一种硅棒真空吸盘机械手的制作方法

本实用新型涉及硅棒制造技术领域，具体为一种硅棒真空吸盘机械手。

背景技术：

金刚线切片主生产流程由锭检、粘胶、切片、脱胶、清洗、分选6个工序组成，其中前2个工序锭检和粘胶需要完成大量的搬运动作；目前单晶棒长度主要为300mm以上，最长部分可达620mm左右，重量近40kg，人员搬运非常困难且存在较大的安全隐患。

目前业内存在的真空吸盘主要为300mm以下晶棒设计，无法适用单晶长棒；且操作复杂，空载状态和负载状态都无法任意悬停，需要人员一直握持，存在很大的作业难度。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种硅棒真空吸盘机械手，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅棒真空吸盘机械手，包括底座，所述底座顶部设有立柱，所述立柱顶部设有主关节，所述主关节顶部设有第一悬吊臂，所述主关节左侧设有压力罐，所述第一悬吊臂一端设有副关节，所述副关节底端设有第二悬吊臂，所述第二悬吊臂一端通过旋转节连接有支杆，所述支杆底端设有气缸，所述气缸底端的活塞杆上设有第一真空吸盘和第二真空吸盘。

优选的，所述压力罐通过管道连通于气缸。

优选的，所述第一真空吸盘和第二真空吸盘的吸盘中心间距150mm。

优选的，所述立柱上设有急停开关。

优选的，所述主关节上设有主关节锁死装置，所述副关节上设有副关节锁死装置。

优选的，所述主关节的旋转角度为360°，所述副关节的旋转角度为300°。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型该设备将复杂繁重的搬运操作大大简化，搬运负荷从30kg左右降低至1kg，具有较大的推广价值。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型A处放大结构示意图。

图中：1底座、2立柱、3压力罐、4主关节、5主关节锁死装置、6第一悬吊臂、7副关节锁死装置、8副关节、9第二悬吊臂、10旋转节、11支杆、12气缸、13第一真空吸盘、14第二真空吸盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种硅棒真空吸盘机械手，包括底座1，所述底座1顶部设有立柱2，所述立柱2顶部设有主关节4，所述主关节4顶部设有第一悬吊臂6，所述主关节4左侧设有压力罐3，所述第一悬吊臂6一端设有副关节8，所述副关节8底端设有第二悬吊臂9，所述第二悬吊臂9一端通过旋转节10连接有支杆11，所述支杆11底端设有气缸12，所述气缸12底端的活塞杆上设有第一真空吸盘13和第二真空吸盘14。

所述压力罐3通过管道连通于气缸12。

所述第一真空吸盘13和第二真空吸盘14的吸盘中心间距150mm。

所述立柱2上设有急停开关。

所述主关节4上设有主关节锁死装置5，所述副关节8上设有副关节锁死装置7。

所述主关节4的旋转角度为360°，所述副关节8的旋转角度为300°。

本实用新型该设备将复杂繁重的搬运操作大大简化，搬运负荷从30kg左右降低至1kg，具有较大的推广价值。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。