专利名称：排气管道自动清洁装置及涂胶显影机台的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体光刻领域，尤其涉及一种排气管道自动清洁装置及涂胶显影机台。
背景技术：
半导体光刻过程中的涂胶显影机台，其结构如图I所示，包括涂胶腔室10、晶圆承载台11及排气管道12，所述晶圆承载台11设于所述涂胶腔室10内部，晶圆片放置于所述晶圆承载台11上，目前，所述排气管道12为由一根竖向管道121与一根横向管道122相互连接组成的弯管，该竖向管道121与所述涂胶腔室10相连通，用以排放涂胶腔室内的气体， 在涂胶过程中，所述涂胶显影机台利用高速旋转的电机带动所述晶圆承载台11旋转，在此过程中，80%左右的光阻会被甩掉，这80%左右的光阻中的大部分光阻会顺着所述排气管道12流走，还有小部分因高速旋转而形成的微小颗粒会慢慢吸附在排气管道12的竖向管道121的管壁上，随着颗粒数量的增加，这些附着的小颗粒会对后续的晶圆产生不良影响， 具体地，当颗粒物达到一定程度后，颗粒容易飘落到涂胶腔室内，一旦落在晶圆表面上，会在晶圆表面形成各类缺陷，例如是球缺陷，使得产品良率显著降低。目前的处理方法为将排气管道拆卸后喷洒溶剂(稀释剂)来清洗光阻固化粉尘颗粒，但拆卸过程繁琐且消耗一定的人力物力。因此，如何提供一种排气管道自动清洁装置及涂胶显影机台是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种排气管道自动清洁装置及涂胶显影机台，以解决现有排气管道拆除清洗繁琐的问题。为解决上述技术问题，提供了一种排气管道自动清洁装置，设置于涂胶显影机台的排气管道，所述排气管道是由第一管和第二管连接组成的弯管，所述第一管与所述涂胶显影机台的涂胶腔室连通，所述排气管道自动清洁装置包括外接清洗溶剂源的喷嘴和排液管，所述喷嘴设置于所述第一管的内壁，所述排液管连接于所述第一管的下方并与所述第
一管连通。优选的，在上述的排气管道自动清洁装置中，所述排液管中设有第一开关阀门。优选的，在上述的排气管道自动清洁装置中，所述第二管中还设有一第二开关阀门。优选的，在上述的排气管道自动清洁装置中，，所述排液管中还设有一单向阀门。优选的，在上述的排气管道自动清洁装置中，所述第一管竖向设置。优选的，在上述的排气管道自动清洁装置中，所述第二管和第一管的夹角小于90度。优选的，在上述的排气管道自动清洁装置中，所述喷嘴可选用一个或多个。
本发明还提供了一种涂胶显影机台，包括设于涂胶腔室内的晶圆承载台以及与所述涂胶腔室连通的排气管道，所述排气管道上设有如上所述的排气管道自动清洁装置。本发明提供的排气管道自动清洁装置，设置于涂胶显影机台的排气管道，所述排气管道是由第一管和第二管连接组成的弯管，所述第一管与所述涂胶显影机台的涂胶腔室连通，所述排气管道自动清洁装置包括外接清洗溶剂源的喷嘴与排液管，所述喷嘴设置于所述第一管的内壁，所述排液管连接于所述第一管的下方并与所述第一管连通。通过设置喷嘴可以定期自动或人为控制向所述排气管道的容易积累光阻粉尘颗粒的第一管喷洒清洗溶剂，从而达到在不拆洗排气管道的前提下，及时清洗累积在排气管道内壁上的光阻粉尘颗粒的目的。同理，本发明提供的涂胶显影机台，通过在排气管道设置如上所述的排气管道自动清洁装置，通过喷嘴可以定期自动或人为控制向所述排气管道的容易积累光阻粉尘颗粒的第一管喷洒清洗溶剂，从而达到在不拆洗排气管道的前提下，及时清洗累积在排气管道内壁上的光阻粉尘颗粒的目的，节省了拆装排气管道所需的人力、物力，减少了机台的停工期，有效增加产能及生产效率。
图I为现有的涂胶显影机台结构示意图；图2为本发明的排气管道自动清洁装置及涂胶显影机台的结构示意图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式
做详细的说明。请参阅图2，图2所示为本发明的排气管道自动清洁装置及涂胶显影机台的结构示意图。由图2可见，本实施例提供的涂胶显影机台，包括涂胶腔室20、晶圆承载台21和排气管道22以及设置于所述排气管道22上的排气管道自动清洁装置，所述晶圆承载台21位于所述涂胶腔室20中央位置，所述晶圆放置于所述晶圆承载台21上，所述排气管道22设置于所述涂胶腔室20的底部，并与所述涂胶腔室20连通。请继续参阅图2，所述排气管道自动清洁装置，所述排气管道是由第一管221和第二管222连接组成的弯管，所述第一管221与所述涂胶显影机台的涂胶腔室20连通。所述排气管道自动清洁装置包括外接清洗溶剂源的喷嘴225和排液管223，所述喷嘴225设置于所述第一管的内壁，所述排液管223连接于所述第一管221的下方并与所述第一管221 连通。