机器人的控制装置、控制方法以及机器人的制作方法
【专利摘要】本发明涉及机器人的控制装置、控制方法以及机器人。机器人的控制方法是抑制具有包含被连结的多个连杆的臂、和对构成臂的连杆进行驱动的驱动部的机器人的控制方法，其特征在于，根据在抑制振动的减振位置处检测出的加速度以及角速度中的至少一方计算出的第一臂速度、和基于驱动部的驱动量而计算出的减振位置处的第二臂速度，来计算第三臂速度，并基于计算出的第三臂速度对驱动部进行修正控制。
【专利说明】机器人的控制装置、控制方法以及机器人
【技术领域】
[0001]本发明涉及机器人的控制装置、控制方法以及机器人。
【背景技术】
[0002]针对工业用机器人，不断地提出实现其快速化、多功能化、高精度化、省电化的更高的要求。对于体现上述要求的多关节机器人而言，用于实现快速化、省电化的轻型化与实现高精度化的高刚性化为相反的要素，因此，作为控制技术而兼顾实现了上述两个要素。例如，在专利文献I中提出了抑制机器人的动作停止时产生的机器人前端的振动的方法。具体而言是如下方法，即:在机器人的前端具备加速度传感器，基于检测出的扭转角速度和扭转角度，将消除扭转的补偿量相加于驱动各连杆的电机的控制输入，从而进行减振。由此实现了提高停止时的位置精度、缩短振动消除之前的待机时间。
[0003]专利文献1:日本特开2011-136395号公报
[0004]然而，在专利文献I所记载的控制方法(减振方法)中，存在无法抑制在机器人的动作中产生的振动的课题。具体而言，加速度检测的时机是以机器人的动作停止时为前提的，因此，例如存在如下课题，即:无法消除在机器人臂移动中产生的振动、动作变形，在使机器人一边移动一边进行涂装、焊接等作业的情况下，无法抑制由于振动引起的那些作业精度降低的情况。
【发明内容】
[0005]本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够以如下的应用例或者方式来实现。
[0006]应用例I
[0007]本应用例所涉及的机器人的控制装置是具备机器人主体、与上述机器人主体连结且包含多个连杆的臂、驱动多个上述连杆的驱动部、以及检测上述驱动部的驱动量的角度传感器的机器人的控制装置，其特征在于，上述机器人的控制装置具备:惯性传感器，其设置于能够对上述臂的振动进行抑制的减振位置，并且检测在上述减振位置的加速度以及角速度中的至少一方；第一运算部，其根据上述惯性传感器检测出的上述减振位置处的加速度以及角速度中的至少一方，来计算上述减振位置处的第一臂速度；第二运算部，其根据上述角度传感器检测出的上述驱动部的驱动量来计算驱动速度，并基于上述驱动量以及上述驱动速度来计算上述减振位置处的第二臂速度；第三运算部，其基于上述第一臂速度和上述第二臂速度来计算第三臂速度；第四运算部，其基于上述第三臂速度，计算对位于上述机器人主体与上述减振位置之间的上述连杆进行驱动的各驱动部的修正速度；以及控制部，其基于上述驱动量、上述驱动速度以及上述修正速度，对驱动位于上述机器人主体与上述减振位置之间的上述连杆的上述驱动部进行控制。
[0008]根据本应用例所涉及的机器人的控制装置，基于从惯性传感器获取的第一臂速度的信息和从角度传感器获取的第二臂速度的信息来计算减振位置的第三臂速度。另外，基于计算出的第三臂速度，来计算对位于机器人主体与减振位置之间的连杆进行驱动的各驱动部的修正速度。通过基于该各驱动部的修正速度控制各驱动部，能够抑制在减振位置产生的振动。
[0009]更详细地进行说明，例如，在轻型且刚性高并且没有弯曲、没有由弯曲引起的振动等理想的机器人的情况下，实际的臂的速度表示该理想臂速度。相对于此，从惯性传感器获取的第一臂速度是通过安装有惯性传感器的减振位置的实际动作而检测出的速度。即，是包含由于不具有理想刚性的臂的弯曲等而伴随着实际动作产生的振动等速度成分的速度。因此，通过分析第一臂速度与第二臂速度的差异，能够提取基于弯曲、振动的速度成分。将提取出的该速度成分作为修正速度而分配至驱动各连杆的驱动部，产生抑制弯曲、振动的扭矩，从而能够实现振动的抑制。
