专利名称：感光性层叠体制造装置和制造方法
技术领域：
本发明涉及将形成在支承体上的感光材料S贴附在衬底上后，剥离所述支承体，制造感光tiJi叠体的感光性层叠体制造装置和制造方法。
技术背景在衬底表面贴附具有感光性树脂层(感光材料层)的感光性板体(感光性板)，构成例如液晶面板用衬底、印刷电路布线用衬底、PDP用衬底。 感光性板例如在挠性塑料支承体上按顺序层叠感光性树脂层和保护薄膜。在这种感光性板体的贴附1 f使用的制造装置通常采用将玻璃衬底或 树脂衬底等衬底分别分开规定的间隔，在薄片轧辊之间输送，并且将剥离 与贴附在所述衬底上的感光性树脂层的范围对应的保护薄膜的感光性板 体在所述薄片轧辊之间输送的方式。例如，在专利第3316093号公报中描述的制造装置中，如图9所示， 从巻1抽出感光性板体2，向半切断装:覽3供给，以规定的间隔切断在构 成感光性板体2的支承体上层叠的保护薄膜和感光性树脂层。接着，对保 护薄膜除去部4供给所述感光性板体2，使用粘胶带等剥离与衬底5的贴 附范围对应的保护薄膜后，对热压接辊6a、 6b之间供给。而在热压接辊 6a、 6b之间搬入加热的衬底5，剥离保护薄膜，通过露出的感光性树脂层， 感光性板体2加热压接到衬底5的下面部。加热压接感光性板体2的衬底 5从热压接辊6a、 6b搬出后，提供给分离装置7，切断衬底5之间的感光 性板体2，制造感光性层叠体8。另外，在这样分离的感光性层叠体8残存支承体，进行从衬底5剥离 该支承体的处理。剥离的支承体收容在支承体收容部中后废弃。图10是图11是支承体的一般的剥离收容机构的说明图。在感光性层 叠体8残存的支承体9由夹具10把持，从衬底5剥离后，落下到在下部待机的支承体收容部11而收容。这时，为了高效制造感光性层叠体8，需要从衬底5连续剥离支承体9，在支承体收容部11层叠收容多个支承体9后，将它们一起废弃。因此， 支承体收容部11以能收容多个支承体9的方式较深地形成。但是，如果支承体收容部11变深，则支承体9的落下距离变长。这 时，支承体9由薄的挠性塑料形成，并且不由夹具10把持的端部是自由 端，所以收容到支承体收容部11中时，如图11所示， 一部分弯曲，在支 承体收容部11中无法收容多个支承体9。发明内容本发明的目的在于，提供高效地在支承体收容部中收容从衬底剥离的 支承体，由此能高效制造感光性层叠体的感光性层叠体制造装置和制造方 法。此外，本发明的目的在于，提供不使支承体收容部大型化，能有效地 收容支承体的感光性层叠体制造装置和制造方法。本发明提供一种感光性层叠体制造装青，其在衬底上贴附形成在支承 体上的感光材料层后，剥离所述支承体，制造感光性层叠体，所述感光性层叠体制造装置的特征在于，包括一对载置台，其相对配置，在载置面载置被剥离的所述支承体； 载置台移动机构，其使所述一对载置台移动而分开； 载置台倾斜机构，其使所述"^t载置台的接近的各端部侧向下方倾斜；支承体收容部，其配置在所述一对载置台的下部，收容从通过所述载 置台移动机构分开的所述一对载置台之间落下的所述支承体。此外，本发明提供—种感光性层叠体制造方法，其在衬底上贴附形成 在支承体上的感光材料层后，剥离所述支承体，制造感光性层叠体，所述 感光性层叠体制造方法的特征在于，包括在相对配置的一对载覽台的载置面上载置被剥离的所述支承体的步骤；使载置有所述支承体的所述一对载置台分开，并且使所述一对载置台的接近的各端部侧向下方倾斜的步骤；从分开的所述-"对载置台之间，使所述支承体落下到配置在所述一对 载置台的下部的支承体收容部中而收容的步骤。在本发明中，从衬底剥离的支承体暂且载置到一对载置台后，使所述 一对载置台分开，并且向下方倾斜，落下到支承体收容部而收容，由此支 承体不会弯曲，能在支承体收容部高效收容多个支承体。其结果，从支承 体收容部废弃支承体的处理次数少，能高效制造感光性层叠体。此外，能 高效收容支承体，所以能小型地构成支承体收容部。根据附图以及以下的优选实施方式例的说明，可更清楚地了解所述目 的、特征以及优点。
