150]在图24中表示(实施例2-1?2-3)的实验结果。图24的横轴表示从喷嘴51的抗蚀剂液的排出次数，纵轴表示各次中测定的抗蚀剂液的排出量。图中，以叉的点表示(实施例2-1)的结果，以白圆点表示(实施例2-2)的结果。另外，以白方形的点表示(实施例2-3)的结果。
[0151]根据图24所示的实验结果，在(实施例2-1?2-3)的任一个中，只要转子65的供给开始位置相同，与抗蚀剂液的供给次数无关，抗蚀剂液的排出量基本固定。相对于此，在各实施例期间比较抗蚀剂液的排出量，(实施例2-1)中抗蚀剂液的平均排出量为0.722ml,另一方面，(实施例2-2)与其相比，平均排出量稍少，为0.716ml。另外，(实施例2_3)与(实施例2-1、实施例2-2)相比，抗蚀剂液的平均排出量大幅增加，为0.807ml。
[0152]像这样，根据转子65的排出开始位置，从喷嘴51排出的抗蚀剂液的量变化的正确理由仍不清楚，但是，能够考虑是因为根据管道62的配置形状、挤压位置，被挤压的管道恢复形状的力发生变化。
[0153]如以上所说明的方式，根据(实施例2-1?实施例2-3)的实验结果，可以得到从喷嘴51排出的抗蚀剂液的排出量受到转子65的排出开始位置的大幅影响这样新的见解。因此，可知在以一个转子65进行处理液的输送的管道泵6中，通过使转子65的排出开始位置在晶片W的处理时一致，能够在晶片W面间供给稳定量的抗蚀剂液。
【主权项】
1.一种处理液供给装置，利用设置于供给路径的供给泵将从处理液供给源供给的处理液经由排出部向被处理体排出，所述处理液供给装置的特征在于: 所述供给泵包括: 具有弹性、构成所述供给路径的一部分的管道； 引导部，其用于限制所述管道的外表面，沿该管道延伸的方向设置； 一个挤压部，其隔着所述管道位于引导部的相反侧，在所述挤压部与该引导部之间在挤压管道的状态下移动，由此输送处理液；和 移动机构，使所述挤压部进入位于处理液的输送方向的上游侧、在所述挤压部与所述引导部之间夹着管道的位置，使所述挤压部沿着该引导部向下游侧移动，向所述排出部供给了处理液之后，使挤压部移动使其以从挤压所述管道的位置脱离， 在利用所述供给泵向所述排出部供给处理液期间中，所述管道仅被所述挤压部挤压。
2.如权利要求1所述的处理液供给装置，其特征在于: 当向所述排出部供给处理液时，所述挤压部从在所述管道延伸的方向上的预先设定的位置挤压管道的状态开始移动。
3.如权利要求2所述的处理液供给装置，其特征在于，包括: 从所述供给泵和排出部之间的供给路径分支的支路； 在所述排出部和支路之间切换处理液的供给目的地的流路切换部；和 控制部，其输出控制信号，使得执行以下步骤: 在所述挤压部在挤压所述导管的状态下从进入所述挤压部与所述引导部之间夹着管道的位置开始移动至所述预先设定的位置为止的期间中，形成将处理液的供给目的地切换至所述支路的状态的步骤；和 在所述挤压部到达该预先设定的位置之后，形成将处理液的供给目的地切换至所述排出部侧的状态的步骤。
4.如权利要求3所述的处理液供给装置，其特征在于: 所述支路与比所述管道更靠处理液供给源侧的供给路径合流，在处理液的供给目的地切换为支路的状态期间中从所述供给泵供给的处理液返回该供给泵。
5.如权利要求4所述的处理液供给装置，其特征在于: 在从所述供给泵供给的处理液经由所述支路被返回到该供给泵为止的流路设置有过滤器。
6.如权利要求1?5中任一项所述的处理液供给装置，其特征在于，包括: 进行流入该管道的处理液的供给和切断的开闭阀，其设置于比所述管道更靠处理液供给源侧的供给路径；和 设置于比所述管道更靠排出部侧的供给路径的过滤器， 所述处理液供给装置包括: 控制部，其输出控制信号，使得执行: 在所述开闭阀和管道之间的供给路径存在处理液的状态下，利用所述挤压部挤压管道的步骤； 接着，在关闭了所述开闭阀的状态下，使所述挤压部向排出部侧的供给路径移动，利用管道的形状要恢复原来的形状的力，对所述开闭阀和管道之间的供给路径内进行减压，对处理液进行脱气的步骤；和 此后，打开所述开闭阀，使脱气后的处理液进入管道，之后再次在挤压管道的状态下使所述挤压部移动，由此，向过滤器供给处理液，对脱气后的处理液进行过滤的步骤。
7.如权利要求1?5中任一项所述的处理液供给装置，其特征在于: 所述供给泵构成为，为了改变向所述排出部供给的处理液的供给量，沿所述管道延伸的方向的长度不同的多个引导部能自由更换。