由于在所述排气管道22的第一管222的内壁设置喷嘴225，可以通过定期自动或人为控制喷嘴225向所述排气管道22的容易积累光阻粉尘颗粒的第一管221喷洒清洗溶剂， 因而，可以在不拆洗排气管道21的前提下，及时清洗累积于排气管道21内壁的光阻粉尘颗粒，节省了拆装排气管道所需的人力、物力，减少了机台的停工期，增加产能及生产效率。较佳地，所述排液管223中还设有第一开关阀门224。如此，可以在所述喷嘴225 喷洒清洗溶剂清洗排气管道21时，打开所述第一开关阀门224，使得溶液流入所述排液管 223中。而在所述喷嘴225不喷洒溶剂时，所述第一开关阀门224保持关闭状态，从而保持所述排气管道22的吸力。
较佳的，所述第二管222中设有一第二开关阀门226。通过在所述第二管222中增设第二开关阀门226，可以在所述喷嘴225喷洒清洗溶剂清洗排气管道21时，并打开所述第一开关阀门224的情况下，通过关闭第二开关阀门226，可以防止清洗溶剂流入第二管222 中，从而可以使得清洗溶剂顺利经所述排液管223进行排放。较佳的，在上述的排气管道自动清洁装置中，所述第一管221竖向设置，从而可以在一定程度上避免涂胶腔室20内的光阻粉尘颗粒流入第一管221内。较佳的，在上述的排气管道自动清洁装置中，所述第二管和第一管的夹角小于90 度，即所述第二管222采用向所述第一管221倾斜的设计。如此，可以进一步防止清洗溶剂流入所述第二管222中。较佳地，所述排液管223中还设有一单向阀门227，以防止溶液回流。较佳地，所述喷嘴225可选用一个或多个，可按照管道粗细、清洁周期等因素调整所述喷嘴225的个数。本实施例中，所述喷嘴225的数量是两个，相对设置于所述第一管 221上靠近涂胶腔室20的部位的内壁上，从而可以彻底清洗积累于所述第一管221内壁上的光阻粉尘颗粒。综上所述，本发明提供的排气管道自动清洁装置及涂胶显影机台，通过在排气管道设置如上所述的排气管道自动清洁装置，通过设置喷嘴可以定期自动或人为控制向所述排气管道的容易积累光阻粉尘颗粒的第一管喷洒清洗溶剂，从而达到在不拆洗排气管道的前提下，及时清洗累积在排气管道内壁上的光阻粉尘颗粒的目的，节省了拆装排气管道所需的人力、物力，减少了机台的停工期，有效增加产能及生产效率。显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求
1.一种排气管道自动清洁装置，设置于涂胶显影机台的排气管道，所述排气管道是由第一管和第二管连接组成的弯管，所述第一管与所述涂胶显影机台的涂胶腔室连通，其特征在于，所述排气管道自动清洁装置包括外接清洗溶剂源的喷嘴和排液管，所述喷嘴设置于所述第一管的内壁，所述排液管连接于所述第一管的下方并与所述第一管连通。
2.如权利要求I所述的排气管道自动清洁装置，其特征在于，所述排液管中设有第一开关阀门。
3.如权利要求I所述的排气管道自动清洁装置，其特征在于，所述第二管中还设有一第二开关阀门。
4.如权利要求I所述的排气管道自动清洁装置，其特征在于，所述排液管中还设有一单向阀门。
5.如权利要求I所述的排气管道自动清洁装置，其特征在于，所述第一管竖向设置。
6.如权利要求5所述的排气管道自动清洁装置，其特征在于，所述第二管和第一管的夹角小于90度。
7.如权利要求I所述的排气管道自动清洁装置，其特征在于，所述喷嘴可选用一个或多个。
8.—种涂胶显影机台，包括设于涂胶腔室内的晶圆承载台以及与所述涂胶腔室连通的排气管道，其特征在于，所述排气管道上设有如权利要求I 7中任意一项所述的排气管道自动清洁装置。
全文摘要
本发明涉及半导体光刻领域，提供了一种排气管道自动清洁装置，其设置于涂胶显影机台的排气管道，所述排气管道是由第一管和第二管连接组成的弯管，第一管与涂胶显影机台的涂胶腔室连通，排气管道自动清洁装置包括外接清洗溶剂源的喷嘴和排液管，喷嘴设置于所述第一管的内壁，排液管连接于所述第一管的下方并与所述第一管连通。本发明还提供了一种涂胶显影机台，包括设于涂胶腔室内的晶圆承载台以及与所述涂胶腔室连通的排气管道，排气管道上设有如上所述的排气管道自动清洁装置。通过喷嘴可以向排气管道的容易积累光阻粉尘颗粒的第一管喷洒清洗溶剂，达到在不拆洗排气管道的前提下及时清洗累积在排气管道内壁上的光阻粉尘颗粒的目的。
文档编号B08B9/032GK102601084SQ20121006109
公开日2012年7月25日 申请日期2012年3月9日 优先权日2012年3月9日
发明者凌意明, 周孟兴, 江瑞星, 王逸尔 申请人:上海宏力半导体制造有限公司