NiO纳米结构阵列材料、制备方法、电致变色器件与流程

文档序号:12660790阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种NiO纳米结构阵列材料,其特征在于:包括衬底和设置在衬底上的NiO层;所述NiO层为形貌均一、六角堆积排列的球壳状纳米结构阵列。

2.根据权利要求1所述的NiO纳米结构阵列材料,其特征在于:所述的衬底为氧化铟锡导电玻璃衬底。

3.根据权利要求1所述的NiO纳米结构阵列材料,其特征在于:所述的NiO层球壳状纳米单元的高度为480~540nm。

4.一种NiO纳米结构阵列材料,其特征在于:包括以下步骤:

S1,清洗玻璃衬底和氧化铟锡导电玻璃衬底;

S2,利用自组装方法在S1清洗的玻璃衬底制备聚苯乙烯单层薄膜;

S3,用S1清洗的氧化铟锡导电玻璃衬底捞起S2制备的聚苯乙烯单层薄膜,在室温下自然干燥,形成单层胶体晶体模板;

S4,将S3制备的单层胶体晶体模板置于干燥箱中热处理;

S5,将S4热处理的模板取出后置于磁控溅射仪中,进行溅射镀膜;

S6,将S5溅射镀膜的模板取出后置于马弗炉加热,去除聚苯乙烯模板,形成球壳状结构的NiO纳米阵列材料。

5.根据权利要求4所述的一种NiO纳米结构阵列材料的制备方法,其特征在于:所述步骤S1具体的步骤为:

SA1,将玻璃衬底依次置于丙酮、乙醇和去离子水中分别超声清洗30分钟;

SA2,将玻璃衬底置于浓硫酸与双氧水体积比为3:1的混合液中浸泡8小时,然后超声清洗60分钟,再用去离子水反复清洗;

SA3,将玻璃衬底置于氨水、双氧水、去离子水体积比为1:1:3的混合液中超声清洗60分钟,用去离子水清洗多次后待用;

SA4,氧化铟锡导电玻璃衬底依次在丙酮、乙醇和去离子水中分别超声清洗30分钟,置于去离子水中待用。

6.根据权利要求4所述的一种NiO纳米结构阵列材料的制备方法,其特征在于:所述步骤S2的气液界面自组装法,具体的步骤为:将S1清洗的玻璃衬底置于培养皿中央,向培养皿中缓慢加水,水面略高于玻璃片表面,但不没过玻璃片,然后将直径为1微米、质量百分比为10%的聚苯乙烯微球与乙醇和去离子水按照体积比1:4:4配成混合液,用移液器取20 微升聚苯乙烯微球的混合液滴在玻璃片上,混合液迅速从玻璃片上扩散至水面,并在水面自组装形成聚苯乙烯单层薄膜。

7.根据权利要求4所述的一种NiO纳米结构阵列材料的制备方法,其特征在于:所述步骤S4中干燥箱温度为100度,处理5分钟。

8.根据权利要求4所述的一种NiO纳米结构阵列材料的制备方法,其特征在于:所述步骤S5中磁控溅射靶材为Ni靶,真空度为5×10-7托,溅射气体为高纯氩气,溅射功率为80 W,溅射时间为1000-3000 s。

9.根据权利要求4所述的一种NiO纳米结构阵列材料的制备方法,其特征在于:所述步骤S6中马弗炉温度为400度,处理120分钟。

10.一种使用权利要求1—3中任一项或使用权利要求4-9制备的NiO纳米结构阵列材料制成的电致变色器件。

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