直接或间接地形成在另一个层、区域或组件上。即，例如，可存在中间层、中间区域或中间组件。
[0042]为了便于说明，可夸大附图中的组件的尺寸。换句话说，因为为了便于说明而任意地示出了附图中的组件的尺寸和厚度，所以下面的实施例并不局限于此。
[0043]在下面的示例中，X轴、y轴和z轴不限于直角坐标系的三个轴，并可以以更广泛的意义来解释。例如，X轴、y轴和z轴可彼此垂直，或者可表示彼此不垂直的不同的方向。
[0044]当可不同地实现特定的实施例时，可以与所描述的顺序不同地执行特定的工艺顺序。例如，连续地描述的两个工艺可基本上同时地执行，或者按照与所描述的顺序相反的顺序执行。
[0045]如在这里使用的，术语“和/或”包括一个或更多个相关所列项的任意和所有组合。当诸如“……中的至少一个(种)(者)”的表述放在一系列元件(要素)之后时，修饰整个系列的元件(要素)，而不是修饰所述系列中的个别元件(要素)。在本公开中，术语“基本上”包括完全、几乎完全或在一些应用下对本领域技术人员而言达到任何显著程度的含义。此外，“形成在……上”也可指“形成在……上方”。术语“连接”包括电连接。
[0046]参照图1至图6，用于制造显示装置的装置100包括室120、无机层形成喷嘴单元130、有机层形成喷嘴单元140、分隔喷嘴单元150、传送单元或传送器160、装载单元或装载器110、卸载单元或卸载器170和保护层形成单元180。
[0047]室120可连接到装载单元110和卸载单元170。这里，闸阀191可设置在室120与装载单元110之间以及室120与卸载单元170之间。
[0048]室120可具有内部空间，无机层形成喷嘴单元130、有机层形成喷嘴单元140、分隔喷嘴单元150和传送单元160可形成在内部空间中。这里，无机层形成喷嘴单元130、有机层形成喷嘴单元140和分隔喷嘴单元150可被布置为直列式(in-line type,或称为顺列式、直线式或串联式)。
[0049]无机层形成喷嘴单元130、有机层形成喷嘴单元140和分隔喷嘴单元150可以以各种方式布置。例如，无机层形成喷嘴单元130、分隔喷嘴单元150和有机层形成喷嘴单元140顺序地形成。根据另一实施例，有机层形成喷嘴单元140、分隔喷嘴单元150和无机层形成喷嘴单元130顺序地形成。根据另一实施例，无机层形成喷嘴单元130、分隔喷嘴单元150和有机层形成喷嘴单元140形成一组，并且该组被重复地布置。另外，有机层形成喷嘴单元140、分隔喷嘴单元150和无机层形成喷嘴单元130可形成一组，并且该组被重复地布置。这里，分隔喷嘴单元150可形成在这些组之间。
[0050]除了上述示例之外，从无机层形成喷嘴单元130、有机层形成喷嘴单元140和分隔喷嘴单元150中选择的至少一者可设置为多个。这里，除了上述示例之外，分隔喷嘴单元150可形成在无机层形成喷嘴单元130中的彼此相邻的无机层形成喷嘴单元130之间。此夕卜，分隔喷嘴单元150可形成在有机层形成喷嘴单元140中的彼此相邻的有机层形成喷嘴单元140之间。
[0051]在下文中，如果存在多个无机层形成喷嘴单元130、多个有机层形成喷嘴单元140和多个分隔喷嘴单元150，则为了便于描述，沿着传送基底210的方向用第一、第二、……和第N来表示它们。
[0052]例如，无机层形成喷嘴单元130、有机层形成喷嘴单元140和分隔喷嘴单元150按照第一无机层形成喷嘴单元、第一分隔喷嘴单元、第二无机层形成喷嘴单元、第二分隔喷嘴单元和第一有机层形成喷嘴单元的顺序布置。此外，第一有机层形成喷嘴单元、第一分隔喷嘴单元、第二有机层形成喷嘴单元、第二分隔喷嘴单元和第一无机层形成喷嘴单元可顺序地布置。另外，第一有机层形成喷嘴单元、第一分隔喷嘴单元、第二有机层形成喷嘴单元、第二分隔喷嘴单元、第一无机层形成喷嘴单元、第三分隔喷嘴单元、第三有机层形成喷嘴单元、第四分隔喷嘴单元和第四有机层形成喷嘴单元可顺序地布置。
[0053]作为另一个实施例，第一有机层形成喷嘴单元、第一分隔喷嘴单元、第二有机层形成喷嘴单元、第二分隔喷嘴单元、第一无机层形成喷嘴单元、第三分隔喷嘴单元、第三有机层形成喷嘴单元、第四分隔喷嘴单元、第四有机层形成喷嘴单元、第五分隔喷嘴单元、第二无机层形成喷嘴单元、第六分隔喷嘴单元、第五有机层形成喷嘴单元、第七分隔喷嘴单元和第六有机层形成喷嘴单元顺序地布置。
[0054]作为另一个实施例，第一有机层形成喷嘴单元、第一分隔喷嘴单元、第一无机层形成喷嘴单元、第二分隔喷嘴单元、第二有机层形成喷嘴单元、第三分隔喷嘴单元、第二无机层形成喷嘴单元、第四分隔喷嘴单元、第三无机层形成喷嘴单元、第五分隔喷嘴单元和第三有机层形成喷嘴单元顺序地布置。