[0010]通过随时进行基于第一臂速度与第二臂速度的差异分析的振动的抑制，不仅能够抑制停止时的振动，还能够抑制驱动时(动作中)的臂的振动。其结果是，能够更准确地控制驱动时的臂位置精度。另外，不用等待臂的停止动作就能够抑制停止时的振动，因此能够缩短从停止后到消除振动的待机时间。
[0011]如上所述，根据本应用例所涉及的机器人的控制装置，能够在多关节机器人等中进一步实现高精度化、快速化等。
[0012]应用例2
[0013]在上述应用例所涉及的机器人的控制装置中，优选上述第三运算部还具备滤波器，该滤波器除去上述第三臂速度的波形中所包含的规定频率以下的低频成分。
[0014]如本应用例所述，通过还具备除去第三臂速度的低频成分的滤波器，能更准确地进行基于第一臂速度与第二臂速度的差异分析的振动成分的提取。具体而言，通过除去第三臂速度的低频成分，能够减少误进行抑制机器人臂的本来的动作的修正、惯性传感器的偏置误差等的影响。
[0015]应用例3
[0016]本应用例所涉及的机器人的控制方法是具备包含被连结的多个连杆的臂、和驱动多个上述连杆的驱动部的机器人的控制方法，其特征在于，包括:检测在抑制上述臂的振动的减振位置处的第一臂速度的步骤；基于计算出的上述第一臂速度、与根据上述驱动部的驱动量计算出的驱动上述减振位置的速度亦即第二臂速度之差，来计算第三臂速度的步骤；以及基于计算出的上述第三臂速度对上述驱动部进行修正控制的步骤。
[0017]根据本应用例的机器人的控制方法，具备:基于第一臂速度和第二臂速度来计算第三臂速度、和基于计算出的第三臂速度对驱动部进行修正控制，由此能够抑制机器人的动作中的振动。其结果是，能够更精确地控制驱动时(动作中)的臂位置精度。另外，不用等待臂的停止动作就能够抑制停止时的振动，因此能够缩短从停止后到消除振动的待机时间。即，根据本应用例所涉及的机器人的控制方法，能够在多关节机器人等中进一步实现高精度化、快速化等。
[0018]应用例4
[0019]本应用例所涉及的机器人的控制方法是具备机器人主体、与上述机器人主体连结并包含多个连杆的臂、驱动多个上述连杆的驱动部、以及检测上述驱动部的驱动量的角度传感器的机器人的控制方法，其特征在于，所述机器人的控制方法包括:利用安装于抑制上述臂的振动的减振位置的惯性传感器，来检测上述减振位置的加速度以及角速度中的至少一方的步骤；利用角度传感器检测上述驱动部的驱动量，上述驱动部对位于上述减振位置与上述机器人主体之间的上述连杆进行驱动的步骤；根据上述惯性传感器检测出的上述减振位置的加速度以及角速度中的至少一方，来计算上述减振位置的第一臂速度的步骤；根据上述角度传感器检测出的上述驱动部的驱动量计算驱动速度，并基于上述驱动量以及上述驱动速度来计算上述减振位置的第二臂速度的步骤；基于上述第一臂速度和上述第二臂速度计算上述减振位置的第三臂速度的步骤；基于上述第三臂速度，来计算对位于上述机器人主体与上述减振位置之间的上述连杆进行驱动的各上述驱动部的修正速度的步骤；以及基于上述驱动量、上述驱动速度以及上述修正速度，对驱动位于上述机器人主体与上述减振位置之间的上述连杆的上述驱动部进行控制的步骤。
[0020]根据本应用例所涉及的机器人的控制方法，基于从惯性传感器获取的第一臂速度的信息和从角度传感器获取的第二臂速度的信息来计算减振位置的第三臂速度。而且，基于计算出的第三臂速度来计算对位于机器人主体与减振位置之间的连杆进行驱动的各驱动部的修正速度。基于该各驱动部的修正速度控制各驱动部，从而能够抑制在减振位置产生的振动。
[0021]更详细地进行说明，例如，在轻型且刚性高并且没有弯曲、没有由弯曲引起的振动等理想机器人的情况下，实际的臂的速度表示理想臂驱动速度。相对于此，从惯性传感器获取的第一臂速度是通过安装有惯性传感器的减振位置的实际动作而检测出的速度。即，是包含由于不具有理想刚性的臂的弯曲等而伴随着实际的动作产生的振动等速度成分的速度。因此，通过分析第一臂速度与第二臂速度的差异，能够提取基于振动的速度成分。将提取出的该振动的速度成分作为修正速度而分配至驱动各连杆的驱动部，产生抑制振动的扭矩，从而能够实现振动的抑制。