图1是本实施方式的层压装置的概略结构图。图2是层压装置中使用的长条状感光性板的剖视图。图3是将粘接标签粘接到长条状感光性板上的状态的说明图。图4是分离的感光性层叠体的剖视图。图5是挠性基膜的剥离废弃机构的结构立体图。图6是挠性基膜的剥离废弃机构的侧面局部剖视图。图7是基膜收容部的剖视图。图8是挠性基膜的剥离废弃机构的动作说明图。图9是以往技术的制造装置的概略结构图。图10是以往技术的支承体的剥离收容机构的立体说明图。图11是以往技术的支承体的剥离收容机构的剖视说明图。具体实施方式
图1是本实施方式的感光性层叠体制造装置即层压装置20的概略结 构图，该层压装置20在液晶或有机EL用滤色器等的制作工序中，进行将 由规定宽度尺寸构成的长条状感光性板22的感光性树脂层28(后面描述) 热转印(层压)到玻璃衬底24上的作业。图2是层压装置20中使用的长条状感光性板22的剖视图。层叠挠性基膜(支承体)26、感光性树脂层(感光材料层)28、保护薄膜30，构成 该长条状感光性板22。如图1所示，层压装置20包括收容将长条状感光性板22巻绕为辊 状的感光性板辊23，能从所述感光性板辊23送出所述长条状感光性板22 的板送出机构32;形成在送出的长条状感光性板22的保护薄膜30和感光 性树脂层28的宽度方向能切断的2处边界部分即半切断部位34a、34b(参 照图2)的加工机构36;将在局部具有非粘接部38a的粘接标签38 (参照 图3)与所述保护薄膜30粘接的标签粘接机构40。在标签粘接机构40的下游配置用于将长条状感光性板22从间歇输送 变更为连续输送的储存机构42、能以规定的长度间隔从长条状感光性板 22剥离保护薄膜30的剥离机构44、在将玻璃衬底24加热到规定温度的 状态下对贴附位置供给的衬底供给机构45、将由于保护薄膜30的剥离而 露出的感光性树脂层28与所述玻璃衬底24 —体地贴附的贴附机构46。在贴附机构46的贴附位置的上游附近配置拍摄包含半切断部位34a、 34b的长条状感光性板22的图像的摄影部47。层压装置20根据由摄影部 47拍摄的半切断部位34a、 34b的图像，计算半切断部位34a、 34b相对于 贴附机构46的位置偏移量，进行长条状感光性板22的输送量的修正。在板送出机构32的下游附近配置将大致使用完毕的长条状感光性板 22的后端和新使用的^条状感光性板22的前端贴附的贴附台49。在贴附 台49的下游，为了控制感光性板辊23的巻偏移引起的宽度方向的偏移， 配置薄膜末端位置检测器51。这里，使板送出机构32在宽度方向移动， 进行薄膜末端位置调整，但是也可以附设组合辊的位置调整机构而进行。加工机构36配置在用于计算板送出机构32上收容缠绕的感光性板辊 23的辊直径的辊对50的下游。加工机构36具有分开距离M (参照图2) 的一对圆刀52a、 52b。圆刀52a、 52b在长条状感光性板22的宽度方向运 动，在夹着保护薄膜30的残存部分B的规定的2个位置形成半切断部位 34a、 34b (参照图2)。如图2所示，半切断部位34a、 34b需要至少切断保护薄膜30和感光 性树脂层28，实际上，以切入到挠性基膜26的方式设定圆刀52a、 52b的 切入深度。圆刀52a、 52b采用在不旋转而固定的状态下，在长条状感光性板22的宽度方向移动，形成半切断部位34a、 34b的方式；或者，不 在所述长条状感光性板22上滑动， 一边旋转一边在所述宽度方向移动， 形成所述半切断部位34a、 34b的方式。该半切断部位34a、 34b也可以代 替圆刀52a、 52b，例如采用使用了激光或超声波的切断方式，除此之外还 可以采用以刀刃、剪断刀(汤姆逊刀)等形成的方式。