技术特征：
技术总结
本发明课题是提供表面处理金属氧化物溶胶及其制造方法，所述表面处理金属氧化物溶胶能够实现兼具高折射率及高透光性、低雾度及珠粒小、高敏感度、高残膜率、高分辨率、高耐擦伤性及高耐气候性的抗蚀剂膜。本发明表面处理金属氧化物溶胶包含经表面处理的金属氧化物粒子和分散介质，所述经表面处理的金属氧化物粒子是在金属氧化物粒子的表面设置规定量的含有(甲基)丙烯酸系基团的有机硅化合物而得到的。金属氧化物粒子含有以TiO2计为50质量％以上的二氧化钛。在经表面处理的金属氧化物粒子上，相对于100质量份金属氧化物粒子而言，设置有以Rn‑SiO(4‑n)/2计为0.1～60质量份的含有(甲基)丙烯酸系基团的有机硅化合物。
技术研发人员：二神涉;村口良
受保护的技术使用者：日挥触媒化成株式会社
技术研发日：2017.03.29
技术公布日：2017.10.20