与外涂光刻胶一起使用的涂料组合物的制作方法

技术特征：

1.一种形成光刻胶浮雕像的方法，所述方法包括：

(a)在基材上涂覆包括树脂的减反射涂料组合物，所述树脂包括1)共价连接的交联剂组分和2)对应于下列式的化合物：

其中所述基团R¹OOC(CH2)n-、R²-和R³OOC(CH2)m-中至少两个是不同的酸或酯基团；和

R¹、R²和R³各自独立地是氢或非氢取代基；和

n和m可以相同或不同，各自是一个整数；

所述化合物具有卤素取代基；

(b)在上述涂料组合物层上涂覆光刻胶组合物；和

(c)曝光和显影所述光刻胶层，从而制得光刻胶浮雕像，

所述树脂包含聚酯键，

所述树脂是由具有下式的一个或多个化合物形成的：

其中所述基团R¹OOC(CH2)n-、R²-和R³OOC(CH2)m-中至少两个是不同的酸或酯基团；和

R¹、R²和R³各自独立地是氢或非氢取代基；和

n和m可以相同或不同，各自是一个整数。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述减反射组合物在涂覆所述光刻胶组合物之前被交联。

3.如权利要求1或2所述的方法，其中所述化合物具有氟取代基。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述交联剂组分包含反应性羟基、氮、羧基和/或环氧基团。