一种可双排切割的晶片多线切割装置的制作方法

本实用新型涉及切割装置领域，具体为一种可双排切割的晶片多线切割装置。

背景技术：

多线切割是近年来发展成熟的新型晶片切割技术，它通过金刚线的快速往复运动，利用表面的金刚石颗粒进行磨削加工来切割晶片，具有切割效率高、材料损耗小、成本降低、晶片表面质量高、可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。

中国专利库中公开了一种多头同步线切割机床(CN201620392808.3)，包括床身、线切割机头架、纵向丝杆、伺服电机和PLC可编程控制器，床身的顶面设有纵向导轨，其上至少安装两台线切割机头架；线切割机头架的对面设有垂直于床身顶面的基准平面，若干根直径2mm、长度大于2.5m的不锈钢钢丝，通过夹具并排压紧在基准平面上；每台线切割机头架上增设一组独立的纵向导轨，并在独立纵向导轨之间设置补偿丝杆和伺服补偿电机；PLC可编程控制器按设定程序指挥所装线切割机头架上的钼丝，对不锈钢钢丝进行多达2000余条等距离槽形的分段同步切割，同时根据各个线切割机头架的实际切割误差，指令各自纵向补偿。本实用新型效率高、槽距精度好、累积误差小。

中国专利库中公开了一种压电陶瓷晶片切割机（CN201320393513.4），包括机床架、工作台、切刀机构和控制系统，能上下运动的所述切刀机构设置在工作台的上方并与机床架上方连接；所述切刀机构由伺服电机和夹刀部件组成，所述夹刀部件包括立板、上刀板、下刀板、两块夹刀板和刀具，所述上刀板和下刀板之间设置有四根螺栓杆，四个弹簧套装于螺栓杆上并位于上刀板和下刀板之间，所述两块夹刀板之间夹固所述刀具，所述夹刀板与上刀板相连接，所述下刀板开设有与刀具对应的过刀孔。本实用新型压电陶瓷晶片切割机既提高加工精度又保护刀具不受伤害，过刀孔也能保护刀具不侧弯，且又高效快速，满足了定位精确和工作高效快速的要求。

现在的线切割机切割都是单排切割，存在切割效率低、用线量大等不足，需要进行改进。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种可双排切割的晶片多线切割装置，设置一张工作台对应一对切割罗拉，同时改进待切割晶棒在工作台上的排列方式，将单排排列改为双排排列，使一对切割罗拉同时切割两排晶棒，将现有切割机的单排切割工艺改进为双排切割工艺，提高切割效率。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案

一种可双排切割的晶片多线切割装置，其包括，左切割罗拉1、左中心轴2、右切割罗拉3、进线导轮4、出线导轮5、切割线6、驱动电机7、同步皮带8、右中心轴9、工作台10、左晶棒组11、右晶棒组12、左晶棒13、右晶棒14。

所述左切割罗拉1、右切割罗拉3相互平行且设置在同一平面上，所述左切割罗拉1中心位置设置有左中心轴2，所述右切割罗拉3中心位置设置有右中心轴9，所述切割线6由进线导轮4导入且由出线导轮5导出，所述切割线6依次与左切割罗拉1、右切割罗拉3连接且在左切割罗拉1、右切割罗拉3上表面形成切割线网，所述驱动电机7通过同步皮带8依次与左切割罗拉1的左中心轴2、右切割罗拉3的右中心轴9连接，所述工作台10下部设置有左晶棒组11、右晶棒组12，所述左晶棒组11、右晶棒组12相互平行，所述左晶棒组11由若干根左晶棒13组成，所述右晶棒组12由若干根右晶棒14组成。

优选地，所述驱动电机7为伺服电机，与伺服放大器配合使用。

优选地，所述左晶棒13、右晶棒14与工作台10连接，在粘棒前，通过晶向测定仪或偏光镜确定左晶棒13、右晶棒14的晶向，使晶向一致后粘棒切割。

优选地，所述左晶棒13、右晶棒14长度不一致时，前一个左晶棒13的棒尾与后一个左晶棒13的棒头之间设置有1-2mm的间隔，前一个右晶棒14的棒尾与后一个右晶棒14的棒头之间设置有1-2mm的间隔。

优选地，所述左晶棒13、右晶棒14的棒尾或者棒头端面不完全平整时，前一个左晶棒13的棒尾与后一个左晶棒13的棒头之间设置有1-2mm的间隔，前一个右晶棒14的棒尾与后一个右晶棒14的棒头之间设置有1-2mm的间隔。

本实用新型的有益效果：本装置设计合理，结构简单，使用方便；改变带切割晶片的排列方式，从单排排列改为双排排列，实现了对晶棒的双排切割；改进后，单刀出片数提高一倍，切割效率提高30%以上，单圈切割线的切割出片数提高20%以上，有效地降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的部分结构示意图。

图1、图2中，1-左切割罗拉、2-左中心轴、3-右切割罗拉、4-进线导轮、5-出线导轮、6-切割线、7-驱动电机、8-同步皮带、9-右中心轴、10-工作台、11-左晶棒组、12-右晶棒组、13-左晶棒、14-右晶棒。

具体实施方式

下面结合附图及实施例，对本实用新型做进一步详细说明

如图1所示，所述左切割罗拉1、右切割罗拉3相互平行且设置在同一平面上，所述左切割罗拉1中心位置设置有左中心轴2，所述右切割罗拉3中心位置设置有右中心轴9，所述切割线6由进线导轮4导入且由出线导轮5导出，所述切割线6依次与左切割罗拉1、右切割罗拉3连接且在左切割罗拉1、右切割罗拉3上表面形成切割线网，所述驱动电机7通过同步皮带8依次与左切割罗拉1的左中心轴2、右切割罗拉3的右中心轴9连接，所述工作台10下部设置有左晶棒组11、右晶棒组12，所述左晶棒组11、右晶棒组12相互平行，所述左晶棒组11由若干根左晶棒13组成，所述右晶棒组12由若干根右晶棒14组成。

如图2所示，所述左晶棒组11由若干根左晶棒13组成，所述右晶棒组12由若干根右晶棒14组成。

切割线6在左切割罗拉1、左中心轴2、右切割罗拉3的上表面形成了两张切割线网，实现了双排切割；改进后，单刀出片数提高一倍，切割效率提高30%以上，单圈切割线的切割出片数提高20%以上，有效地降低了生产成本。

在粘棒前，通过晶向测定仪或偏光镜确定左晶棒13、右晶棒14的晶向，使晶向一致后粘棒切割。

当左晶棒13、右晶棒14长度不一致或者棒尾或者棒头端面不完全平整时，前一个左晶棒13的棒尾与后一个左晶棒13的棒头之间设置有1-2mm的间隔，前一个右晶棒14的棒尾与后一个右晶棒14的棒头之间设置有1-2mm的间隔，以防止切割时卡线或者较大的颗粒碎片带到并排晶棒造成断线。

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其他修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。