半切断部位34a、 34b设定为将感光性树脂层28在玻璃衬底24贴附 时，例如从所述玻璃衬底24的两端部分别向内侧进入10mm的位置。须 指出的是，玻璃衬底24之间的保护薄膜30的残存部分B作为在后面描述 的贴附机构46，将感光性树脂层28在所述玻璃衬底24贴附为框状时的掩 模起作用。标签粘接机构40为了与玻璃衬底24之间对应而剩下保护薄膜30的 残存部分B，供给连接半切断部位34b侧的剥离部分A和半切断部位34a 侧的剥离部分A的粘接标签38。如图3所示，粘接标签38构成为长方形，例如用与保护薄膜30相同 的树脂材料形成。粘接标签38在中央部具有不涂敷粘合剂的非粘接部(包 含微粘合)38a，并且在该非粘接部38a的两侧即所述粘接标签38的纵向 两侧端部具有与前方的剥离部分A粘接的第- -粘接部38b、和与后方的剥 离部分A粘接的第二粘接部38c。如图1所示，标签粘接机构40具有分别隔开规定间隔最大能贴附7 个粘接标签38的吸附盘54a 54g，并且在基于所述吸附盘54a 54g的所述 粘接标签38的贴附位置，可自由升降地配置用于从下方保持长条状感光 性板22的承受台56。储存机构42为了吸收上游侧的长条状感光性板22的间歇输送和下游 侧的所述长条状感光性板22的连续输送的速度差，具有在箭头方向能自 由摆动的松紧调节辊60。配置在储存机构42的下游侧的剥离机构44具有遮断长条状感光性板 22的送出侧的张力变动，用于使层压时的张力稳定化的吸入筒62。在吸 入筒62的附近配置剥离辊在剥离机构44的下游侧配置能对长条状感光性板22赋予张力的张力 控制机构66。通过张力浮动辊70在工作缸68的驱动作用F摆动变位，张 力控制机构66能调整长条状感光性板22的张力。须指出的是，张力控制 机构66可以按照需要使用，也可以不使用。衬底供给机构45具有夹持玻璃衬底24而配置的衬底加热部(例如， 加热器)74、将该玻璃衬底24在箭头Y方向输送的输送部76。在衬底加 热部74，始终监视玻璃衬底24的温度，在异常时，产生输送部76的停止 或警报，并且发出异常信息，将异常的玻璃衬底24在以后的步骤中进行 NG排出，能在质量管理或生产管理中利用。在输送部76配置未图示的气 浮板，玻璃衬底24浮起，在箭头Y方向输送。玻璃衬底24的输送也能由 滚柱式输送器进行。玻璃衬底24的温度测定优选在衬底加热部74内或贴附位置之前进 行。作为测定方法，除了接触式(例如热电偶)外，也可以是非接触式。贴附机构46具有上下配置并且加热到规定温度的橡胶辊(压接辊) 80a、 80b。橡胶辊80a、 80b与后备辊82a、 82b滑接。 一后备辊82b通过 构成辊夹紧部83的加压工作缸84按压在橡胶辊80b侧。玻璃衬底24由构成从贴附机构46在箭头Y方向延伸的输送路线的多 个衬底输送辊90a 卯f输送。在衬底输送辊90b、 90c之间配置通过切断玻 璃衬底24之间的长条状感光性板22来分离在玻璃衬底24贴附有感光性 材料层的感光性层叠体92的切断机构94。这时，被分离的感光性层叠体 92如图4所示，将挠性基膜26经由感光性树脂层28贴附在玻璃衬底24 上。在玻璃衬底24的前后，保护薄膜30的残存部分B、感光性树脂层28 和挠性基膜26的一部分突出。此外，在衬底输送辊90e、 90f的侧部配置从感光性层叠体92剥离挠 性基膜26而废弃的剥离废弃机构96。图5和图6是剥离废弃机构96的结 构图。剥离废弃机构96具有以在玻璃衬底24残留感光性树脂层28的状 态，把持挠性基膜26的一端部，将挠性基膜26从感光性层叠体92在箭 头X方向剥离的夹具98a、 98b;配置在感光性层叠体92的侧部，载置被 剥离的挠性基膜26的一对载置台100a、 100b;配置在载置台100a、 100b的下部，以层叠状态收容被剥离的多个挠性基膜26的基膜收容部102 (支承体收容部)。