专利名称：一种传送集成电路中晶圆片的真空机械手结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路生产设备，尤其涉及一种用于传送集成电路晶圆片的真空机械手结构。
背景技术：
集成电路刻蚀机的反应腔为整个工艺过程创造一个具有低分子密度和高平均自由程的洁净环境。腔体组件中的真空机械手负责完成刻蚀前晶圆片往腔体内的送入和刻蚀 后晶圆片的移出工作。因此，首先要求用于传送的真空机械手与晶圆片接触的部份要有很高的平面度；其次，为了保证能够准定位到晶圆片的正确位置，真空机械手的结构上必需要有用于定位的结构；同时，还需要真空机械手与晶圆片接触后可以产生一定的吸附力，以防止晶圆片在传送过程中发生脱落或产生移动后不能进入正确的刻蚀区域。发明内容本实用新型的目的在于提供一种传送集成电路晶圆片的真空机械手结构，该结构简单合理、传送过程中工件不脱落、定位可靠。本实用新型是这样实现的一种传送集成电路中晶圆片的真空机械手结构，包括机械手主体、真空槽端盖板，其特征在于所述的机械手主体上平面设置有真空槽端盖板，下平面设置有真空槽盖板。本实用新型所述的机械手主体上平面右边设置有晶圆片接触的工作平面和与晶圆片外圆弧度一致的定位弧面，工作平面上设置有吸附槽；机械手主体上平面左边设置有与动力机构连接的螺栓孔和放置真空槽端盖板的凹槽；机械手主体下平面设置有真空槽A，真空槽A内设置有从吸附槽抽走气体的作用孔和真空槽的贯通孔，贯通孔与真空槽B相通，真空槽B内设置有真空泵的抽气孔。本实用新型结构简单合理、传送过程中晶圆片不脱落、且定位可靠。
图I是本实用新型的结构示意图。图2是图I中A-A剖视图。图3是图I中机械手主体的主视图。图4是图3中A-A剖视图。图5是图I的后视图。图中i、机械手主体、2、真空槽端盖板、3、真空槽盖板、11、工作平面、12、吸附槽、13定位弧面、14、螺栓孔、15、凹槽、16、抽气孔、17、贯通孔、18、作用孔、19、真空槽A、20、真空槽B。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步的说明参照附图，一种传送集成电路中晶圆片的真空机械手结构，包括机械手主体I、真空槽端盖板2，其特征在于所述的机械手主体I上平面设置有真空槽端盖板2，下平面设置有真空槽盖板3。所述的机械手主体I上平面右边设置有晶圆片接触的工作平面11和与晶圆片外圆弧度一致的定位弧面13，工作平面11上设置有吸附槽12 ;机械手主体I上平面左边设置有与动力机构连接的螺栓孔14和放置真空槽端盖板的凹槽15 ;机械手主体I下平面设置有真空槽A19，真空槽A19内设置有从吸附槽抽走气体的作用孔18和真空槽的贯通孔17，贯 通孔17与真空槽B20相通，真空槽B20内设置有真空泵的抽气孔16。具体实施时，机械手主体上与晶圆片接触的部分加工成具有很高平面度和光洁度要求的表面，用于保证抽气泵可以产生理想的吸附力；将晶圆片放在机械手主体的晶圆片接触平面11上，机械手主体上下平面用真空槽端盖板与真空槽盖板密封后，形成一个独立、密闭的抽气通道。抽气泵从抽气孔16抽气在吸附槽12处产生力量把晶圆片牢牢固定在工作平面11上；定位弧面13与晶圆片的外圆完全贴合后起到准确的定位作用。
权利要求1.一种传送集成电路中晶圆片的真空机械手结构，包括机械手主体(I)、真空槽端盖板(2 )，其特征在于所述的机械手主体(I)上平面设置有真空槽端盖板(2 )，下平面设置有真空槽盖板(3)。
2.根据权利要求I所述的一种传送集成电路中晶圆片的真空机械手结构，其特征在于所述的机械手主体(I)上平面右边设置有晶圆片接触的工作平面(11)和与晶圆片外圆弧度一致的定位弧面(13)，工作平面(11)上设置有吸附槽(12);机械手主体(I)上平面左边设置有与动力机构连接的螺栓孔(14)和放置真空槽端盖板的凹槽(15);机械手主体(I)下平面设置有真空槽A (19)，真空槽A (19)内设置有从吸附槽抽走气体的作用孔(18)和真空槽的贯通孔(17)，贯通孔(17)与真空槽B (20)相通，真空槽B (20)内设置有真空泵的抽气孔(16)。
专利摘要一种传送集成电路中晶圆片的真空机械手结构，包括机械手主体(1)、真空槽端盖板(2)，所述的机械手主体(1)上平面设置有真空槽端盖板(2)，下平面设置有真空槽盖板(3)。本实用新型结构简单合理、传送过程中晶圆片不脱落、且定位可靠。
文档编号H01L21/687GK202549816SQ20122016512
公开日2012年11月21日 申请日期2012年4月18日 优先权日2012年4月18日
发明者游利 申请人:靖江先锋半导体科技有限公司