触可靠。
[0030]本实用新型中，如图1和图2所示，卡盘本体I呈圆盘状，其上表面上具有用于与光掩膜版的内环相配合的第一圆台103，第一圆台103位于卡盘本体I的中心；卡盘本体I的上表面还设有第一凹槽101，第一凹槽101围设于第一圆台103外。当将光掩膜版装设于卡盘上时，光掩膜版的内环套装于第一圆台103上，光掩膜版的环形的实体部分卡紧于第一凹槽101内。
[0031]优选地，本实用新型中，第一圆台103的直径比光掩膜版的内环的内径小Imm?2mm，便于将光掩膜版的内环轻松的套装于第一圆台103上，以及轻松的将光掩膜版从第一圆台103上取下。
[0032]优选地，本实用新型中，第一凹槽101的深度等于或小于光掩膜版的厚度。由于第一凹槽101的深度等于或小于光掩膜版的厚度，故当光掩膜版装设于第一凹槽101内时，其将突出于第一凹槽101外，且突出于卡盘外。
[0033]工作时，当将环形的光掩膜版的产品片装设于第一凹槽101内时，卡盘本体I通过环形橡胶密封圈带动产品片以一定的速度旋转，同时滴胶臂移动至旋转的产品片的上方，对产品片进行滴光刻胶；当光刻胶布满产品片的上表面后，卡盘本体I带动产品片以某一较高的速度旋转用胶。由于光掩膜版突出于卡盘本体I外，故在高速用胶的过程中，卡盘本体I的边缘及第一圆台103将不会阻挡光刻胶的甩出，从而保证了环形的光掩膜版涂覆光刻胶的均匀性，解决了涂覆光刻胶过程中极易出现内外边缘变色、胶面紊乱等问题。
[0034]更优选地，本实用新型中，装设于第一凹槽101内的光掩膜版高于卡盘本体I的度为0.5mm?1mm。本实用新型具体的实施例中，第一凹槽101的深度为4mm?6mm ;第一凹槽101的宽度为20mm?30mm。
[0035]更优选地，本实用新型中，卡盘本体I为铝合金卡盘本体。相比于目前的聚醚酮材质的卡盘本体，铝合金材质的卡盘本体I可节约成本。
[0036]本实用新型中，如图1所示，卡盘本体I的上表面上加工有多条第三凹槽104，第三凹槽104的两端分别与第一凹槽101和卡盘本体I的外周缘连通。通过在卡盘本体I的上表面上加工第三凹槽104，且第三凹槽104的两端同时连通第一凹槽101和卡盘本体I的外周缘，从而可方便夹具通过第三凹槽104夹取装设于第一凹槽101内的光掩膜版。本实用新型具体的实施例中，第三凹槽104的数量为四条，四条第三凹槽104沿卡盘本体I的周线均匀布置。
[0037]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种光掩膜版用涂胶卡盘，其特征在于， 包括卡盘本体(I)，所述卡盘本体(I)上设有用于卡持待涂胶的光掩膜版的第一凹槽(101)，所述第一凹槽(101)呈与所述光掩膜版相适应的环形，所述第一凹槽(101)的底部设有用于与装设于所述第一凹槽(101)内的所述光掩膜版的底部抵触以提供静摩擦力的摩擦件⑵。2.根据权利要求1所述的光掩膜版用涂胶卡盘，其特征在于， 所述第一凹槽(101)的底部设有用于安装所述摩擦件(2)的第二凹槽(102)，所述摩擦件(2)卡紧于所述第二凹槽(102)内且延伸出所述第二凹槽(102)外0.5mm?1mm。3.根据权利要求2所述的光掩膜版用涂胶卡盘，其特征在于， 所述第二凹槽(102)呈环形且与所述第一凹槽(101)同轴，所述摩擦件(2)呈与所述第二凹槽(102)相匹配的环形。4.根据权利要求3所述的光掩膜版用涂胶卡盘，其特征在于， 所述摩擦件(2)为环形橡胶密封圈。5.根据权利要求1所述的光掩膜版用涂胶卡盘，其特征在于， 所述卡盘本体(I)呈圆盘状，其上表面上具有用于与所述光掩膜版的内环相配合的第一圆台(103)，所述第一圆台(103)位于所述卡盘本体(I)的中心； 所述卡盘本体(I)的上表面还设有所述第一凹槽(101)，所述第一凹槽(101)围设于所述第一圆台(103)夕卜。6.根据权利要求5所述的光掩膜版用涂胶卡盘，其特征在于， 所述第一圆台(103)的直径比所述光掩膜版的内环的内径小Imm?2mm。7.根据权利要求5所述的光掩膜版用涂胶卡盘，其特征在于， 所述第一凹槽(101)的深度等于或小于所述光掩膜版的厚度。8.根据权利要求7所述的光掩膜版用涂胶卡盘，其特征在于， 所述第一凹槽(101)的深度为4mm?6mm ； 所述第一凹槽(101)的宽度为20mm?30mm。9.根据权利要求5所述的光掩膜版用涂胶卡盘，其特征在于， 所述卡盘本体(I)为铝合金卡盘本体。10.根据权利要求5所述的光掩膜版用涂胶卡盘，其特征在于， 所述卡盘本体(I)的上表面上加工有多条第三凹槽(104)，所述第三凹槽(104)的两端分别与所述第一凹槽(101)和所述卡盘本体(I)的外周缘连通。
【专利摘要】本实用新型公开了一种光掩膜版用涂胶卡盘，包括卡盘本体，卡盘本体上设有用于卡持待涂胶的光掩膜版的第一凹槽，第一凹槽呈与光掩膜版相适应的环形，第一凹槽的底部设有用于与装设于第一凹槽内的光掩膜版的底部抵触以提供静摩擦力的摩擦件。采用本实用新型的光掩膜版用涂胶卡盘时，由于第一凹槽的底部设有用于与装设于第一凹槽内的光掩膜版的底部抵触以提供静摩擦力的摩擦件，故当光掩膜版装设于第一凹槽内时，由于摩擦件与光掩膜版底部的静摩擦力，从而使当卡盘具有较高的速度和加速度时，光掩膜版与卡盘之间不会出现沿轴线方向的相对移动，从而提高环形光掩膜版涂覆光刻胶的均匀性。
【IPC分类】G03F1/68
【公开号】CN204925613
【申请号】CN201520500799
【发明人】张 诚, 李伟, 李翼, 颜春李, 徐根, 周学文
【申请人】湖南普照信息材料有限公司, 湖南电子信息产业集团有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年7月13日