[0022]通过随时进行基于第一臂速度与第二臂度的差异分析的振动的抑制，不仅能够抑制停止时的振动，还能够抑制驱动时(动作中)的臂的振动。其结果是，能够更准确地控制驱动时的臂位置精度。另外，不用等待臂的停止动作就能够抑制停止时的振动，因此能够缩短从停止后到振动消除的待机时间。
[0023]如上所述，根据本应用例所涉及的机器人的控制方法，能够在多关节机器人等中进一步实现高精度化、快速化等。
[0024]应用例5
[0025]在上述应用例所涉及的机器人的控制方法中，优选计算上述第三臂速度还包括将计算出的上述第三臂速度的波形中所包含的规定频率以下的低频成分除去。
[0026]如本应用例所述，通过还包括除去第三臂速度的低频成分，能更准确地进行基于第一臂速度与第二臂速度的差异分析的振动成分的提取。具体而言，通过除去第三臂速度的低频成分，能够降低误进行抑制机器人臂的本来的动作的修正、惯性传感器的偏置误差等的影响。
[0027]应用例6
[0028]在上述应用例所涉及的机器人的控制方法中，优选在基于上述第三臂速度来计算对位于上述机器人主体与上述减振位置之间的上述连杆进行驱动的各上述驱动部的修正速度的步骤中，以上述驱动部中的预先选择出的驱动部为对象而进行。[0029]根据本应用例所涉及的机器人的控制方法，例如在预先已知有无需抑制振动的控制的驱动部的情况下、存在不打算进行控制的驱动部的情况下等，将该驱动部排除在控制的对象以外，从而能够进一步简化处理、提高处理速度等而更有效地进行处理。
[0030]应用例7
[0031]优选在上述应用例所涉及的机器人的控制方法中的基于上述第三臂速度来计算对位于上述机器人主体与上述减振位置之间的上述连杆进行驱动的各上述驱动部的修正速度的步骤中，根据预先设定的各上述驱动部的权重进行对位于上述机器人主体与上述减振位置之间的上述连杆进行驱动的各上述驱动部的修正速度的计算。
[0032]根据本应用例所涉及的机器人的控制方法，以预先设定的各驱动部的权重分配各驱动部的修正速度的大小，由此能够与机器人的规格、特性或者机器人所进行的作业负荷(例如，机器人手保持的物体的重量等)对应地进行更有效的振动的抑制控制。具体而言，例如，通过将靠近机器人主体部分的驱动部的减振扭矩设定得更大，能够更有效地进行振动的抑制，在机器人的一系列动作中，在机器人手保持的物体发生改变而重量发生变化的情况下等，能够更有效地进行振动的抑制。
[0033]应用例8
[0034]本应用例所涉及的机器人具备机器人主体、与上述机器人主体连结且包含多个连杆的臂、驱动多个上述连杆的驱动部、以及检测上述驱动部的驱动量的角度传感器，其特征在于，上述机器人具备控制装置，该控制装置包括:惯性传感器，其设置于能够抑制上述臂的振动的减振位置，并且检测上述减振位置处的加速度以及角速度中的至少一方；第一运算部，其根据上述惯性传感器检测出的上述减振位置处的加速度以及角速度中的至少一方，计算上述减振位置处的第一臂速度；第二运算部，其根据上述角度传感器检测出的上述驱动部的驱动量来计算驱动速度，并基于上述驱动量以及上述驱动速度计算上述减振位置处的第二臂速度；第三运算部，其基于上述第一臂速度和上述第二臂速度来计算第三臂速度；第四运算部，其基于上述第三臂速度，来计算对位于上述机器人主体与上述减振位置之间的上述连杆进行驱动的各驱动部的修正速度；以及控制部，其基于上述驱动量、上述驱动速度以及上述修正速度，对驱动位于上述机器人主体与上述减振位置之间的上述连杆的上述驱动部进行控制。
[0035]根据本应用例，作为机器人而使用上述的机器人的控制装置，从而能够更有效地抑制在机器人的动作中产生的振动。其结果是，能够提供实现了更加高精度化、快速化等的机器人。例如，能够抑制在使臂一边移动一边进行高精度的作业的情况下等中，由于振动所弓丨起的那些作业精度降低的情况。
