专利名称：真空机械手用防滑盘头及其操作方法
技术领域：
本发明涉及液晶显示器制造工艺中的溅射设备，尤其涉及一种真空机械手用防滑盘头及其操作方法。
背景技术：
在液晶显示器制造工艺中，溅射设备是通过真空机械手用防滑盘头来实现玻璃基板的稳定搬送的。真空机械手用防滑盘头的作用是玻璃基板在高真空状态下搬送时，保持基板与机械臂手没有相对滑动，即在保持基板与机械臂手保持相对静止的静摩擦力(即基板保持力)下从而实现基板的搬送精度。
但是在实际生产过程中，真空机械手用防滑盘头一般为橡胶材质。橡胶材质的防滑盘头一般随着搬送基板枚数的增加，防滑盘头本身的磨损及高温裂化会引起基板与机械臂手之间产生相对滑动，从而造成搬送位置偏移，最终导致降低有效基板处理枚数(是指由于保持力不足导致搬送位置偏移为止搬送基板的数量)，降低生产效率。
因此，迫却需要对真空机械手用防滑盘头加以改进，来提高有效基板处理枚数。
发明内容
本发明针对延长防滑盘头的有效基板处理枚数，提出改进措施。
本发明的目的是提供一种真空机械手用防滑盘头，其中，该防滑盘头的材质为氟素弹性体。本发明的氟素弹性体的真空机械手用防滑盘头在操作时摩擦小，在高温下不易裂化，从而可以延缓衰老，可以极大地提高有效基板的处理枚数。
本发明的另一目的是提供操作真空机械手用防滑盘头的方法，该方法为在高真空状态下，防滑盘头以48.2dec/s2(度/秒2)的加速度，再以63.6dec/s(度/秒)的速度，最后以48.2dec/s2(度/秒2)的减速度搬送玻璃基板。使用这种速度的操作方法也可以极大地提高有效基板的处理枚数。
若使用本发明的真空机械手用防滑盘头和本发明的操作真空机械手用防滑盘头的方法更可以极大地提高有效基板的处理枚数。
本发明的积极进步效果在于本发明通过更换防滑盘头的材质和/或改变真空机械手的动作速度来有效提高玻璃基板的处理枚数。
图1为机械臂示意图；图2为橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头的保持力比较图。
具体实施例方式
实施例1在真空机械臂上安装橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头，橡胶防滑盘头的数量为204个，氟素弹性体防滑盘头的数量为104个，在真空中以72.3dec/s2的加速度、再以74.2dec/s的速度、最后以72.3dec/s2的减速度，以及以48.2dec/s2的加速度、再以63.6dec/s的速度、最后以48.2dec/s2的减速度将玻璃基板从搬送室处搬送至成膜室处。各种方案下的有效基板处理枚数如表1所示。
表1 各种方案下的有效基板处理枚数
结果表明在真空机械手动作速度为72.3dec/s2、74.2dec/s、72.3dec/s2状态下，氟素弹性体的防滑盘头比橡胶的防滑盘头少使用100个，而氟素弹性体防滑盘头的有效基板处理枚数比橡胶防滑盘头多15000枚；在真空机械手动作速度为48.2dec/s2、63.6dec/s、48.2dec/s2状态下，氟素弹性体防滑盘头的有效基板处理枚数比橡胶防滑盘头的多10000枚。本发明的真空机械手的速度越慢，防滑盘头的有效基板处理枚数越多。
实施例2在真空机械臂上安装橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头，但橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头的数量各为204个和104个，在真空中以72.3dec/s2的加速度、再以74.2dec/s的速度、最后以72.3dec/s2的减速度，以及以48.2dec/s2的加速度、再以63.6dec/s的速度、最后以48.2 dec/s2的减速度将玻璃基板从搬送室处搬送至成膜室处。各种方案下的有效基板处理枚数如表2所示。
表2 各种方案下的有效基板处理枚数
结果表明用橡胶防滑盘头，在机械手速度下降10％的情况下，有效基板处理枚数增加55000枚；而用氟素弹性体防滑盘头，有效基板处理枚数增加50000枚。
实施例3在真空机械臂上安装橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头，橡胶防滑盘头的数量都为204个，氟素弹性体防滑盘头的数量为104个，在真空中以72.3dec/s2的加速度、再以74.2dec/s的速度、最后以72.3dec/s2的减速度将玻璃基板从搬送室处搬送至成膜室处。橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头的保持力(如图1所示的机械臂的正面3和侧面4，1为机械臂，2为基板)如表3及图2所示。
表3 橡胶防滑盘头和氟素弹性体防滑盘头的保持力
结果表明在高真空及高温的状态下，氟素弹性体防滑盘头比橡胶防滑盘头对基板有更大的基板保持力和更缓慢的裂化速度。
结论本发明的防滑盘头的材质选用氟素弹性体，且真空机械手的速度设定为48.2dec/s2、63.6dec/s、48.2dec/s2。
权利要求
1.一种真空机械手用防滑盘头，其特征在于该防滑盘头的材质为氟素弹性体。
2.一种权利要求1所述的真空机械手用防滑盘头的操作方法，该方法为在高真空状态下，防滑盘头以48.2度/秒2的加速度，再以63.6度/秒的速度，最后以48.2度/秒2的减速度搬送玻璃基板。
全文摘要
本发明公开了一种真空机械手用防滑盘头，其中该防滑盘头的材质为氟素弹性体。本发明还公开了一种真空机械手用防滑盘头的操作方法，该方法为在高真空状态下，防滑盘头以48.2度/秒
文档编号B25J15/06GK1994691SQ200510112270
公开日2007年7月11日 申请日期2005年12月28日 优先权日2005年12月28日
发明者曹阳 申请人:上海广电Nec液晶显示器有限公司