技术总结
本发明提供一种功率器件的制造方法及功率器件，所述方法包括：S1、在衬底的第一表面制备所述功率器件的背面结构；S2、在所述背面结构上制备第一氧化层；S3、将具有第二氧化层的支撑片结合到所述第一氧化层，所述第一氧化层与所述第二氧化层键合在一起，所述第一氧化层的材料与第二氧化层的材料相同；S4、对所述衬底的没有制备所述背面结构的第二表面进行研磨减薄；S5、在减薄后的第二表面制备所述功率器件的正面结构；S6、依次将所述支撑片、第二氧化层和第一氧化层去除，并在所述背面结构上制备金属层。本发明通过在工艺过程中将制作功率器件的衬底放置在支撑片上，同时作业，从而增加了衬底的强度。
技术研发人员：李理;马万里;赵圣哲
受保护的技术使用者：北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
文档号码：201510228095
技术研发日：2015.05.06
技术公布日：2016.12.07