[0036]应用例9
[0037]在上述应用例所涉及的机器人中，技术方案I所记载的机器人的特征在于，上述第三运算部还具备滤波器，该滤波器除去上述第三臂速度的波形中所包含的规定频率以下的低频成分。
[0038]如本应用例所述，由于还具备除去第三臂速度的低频成分的滤波器，由此能更准确地进行基于第一臂速度与第二臂速度的差异分析的振动成分的提取。具体而言，通过除去第三臂速度的低频成分，能够减少误进行抑制机器人臂的本来的动作的修正、惯性传感器的偏置误差等的影响。【专利附图】
【附图说明】
[0039]图1是表示实施方式I所涉及的机器人的连杆模型的示意图。
[0040]图2是实施方式I所涉及的机器人的控制装置的功能框图。
[0041]图3是表示作为机器人的控制方法的减振方法的流程图。
[0042]图4是表示实施方式2所涉及的机器人的连杆模型的示意图。
[0043]图5是表示实施方式3所涉及的机器人的连杆模型的示意图。
[0044]图6是实施方式4所涉及的机器人的示意图。
【具体实施方式】
[0045]以下，参照附图对将本发明具体化的实施方式进行说明。以下是本发明的一个实施方式，该实施方式不限定于本发明。应予说明，在以下各图中，为了易于理解说明，有时以与实际不同的尺寸记载。
[0046]实施方式I
[0047]首先，对实施方式I所涉及的机器人的控制装置以及控制方法进行说明。
[0048]图1是表示搭载实施方式I所涉及的机器人的控制装置的机器人200的连杆模型的示意图。应予说明，在图1中，机器人的控制装置省略了图示。
[0049]机器人200是六轴的多关节机器人，由包括连结起来的六个连杆10 (IOa?IOf)而构成的臂20、具备臂20的机器人主体30、以及六个分别驱动连杆10的驱动部40(40a?40f )等构成。
[0050]以下，将“臂”作为“多个连杆连结而成的结构体”来进行说明。而且，将作为连结各连杆的关节的连结部，作为具有驱动各连杆的功能的驱动部来进行说明。
[0051]臂20由六个连杆IOa?IOf按顺序经由驱动部40a?40f连结而成，构成臂20的一方端部的连杆IOf的前端部作为手部而具备手工具、焊枪、喷枪等(省略图示)。
[0052]臂20的另一方端部经由驱动部40a连结于机器人主体30。
[0053]驱动部40a、40d、40f具备电机，该电机对所连结的连杆10a、IOcUlOf的轴进行旋转驱动。
[0054]驱动部40b、40c、40e具备电机，该电机使连杆转动以改变连结的连杆10b、10c、IOe的连结角度。
[0055]上述结构的机器人200由于是臂20的一方端部支承于机器人主体30的悬臂结构，所以在臂20产生与作为结构体的臂20的刚性、动作速度、手部的重量负荷等对应的弯曲、由弯曲所引起的振动。在要实现臂20的动作位置精度的提高、动作的速度提高等情况下，能够利用预先考虑到该弯曲量、振动的编程来提高位置精度并且还能够进行快速动作的位置控制，但在该情况下伴有编程的负荷大、或者需要动作解析等较大的困难。因此，一边检测动作中产生的弯曲、振动，一边进行对它们抑制的控制，从而更为简单而优选。
[0056]本实施方式所涉及的机器人的控制装置具有该控制功能。以下，对该功能进行说明。
[0057]图2是作为实施方式I所涉及的机器人的控制装置的减振装置100的功能框图。
[0058]减振装置100是抑制在动作中或者在停止时的机器人200的臂20产生的弯曲、振动(以下将“弯曲、振动”，包括弯曲在内地称为“振动”)的机器人的控制装置，由作为角度传感器的编码器50 (50a~50f)、惯性传感器60、运算控制部80等构成。
[0059]首先，返回图1对编码器50、惯性传感器60进行说明。编码器50 (50a~50f)检测驱动部40a~40f所具备的电机的各自的旋转角度0i~06、即驱动部40的驱动量。惯性传感器60为六轴传感器，检测安装位置的加速度以及角速度。即，惯性传感器60检测图1中的X、Y、Z轴方向的加速度(x”、y”、z”)、以及绕X、Y、Z轴的角速度(Rx’、Ry’、Rz’)。