[0055]无机层形成喷嘴单元130、有机层形成喷嘴单元140和分隔喷嘴单元150的布置不局限于上述实施例，而是该布置可包括用于堆叠有机层和无机层的所有类型的排列方式，而无需考虑顺序。
[0056]然而，无机层形成喷嘴单元130、有机层形成喷嘴单元140和分隔喷嘴单元150被假定按照第一无机层形成喷嘴单元130a、第一分隔喷嘴单元150a、第一有机层形成喷嘴单元140a、第二分隔喷嘴单元150b、第二无机层形成喷嘴单元130b、第三分隔喷嘴单元150c、第二有机层形成喷嘴单元140b和第四分隔喷嘴单元150d的顺序布置。
[0057]另外，无机层形成喷嘴单元130可形成无机层。此外，有机层形成喷嘴单元140可形成有机层。这里，无机层形成喷嘴单元130可在原子层沉积(ALD)法中形成无机层，有机层形成喷嘴单元140可在化学气相沉积法中形成有机层。
[0058]无机层形成喷嘴单元130可包括源气体供给喷嘴单元131、等离子体供给喷嘴单元132和吹扫气体供给喷嘴单元133。这里，源气体供给喷嘴单元131和等离子体供给喷嘴单元132可在基底210的长度方向或宽度方向上延长。
[0059]源气体供给喷嘴单元131具有位于其中的第一空间S1，使得源气体被供给到第一空间S1中并喷射。例如，源气体供给喷嘴单元131包括其中形成有第一空间S1的源气体供给主体131-1和连接到源气体供给主体131-1并从第一空间S1突出的源气体供给喷嘴
131-2。这里，源气体供给喷嘴单元131可包括位于其下部的第一孔131-3，其中，源气体通过第一孔131-3排放到室中。
[0060]等离子体供给喷嘴单元132包括第二空间S2，在第二空间S2中供给反应气体以产生等离子体并将等离子体喷射到外部。这里，等离子体供给喷嘴单元132可包括形成在第二空间S2中并具有第三空间S3的反应气体供给单元132-1，在第三空间S3中供给反应气体。此外，等离子体供给喷嘴单元132可包括等离子体供给喷嘴主体132-2，等离子体供给喷嘴主体132-2被设置为围绕反应气体供给单元132-1以与反应气体供给单元132-1形成第二空间S2。这里，等离子体供给喷嘴主体132-2可通过与反应气体供给单元132-1产生电势差而在第二空间S2中产生等离子体。例如，等离子体供给喷嘴主体132-2包括第二孔
132-3，等离子体可通过第二孔132-3排放到外部。
[0061]等离子体供给喷嘴单元132可包括产生反应气体供给单元132-1和等离子体供给喷嘴主体132-2之间的电势差的第一电源单元134。第一电源单元134可是直流(DC)电源或交流(AC)电源。
[0062]吹扫气体供给喷嘴单元133可被形成为与源气体供给喷嘴单元131和等离子体供给喷嘴单元132中的至少一个分隔开。这里，吹扫气体供给喷嘴单元133可将吹扫气体供给到室中。
[0063]有机层形成喷嘴单元140可形成有机层。这里，有机层形成喷嘴单元140可通过使用化学气相沉积法形成有机层。为了使用化学气相沉积法形成有机层，有机层形成喷嘴单元140可使用各种能量源。在下文中，为了便于描述，下面将描述有机层形成喷嘴单元140使用等离子体作为能量源的情形。
[0064]可提供喷头141。这里，喷头141包括位于其中的第四空间S4以及形成在喷头141的下部使得第四空间S4中的气体可被排放到外部的第三孔144。
[0065]有机层形成喷嘴单元140可包括形成外观的外部142和形成在外部142中并被设置为围绕喷头141的绝缘部143。有机层形成喷嘴单元140可包括产生外部142与喷头141之间的电势差的第二电源单元145。
[0066]同时，分隔喷嘴单元150可喷射惰性气体。这里，惰性气体可包括氩(Ar)、氦(He)和氮(N2)。如上所述，分隔喷嘴单元150可喷射惰性气体，以将无机层形成喷嘴单元130和有机层形成喷嘴单元140彼此阻断。例如，分隔喷嘴单元150喷射惰性气体，以围绕无机层形成喷嘴单元130和有机层形成喷嘴单元140中的至少一者。
[0067]可存在多个分隔喷嘴单元150。这里，分隔喷嘴单元150中的每个可形成在无机层形成喷嘴单元130与有机层形成喷嘴单元140之间或有机层形成喷嘴单元140与无机层形成喷嘴单元130之间。
[0068]在喷嘴单元之间，可形成吸气单元192以将气体吸至外部。例如，分隔喷嘴单元150和无机层形成喷嘴单元130可彼此分开，并且吸气单元192可形成在分隔喷嘴单元150与无机层形成喷嘴单元130之间。此外，分隔喷嘴单元150和有机层形成喷嘴单元140可彼此分开，并且吸气单元192可形成在分隔喷嘴单元150与有机层形成喷嘴单元140之间。
[