各载置台100a、 100b在作为感光性展叠体92的输送方向的箭头Y方 向相对配置，具有使挠性基膜26的载置面在彼此接近的箭头Yl、 Y2方 向移动的带式输送机104a 104d和106a 106d (载置面移动机构)。所述各 载置面通过带式输送机104a 104d和106a 106d的分开的各一端部上安装 的电机薦a、 108b移动。这些带式输送机104a 104d和106a 106d的所 述各一端部轴支承在沿着导轨110a、 110b禾L] 110c、 110d能在箭头Yl、 Y2方向移动的移动框112a、 112b (载置台移动机构)。此外，导轨110a、 110b和110c、 110d固定在支承框114a、 114b上。支承框114a、 114b、和 带式输送机104a 104d以及106a 106d的接近的各另一端部由使所述各另 一端部侧从水平状态向箭头e方向倾斜的倾斜工作缸116a、 116b和116c、 116d (载置台倾斜机构)连接。配置在载置台100a、 100b的下部的基膜收容部102如图6所示，具 有在箭头Z方向升降的底面部118;使底面部118升降的升降工作缸120 (底面下降机构)；与基膜收容部102的开口部相对配置，构成检测被收 容的挠性基膜26的收容状态的收容状态检测机构的发光元件122和受光 元件124。这时，底面部118如图7所示，设定为相对于挠性基膜26的剥 离方向即箭头X方向倾斜的状态。须指出的是，在如以上那样构成的层压装置20中，板送出机构32、 加工机构36、标签粘接机构40、储存机构42、剥离机构44和张力控制机 构66和摄影部47配置在贴附机构46的上方，但是也可以与此相反，是 在所述贴附机构46的下方配置从所述板送出机构32到所述摄影部47，长 条状感光性板22的上下变为相反，在玻璃衬底24的下侧贴附感光性树脂 层28的结构，此外，也nj以将长条状感光性板22的输送路线构成为直线 状。层压装置20内，经由分隔壁126划分为第一无尘室128a和第二无尘 室128b。在第一无尘室128a收容从板送出机构32到张力控制机构66， 在第二无尘室128b收容摄影部47以后的机构。第一无尘室128a和第二 无尘室128b通过贯通部130连通用与本发明的制造方法的关联，说明以上构成的层压装置20的动作。首先，从安装在板送出机构32上的感光性板辊23送出长条状感光性 板22。长条状感光性板22输送到加工机构36。在加工机构36，圆刀52a、52b在长条状感光性板22的宽度方向移动， 将长条状感光性板22从保护薄膜30切入到感光性树脂层28和挠性基膜 26，形成分开保护薄膜30的残存部分B的宽度M的半切断部位34a、 34b (参照图2)。由此，在长条状感光性板22上夹着所述残存部分B设置前 方的剥离部分A和后方的剥离部分A (参照图2)。须指出的是，以长条状感光性板22不延伸为前提，以提供给贴附机 构46的橡胶辊80a、 80b之间的玻璃衬底24之间的距离为基准，设定残 存部分B的宽度M。此外，以宽度M形成的一组半切断部位34a、 34b以 贴附在玻璃衬底24上的感光性树脂层28的基准长度的间隔形成在长条状 感光性板22。接着，长条状感光性板22输送到标签粘接机构40，保护薄膜30的规 定的贴附部位配置在承受台56上。在标签粘接机构40，规定个数的粘接 标签38由吸附盘54b 54g吸附保持，各粘接标签38跨保护薄膜30的残 存部分B，与前方的剥离部分A和后方的刹离部分A —体地粘接(参照 图3)。例如，粘接7个粘接标签38的长条状感光性板22如图1所示，经由 储存机构42防止送出侧的张力变动后，连续地输送到剥离机构44。在剥 离机构44，长条状感光性板22的挠性基膜26由吸入筒62吸附保持，并 且保护薄膜30剩下残存部分B，从所述长条状感光性板22剥离。