[0060]在减振装置100中，将惯性传感器60安装于减振位置，该减振位置作为抑制臂20 的振动的对象的位置。机器人200表示将惯性传感器60安装于连杆IOf?(即，臂20的前端部的连杆)的例子。
[0061]接下来，返回图2对运算控制部80进行说明。
[0062]运算控制部80由第一运算部81~第四运算部84、控制部85、以及雅可比矩阵运算部87等构成。
[0063]第一运算部81根据惯性传感器60检测的减振位置的加速度以及角速度计算减振
位置的第一臂速度。
[0064]第二运算部82根据编码器50检测的驱动部40的驱动量计算驱动速度，并基于驱动速度以及减振位置所对应的雅可比矩阵J计算减振位置的臂驱动速度(即、第二臂速度)。 在雅可比矩阵运算部87中，基于编码器50检测的驱动量信息等计算雅可比矩阵J。
[0065]第三运算部83基于第一运算部81计算出的第一臂速度和第二运算部82计算出的第二臂速度计算减振位置的第三臂速度亦即臂变形速度。另外，第三运算部83具备滤波器86，该滤波器86除去计算出的第三臂速度的波形中所包含的规定频率以下的低频成分。 在本实施方式中，将规定频率设定为1Hz，其除去IHz以下的低频成分。滤波器86由HPF (High Pass Filter,高通滤波器)构成。
[0066]第四运算部84基于第三运算部83计算出的第三臂速度，通过逆雅可比矩阵J—1计算对位于机器人主体30与减振位置之间的连杆10进行驱动的各驱动部40的修正速度。在雅可比矩阵运算部87中，基于编码器50检测出的驱动量信息等计算逆雅可比矩阵J'`
[0067]控制部85基于第四运算部84计算出的修正速度控制对位于机器人主体30与减振位置之间的连杆10进行驱动的驱动部40。
[0068]图3是表示作为本实施方式的机器人的控制方法的、减振装置100的减振方法的流程图。
[0069]参照图3的流程图并以图1所示的机器人200的连杆模型为对象对运算控制部80 以及运算控制部80的减振方法具体地进行说明。
[0070]首先，伴随着机器人200的工作，基于机器人200的构成规格(各连杆的连结间距离等)、安装有惯性传感器60的机器人200的减振位置的信息、编码器50 (50a~50f )检测出的旋转角度9工~96等，求出与减振位置对应的雅可比矩阵J (步骤SI)。
[0071]接下来，运算雅可比矩阵J的逆矩阵而求出逆雅可比矩阵r1 (步骤S2)。
[0072]雅可比矩阵J以及逆雅可比矩阵广满足以下所示的关系式。
[0073][式I]
【权利要求】
1.一种机器人的控制装置，其特征在于，所述机器人的控制装置具备机器人主体、连结于所述机器人主体且包含多个连杆的臂、驱动多个所述连杆的驱动部、以及检测所述驱动部的驱动量的角度传感器，所述机器人的控制装置具备:惯性传感器，其设置于能够对所述臂的振动进行抑制的减振位置，并且检测所述减振位置处的加速度以及角速度中的至少一方；第一运算部，其根据所述惯性传感器检测出的在所述减振位置处的加速度以及角速度中的至少一方，来计算所述减振位置处的第一臂速度；第二运算部，其根据所述角度传感器检测出的所述驱动部的驱动量来计算驱动速度， 并基于所述驱动量以及所述驱动速度来计算所述减振位置处的第二臂速度；第三运算部，其基于所述第一臂速度和所述第二臂速度来计算第三臂速度；第四运算部，其基于所述第三臂速度来计算对位于所述机器人主体与所述减振位置之间的所述连杆进行驱动的每个驱动部的修正速度；以及控制部，其基于所述驱动量、所述驱动速度以及所述修正速度，对驱动位于所述机器人主体与所述减振位置之间的所述连杆的所述驱动部进行控制。
2.根据权利要求1所述的机器人的控制装置，其特征在于，所述第三运算部还具备滤波器，所述滤波器除去所述第三臂速度的波形中所包含的规定频率以下的低频成分。
