室120中直列地(或顺列地、直线地或串列地)传送基底210以形成薄膜包封层E，因此，可以减小当形成薄膜包封层E时会出现的占用区域(footprint)。
[0120]此外，根据装置100和制造显示装置的方法，通过在一个室120内形成无机层和有机层来形成薄膜包封层E，因此，可防止如果在彼此分开的室中形成无机层和有机层则会出现的每层中的裂纹。
[0121]另外，无机层和有机层顺序地并连续地堆叠，然后形成保护层P。因此，可防止潮气从外部渗透到显示装置200。
[0122]如上所述，根据公开的实施例中的至少一个，可增加显示装置的寿命。
[0123]应该理解的是，这里描述的示例性实施例应该仅以描述性的含义来考虑，而不是出于限制的目的。每个示例性实施例内的特征或方面的描述通常应当被看作可适用于其他示例性实施例中的其他相似特征或方面。
[0124]尽管已经参照附图描述了本发明的技术，但是本领域普通技术人员将理解的是，在不脱离如权利要求限定的精神和范围的情况下，对其可做出形式和细节上的各种改变。
【主权项】
1.一种用于制造显示装置的装置，其特征在于，所述用于制造显示装置的装置包括: 室; 无机层形成喷嘴单元，形成在所述室中并被配置为形成至少一个无机层； 有机层形成喷嘴单元，形成在所述室中并被配置为形成至少一个有机层，其中，所述有机层形成喷嘴单元与所述无机层形成喷嘴单元基本上直列地布置；以及 分隔喷嘴单元，形成在所述无机层形成喷嘴单元与所述有机层形成喷嘴单元之间并被配置为喷射惰性气体。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括被配置为在所述无机层形成喷嘴单元与所述分隔喷嘴单元之间以及所述有机层形成喷嘴单元与所述分隔喷嘴单元之间抽吸所述室中的气体的吸气单元。3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括形成在所述室中并被配置为基本上直线地移动的传送器，其中，所述传送器还被配置为接收其上形成有显示单元的基底。4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述无机层形成喷嘴单元包括: 源气体供给喷嘴，包括第一空间，源气体被供给到所述第一空间以被喷射； 等离子体供给喷嘴，包括第二空间，反应气体被供给到所述第二空间以产生等离子体，所述等离子体供给喷嘴被配置为向外部喷射所述等离子体；以及 吹扫气体供给喷嘴，与所述源气体供给喷嘴和所述等离子体供给喷嘴中的至少一个分开，并被配置为供给吹扫气体。5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述等离子体供给喷嘴包括: 反应气体供给单元，形成在所述第二空间中并包括第三空间，通过所述第三空间供给所述反应气体；以及 等离子体供给喷嘴主体，被配置为围绕所述反应气体供给单元以与所述反应气体供给单元形成所述第二空间，并被配置为与所述反应气体供给单元产生电势差以从所述反应气体产生所述等离子体。6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述有机层形成喷嘴单元包括喷头，所述喷头被配置为供给沉积气体以形成活化的离子物种并被配置为喷射所述活化的离子物种。7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述有机层形成喷嘴单元包括: 外部，形成外观； 绝缘单元，形成在所述外部中并在其中包括所述喷头；以及 第二电源单元，被配置为在所述外部与所述喷头之间产生电势差。8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述无机层形成喷嘴单元、所述分隔喷嘴单元和所述有机层形成喷嘴单元顺序地布置。9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述有机层形成喷嘴单元、所述分隔喷嘴单元和所述无机层形成喷嘴单元顺序地布置。10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述无机层形成喷嘴单元是多个喷嘴单元，所述有机层形成喷嘴单元是多个喷嘴单元，或其组合。11.如权利要求10所述的装置，其特征在于，所述分隔喷嘴单元形成在两个相邻的无机层形成喷嘴单元之间或两个相邻的有机层形成喷嘴单元之间。12.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括卸载器，所述卸载器被配置为从所述室卸载其上形成有显示单元和薄膜包封层的基底。13.如权利要求12所述的装置，其特征在于，所述装置还包括与被配置为传送所述基底的所述卸载器连接的保护层形成单元，其中，所述保护层形成单元被配置为在所述薄膜包封层上形成保护层。14.一种制造显示装置的方法，其特征在于，所述方法包括: 将其上形成有显示单元的基底运送到室中； 在所述室中在所述显示单元上沉积无机材料和有机材料，以形成薄膜包封层；以及 通过连接到所述室的保护层形成单元在所述薄膜包封层上形成保护层。15.如权利要求14所述的方法，其特征在于，通过被配置为喷射所述无机材料的无机层形成喷嘴单元和被配置为喷射所述有机材料的有机层形成喷嘴单元来形成所述薄膜包封层，其中，所述无机层形成喷嘴单元和所述有机层形成喷嘴单元在所述室中基本上彼此直列地布置。16.如权利要求14所述的方法，其特征在于，在沉积所述无机材料和所述有机材料的同时传送所述基底。17.如权利要求14所述的方法，其特征在于，所述方法还包括:在沉积所述无机材料和所述有机材料时，向所述基底的侧表面喷射惰性气体。18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，所述方法还包括抽吸所述惰性气体。19.如权利要求14所述的方法，其特征在于，所述沉积包括形成至少一个无机层和至少一个有机层。20.一种用于制造显示装置的装置，其特征在于，所述用于制造显示装置的装置包括: 室； 多个第一喷嘴，安置在所述室中，其中，所述多个第一喷嘴中的每个被配置为喷射无机材料以形成无机层；以及 多个第二喷嘴，安置在所述室中，其中，所述多个第二喷嘴中的每个被配置为喷射有机材料以形成有机层，其中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴交替地布置。
【专利摘要】公开了一种制造显示装置的装置和方法。在一方面，该装置包括室和形成在室中并被配置为形成至少一个无机层的无机层形成喷嘴单元。该装置还包括形成在室中并被配置为形成至少一个有机层的有机层形成喷嘴单元，其中，有机层形成喷嘴单元与无机层形成喷嘴单元基本上直列地布置。该装置还包括形成在无机层形成喷嘴单元与有机层形成喷嘴单元之间并被配置为喷射惰性气体的分隔喷嘴单元。
【IPC分类】H01L51/56, H01L27/32
【公开号】CN105489630
【申请号】CN201510645298
【发明人】许明洙, 高东均, 张喆旼, 金圣哲, 金仁敎, 卢喆来
【申请人】三星显示有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年10月8日
【公告号】EP3006598A2, EP3006598A3, US20160097124