该保护 薄膜30通过剥离辊63剥离，.巻绕在保护薄膜巻绕部64上(参照图1 )。在剥离机构44的作用下，保护薄膜30剩下残存部分B，从挠性基膜 26剥离后，长条状感光性板22通过张力控制机构66进行张力调整，接着， 在摄影部47，在规定的摄影定时拍摄包含半切断部位34a、 34b的长条状 感光性板22的图像。通过摄影部47后的长条状感光性板22输送到贴附机构46，由此进行 感光性树脂层28相对于玻璃衬底24的热转印处理(层压)。这时，根据 由摄影部47拍摄的半切断部位34a、 34b的图像，调整贴附机构46的半切断部位34a、 34b的位置。在贴附机构46，最初将橡胶辊80a、 80b设定为分开的状态，在橡胶 辊80a、 80b之间的规定位置，将长条状感光性板22的半切断部位34a定 位，在该状态下，暂停所述长条状感光性板22的输送。在该状态下，通 过构成衬底供给机构45的衬底加热部74加热到规定温度的玻璃衬底24 的前端部由输送部76搬入橡胶辊80a、 80b之间时，在加压工作缸84的 作用下，后备辊82b、橡胶辊80b上升，玻璃衬底24和长条状感光性板 22以规定的压力夹入橡胶辊80a、 80b之间。须指出的是，橡胶辊80a、 80b加热到规定的层压温度。接着，橡胶辊80a、 80b旋转，玻璃衬底24和长条状感光性板22向 箭头Y方向输送。其结果，感光性树脂层28加热熔融，热转印到玻璃衬 底24 (层叠)。须指出的是，作为层压条件，是速度1.0m/min 10.0m/min，橡胶辊80a、 80b的温度80。C 14(TC，所述橡胶辊80a、 80b的橡胶硬度40度~90度， 该橡胶辊80a、 80b的压力(线压力)50N/cm 400N/cm。如果相对于玻璃衬底24，长条状感光性板22的一个量的层压结束， 则停止橡胶辊80a、 80b的旋转，而层压有长条状感光性板22的玻璃衬底 24的前端部由衬底输送辊90a夹紧。这时，在橡胶辊80a、 80b之间的规 定位置配置半切断部位34b。然后，橡胶辊80b在离开橡胶辊80a的方向退让，解除夹紧，并且衬 底输送辊90a的旋转以低速再次开始，在玻璃衬底24层压有长条状感光 性板22的感光性层叠体在箭头Y方向输送与保护薄膜30的残留部分B 的宽度M对应的距离，下一半切断部位34a输送到橡胶辊80a的下方附近 的规定位置以后，橡胶辊80a、 80b的旋转停止。须指出的是，以下，将 只在半切断部位34a、 34b之间输送长条状感光性板22的处理称作"衬底 间输送"。而在所述的状态中，通过衬底供给机构45将下一玻璃衬底24向贴附 位置输送。通过重复以上的动作，连续地制造在玻璃衬底24贴附有感光 性树脂层28的感光性层叠体92。这时，感光性层叠体如图4所示，各自的端部彼此由保护薄膜30的残留部分B覆盖。因此，感光性树脂层28转印到玻璃衬底24时，橡胶辊 80a、 80b不会被所述感光性树脂层28污染。由贴附机构46制造的感光性层叠体92在由贴附机构46将长条状感 光性板22进行衬底间输送后，处于暂停状态时，通过配置在衬底输送辊 90b、90c之间的切断机构94，切断玻璃衬底24之间的长条状感光性板22， 从而分离。接着，分离的感光性层叠体92输送到剥离废弃机构96，进行挠性基 膜26的剥离废弃处现。在剥离废弃机构96，如图5所示，从感光性层叠体92的输送方向(箭 头Y方向)的两端部突出的挠性基膜26的端部由夹具98a、 98b把持后， 夹具98a、 98b在箭头X方向移动，由此，在玻璃衬底24上残留有感光性 树脂层28的状态下，从玻璃衬底24侧剥离挠性基膜26。须指出的是，剥 离了挠性基膜26的感光性层叠体92提供给下一处理步骤。从玻璃衬底24剥离的挠性基膜26载置到构成在侧部待机的载置台 100a、 100b的带式输送机104a 104d和106a 106d上。