3.—种机器人的控制方法,其特征在于， 所述机器人的控制方法是具备包含被连结的多个连杆的臂、和驱动多个所述连杆的驱动部的机器人的控制方法，所述机器人的控制方法包括下述步骤:检测对所述臂的振动进行抑制的减振位置处的第一臂速度的步骤；基于计算出的所述第一臂速度与根据所述驱动部的驱动量计算出的所述减振位置被驱动的速度亦即第二臂速度之差，来计算第三臂速度的步骤；以及基于计算出的所述第三臂速度来对所述驱动部进行修正控制的步骤。
4.一种机器人的控制方法,其特征在于，是具备机器人主体、连结于所述机器人主体且包含多个连杆的臂、驱动多个所述连杆的驱动部、以及检测所述驱动部的驱动量的角度传感器的机器人的控制方法，所述机器人的控制方法包括下述步骤:利用安装于对所述臂的振动进行抑制的减振位置的惯性传感器，来检测所述减振位置的加速度以及角速度中的至少一方的步骤；利用角度传感器检测所述驱动部的驱动量，所述驱动部对位于所述减振位置与所述机器人主体之间的所述连杆进行驱动的步骤；根据所述惯性传感器检测出的所述减振位置的加速度以及角速度中的至少一方，来计算所述减振位置的第一臂速度的步骤；根据所述角度传感器检测出的所述驱动部的驱动量来计算驱动速度，并基于所述驱动量以及所述驱动速度来计算所述减振位置的第二臂速度的步骤；基于所述第一臂速度和所述第二臂速度来计算所述减振位置的第三臂速度的步骤；基于所述第三臂速度来计算对位于所述机器人主体与所述减振位置之间的所述连杆进行驱动的每个所述驱动部的修正速度的步骤；以及基于所述驱动量、所述驱动速度以及所述修正速度，对驱动位于所述机器人主体与所述减振位置之间的所述连杆的所述驱动部进行控制的步骤。
5.根据利要求4所述的机器人的控制方法，其特征在于，在计算所述第三臂速度的步骤中还包括除去计算出的所述第三臂速度的波形中所包含的规定频率以下的低频成分的步骤。
6.根据权利要求4或权利要求5所述的机器人的控制方法，其特征在于，在基于所述第三臂速度来计算对位于所述机器人主体与所述减振位置之间的所述连杆进行驱动的每个所述驱动部的修正速度的步骤中，以所述驱动部中预先选择出的驱动部为对象而进行。
7.根据权利要求4~权利要求6中任一项所述的机器人的控制方法，其特征在于， 在基于所述第三臂速度来计算对位于所述机器人主体与所述减振位置之间的所述连杆进行驱动的每个所述驱动部的修正速度的步骤中，根据预先设定的每个所述驱动部的权重进行对位于所述机器人主体与所述减振位置之间的所述连杆进行驱动的各所述驱动部的修正速度的计算。
8.—种机器人,其特征在于，所述机器人具备机器人主体、连结于所述机器人主体且包含多个连杆的臂、驱动多个所述连杆的驱动部、以及检测所述驱动部的驱动量的角度传感器，所述机器人具备控制装置，所述控制装置包括:惯性传感器，其设置于能够对所述臂的振动进行抑制的减振位置，并且检测所述减振位置处的加速度以及角速度中的至少一方；第一运算部，其根据所述惯性传感器检测出的所述减振位置处的加速度以及角速度中的至少一方，来计算所述减振位置处的第一臂速度；第二运算部，其根据所述角度传感器检测出的所述驱动部的驱动量来计算驱动速度， 并基于所述驱动量以及所述驱动速度来计算所述减振位置处的第二臂速度；第三运算部，其基于所述第一臂速度和所述第二臂速度来计算第三臂速度；第四运算部，其基于所述第三臂速度来计算对位于所述机器人主体与所述减振位置之间的所述连杆进行驱动的每个驱动部的修正速度；以及控制部，其基于所述驱动量、所述驱动速度以及所述修正速度，对驱动位于所述机器人主体与所述减振位置之间的所述连杆驱动的所述部进行控制。
9.根据权利要求8所述的机器人，其特征在于，所述第三运算部还具备滤波器，所述滤波器除去所述第三臂速度的波形中所包含的规定频率以下的低频成分。
【文档编号】B25J9/18GK103568013SQ201310322411
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年7月29日 优先权日:2012年7月31日
【发明者】元吉正树 申请人:精工爱普生株式会社