8.如权利要求1?5中任一项所述的处理液供给装置，其特征在于: 所述供给泵构成为，为了改变向所述排出部供给的处理液的供给量，内径不同的多个管道能自由更换。
9.如权利要求1?5中任一项所述的处理液供给装置，其特征在于: 所述移动机构构成为使多个挤压部移动，在使用一个挤压部向所述排出部供给处理液期间中，使其它的挤压部不进入所述一个挤压部与所述引导部之间夹着管道的区域。
10.一种处理液供给方法，利用设置于供给路径的供给泵将从处理液供给源供给的处理液经由排出部向被处理体排出，所述处理液供给方法的特征在于: 使用供给泵，所述供给泵包括: 具有弹性、构成所述供给路径的一部分的管道； 引导部，其用于限制所述管道的外表面，沿该管道延伸的方向设置；和一个挤压部，其隔着所述管道位于引导部的相反侧，在所述挤压部与该引导部之间在挤压管道的状态下移动，由此输送处理液， 所述处理液供给方法包括以下步骤: 使所述挤压部进入位于处理液的输送方向的上游侧、所述挤压部与所述引导部之间夹着管道的位置的步骤； 接着，使所述挤压部沿该引导部向下游侧移动，向所述排出部供给处理液的步骤；和 此后，使挤压部从挤压所述管道的位置脱离的步骤， 利用所述供给泵向所述排出部供给处理液期间中，仅由所述挤压部挤压所述管道。
11.如权利要求10所述的处理液供给方法，其特征在于: 在向所述排出部供给处理液的步骤中，所述挤压部从在所述管道延伸的方向上的预先设定的位置挤压管道的状态开始移动。
12.如权利要求11所述的处理液供给方法，其特征在于: 所述处理液供给方法使用: 从所述供给泵和排出部之间的供给路径分支的支路；和 在所述排出部和支路之间切换处理液的供给目的地的流路切换部， 所述处理液供给方法包括: 从所述挤压部进入所述挤压部与所述供给部之间夹着管道的位置开始至所述预先设定的位置为止在挤压所述管道的状态下移动的期间中，形成将处理液的供给目的地切换至所述支路的状态的步骤；和 在所述挤压部到达该预先设定的位置之后，形成将处理液的供给目的地切换至所述排出部侧的状态的步骤。
13.如权利要求12所述的处理液供给方法，其特征在于: 所述支路与比所述管道更靠处理液供给源侧的供给路径合流， 在形成将处理液的供给目的的切换至支路的状态的步骤中，从所述供给泵供给的处理液返回该供给泵。
14.如权利要求13所述的处理液供给方法，其特征在于，包括: 利用过滤器对从所述供给泵供给、经由所述支路返回该供给泵的处理液进行过滤的步骤。
15.如权利要求10?14中任一项所述的处理液供给方法,其特征在于: 所述处理液供给方法使用: 设置于比所述管道更靠处理液供给源侧的供给路径、进行向该管道流入的处理液的供给和切断的开闭阀；和 设置于比所述管道更靠排出部侧的供给路径的过滤器， 所述处理液供给方法包括以下步骤: 在所述开闭阀和管道之间的供给路径存在处理液的状态下利用所述挤压部挤压管道的步骤； 接着，在关闭所述开闭阀的状态下使所述挤压部向排出部侧的供给路径移动，利用管道的形状要恢复原来的形状的力，对所述开闭阀和管道之间的供给路径内进行减压，对处理液进行脱气的步骤；和 此后，打开所述开闭阀，使脱气后的处理液进入管道，之后再次在挤压管道的状态下使所述挤压部移动，由此，向过滤器供给处理液，过滤脱气后的处理液的步骤。
【专利摘要】本发明提供处理液的置换性高、能够稳定地进行处理液的供给的处理液供给装置。在设置于经由排出部(51)向被处理体(W)排出处理液的处理液供给装置(5)的供给泵(6)中，构成处理液的供给路径的一部分的管道(62)具有弹性，引导部(61)限制管道(62)的外表面，因此，沿该管道延伸的方向设置。挤压部(65)以在其与引导部(61)之间夹着导管(62)并对该导管进行了挤压的状态移动，由此，向排出部(51)供给处理液。通过该供给泵(6)向排出部(51)供给处理液器件，导管(62)仅被挤压部(65)挤压。
【IPC分类】G03F7-16, G03F7-30
【公开号】CN104698758
【申请号】CN201410743028
【发明人】佐佐卓志, 柴田大树
【申请人】东京毅力科创株式会社
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2014年12月5日
【公告号】DE102014225053A1, US20150159642