须指出的是，载置 挠性基膜26时，带式输送机104a 104d和106a 106d如图6所示，载置 面设定为水平状态，并且设定为相互接近的状态。因此，挠性基膜26在 没有弯曲的平的状态下载置到载置面。接着，电机108a、 108b驱动，由此， 一带式输送机104a 104d的载 置面的载置面在箭头Yl移动，并且另一带式输送机106a 106d的载置面 在箭头Y2方向移动。此外， 一移动框112a沿着导轨110a、 110b在箭头 Y2方向移动，并且另一移动框112b沿着导轨110c、 110d在箭头Yl方向 移动。进而，倾斜工作缸116a、 116b禾卩116c、 116d驱动，带式输送机 104a 104d和106a 106d的接近的端部侧在箭头e方向倾斜。这时，挠性基膜26的载置面在对称的箭头Yl、 Y2方向移动，并且 带式输送机104a 104d和106a 106d在箭头Yl、 Y2方向分幵，由此，在 载置的挠性基膜26保持在剥离废弃机构96的中央部分的状态下，成为从 分开的带式输送机104a 104d和106a 106d之间向下方向弯曲的状态。另 外，带式输送机104a 104d和106a 106d的接近的端部侧在箭头9方向倾 斜，所以挠性基膜26从带式输送机104a 104d和106a 106d之间开始向下落下。图8表示这时的状态。如果带式输送机104a 104d和106a 106d之间分幵规定距离，并且变 为规定的倾斜角度，则挠性基膜26落下，收容于在下部待机的基膜收容 部102中。这时，侥性基膜26在沿与剥离的方向即箭头X方向正交的方 向弯曲的状态下，下降到基膜收容部102侧。因此，对挠性基膜26赋予 相对于剥离方向(箭头X方向)不易弯曲的强度，在该状态下，载置到基 膜收容部102的底面部118上。此外，挠性基膜26在F降到基膜收容部 102侧的期间，由带式输送机104a 104d和106a 106d支承，在该状态下， 挠性基膜26的载黄面和基膜收容部102的距离缩短，所以挠性基膜26以 稳定的姿势载置到底面部118上。如上所述，在基膜收容部102内层叠收容了多个感光性树脂层28时， 层叠在最上部的感光性树脂层28和带式输送机104a 104d以及106a 106d 的载置面的距离减小。因此，通过配置在基膜收容部102的发光元件122 和受光元件124，检测到最上部的感光性树脂层28时，驱动升降工作缸 120，使底面部118在箭头Z方向T降规定距离，由此将最上部的感光性 树脂层28和载置面的距离保持一定，能在始终稳定的状态下，在基膜收 容部102收容挠性基膜26。须指出的是，在上述的实施方式中，将从一个感光性板辊23供给的 长条状感光性板22贴附到玻璃衬底24，由此制造所谓的一份感光性层叠 体，但是，例如也可以从2个感光性板辊或3个以上的感光性板辊供给长 条状感光性板22，在玻璃衬底24贴附，制造所谓的2份、3份感光性层 叠体。
权利要求
1.一种感光性层叠体制造装置，其在衬底(24)上贴附形成在支承体(26)上的感光材料层(28)后，剥离所述支承体(26)，制造感光性层叠体(92)，所述感光性层叠体制造装置的特征在于，包括一对载置台(100a、100b)，其相对配置，在载置面载置被剥离的所述支承体(26)；载置台移动机构(112a、112b)，其使所述一对载置台(100a、100b)移动而分开；载置台倾斜机构(116a～116d)，其使所述一对载置台(100a、100b)的接近的各端部侧向下方倾斜；支承体收容部(102)，其配置在所述一对载置台(100a、100b)的下部，收容从通过所述载置台移动机构(112a、112b)而分开的所述一对载置台(100a、100b)之间落下的所述支承体(26)。
2. 根据权利要求l所述的感光性层叠体制造装置，其特征在于， 具有支承体剥离机构(98a、 98b)，所述支承体剥离机构(98a、 98b)把持所述支承体(26)的端部，沿着所述一对载置台(100a、 100b)的载 置面剥离所述支承体(26)。
3. 根据权利要求l所述的感光性层叠体制造装置，其特征在于， 所述一对载置台(100a、 100b)具有使所述载置面向使它们接近的方向移动的载置面移动机构(104a 104d、 106a 106d)。
4. 根据权利要求1所述的感光性层叠体制造装置，其特征在于， 所述支承体收容部(102)通过层叠所述支承体(26)的底面相对于与所述一对载置台(100a、 100b)分开的方向正交的方向倾斜而构成。
5. 根据权利要求l所述的感光性层叠体制造装置，其特征在于， 所述支承体收容部(102)包括收容状态检测机构(122、 124)，其检测被收容的所述支承体(26) 的收容状态；底面下降机构(120)，其按照由所述收容状态检测机构(122、 124)检测到的所述收容状态，使层'叠所述支承体(26)的底面下降。
6. 根据权利要求5所述的感光性层叠体制造装置，其特征在于， 所述收容状态检测机构(122、 124)由配置在所述支承体收容部(102)的开口部的发光元件(122)和受光元件(124)构成，按照所述发光元件 (122)和所述受光元件(124)之间所述支承体(26)的有无，检测所述 支承体(26)的收容状态。
7. —种感光性层叠体制造方法，其在衬底(24) h贴附形成在支承 体(26)上的感光材科层(28)后，剥离所述支承体(26)，制造感光性 层叠体(92)，所述感光性层叠体制造方法的特征在于，包括在相对配置的一对载置台(100a、 100b)的载置面上载置被剥离的所 述支承体(26)的步骤；使载置有所述支承体(26)的所述一对载置台(100a、 100b)分开， 并且使所述一对载置f (100a、 100b)的接近的各端部侧向下方倾斜的步 骤；从分开的所述一对载覽台(100a、 100b)之间，使所述支承体(26) 落下到配置在所述--对载置台(100a、 100b)的下部的支承体收容部(102) 中而收容的步骤。
8. 根据权利要求7所述的感光性层叠体制造方法，其特征在于， 所述支承体(26)沿着所述一对载置台(100a、 100b)的载置面被剥离而载置。
9. 根据权利要求7所述的感光性层叠体制造方法，其特征在于， 使载置有所述支承体(26)的所述一对载置台(100a、 100b)分开，并且使所述一对载置台U00a、 100b)的所述载置面向使它们接近的方向 移动。
10. 根据权利要求7所述的感光性层叠体制造方法，其特征在于，包含检测收容在所述支承体收容部(102)中的所述支承体(26)的收容 状态的步骤；按照所述收容状态，使层叠所述支承体(26)的所述支承体收容部 (102)的底面下降的步骤。
全文摘要
本发明提供一种感光性层叠体制造装置和制造方法。将挠性基膜(26)载置到带式输送机(104a～104d)和(106a～106d)后，使一带式输送机(104a～104d)在箭头(Y2)方向移动，并且使载置面在箭头(Y1)方向移动，使另一带式输送机(106a～106d)在箭头(Y1)方向移动，并且使载置面在箭头(Y2)方向移动，进而，使带式输送机(104a～104d)和(106a～106d)在箭头(θ)方向移动，由此，使挠性基膜(26)从带式输送机(104a～104d)和(106a～106d)落下到基膜收容部(102)而收容。
文档编号B32B38/18GK101274502SQ20081008788
公开日2008年10月1日 申请日期2008年3月27日 优先权日2007年3月28日
发明者泽原真吾, 长谷明彦 申请人:富士胶片株式会社