专利名称：一种传动件防震装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及链式清洗、刻蚀设备，尤其是涉及一种链式湿法刻蚀设备的传动件防震装置。
背景技术：
链式湿法刻蚀设备中通常都设有传动杆和插件，通过插件来支撑传动杆。现在在链式湿法刻蚀设备中，大多数采用塑料插件支撑传动杆方式来传动硅片。由于现有插件与传动杆会产生粉末，从而导致传动杆震动，造成硅片内伤甚至破裂。为消除震动，不使硅片内伤、破裂，需要对现有插件结构进行改进。
实用新型内容本实用新型为了解决现有技术链式湿法刻蚀设备插件与传动杆会产生粉末，从而导致传动杆震动，造成硅片内伤甚至破裂的技术问题，提供了一种传动件防震装置。为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为设计一种传动件防震装置，包括前插件、后插件，所述前插件上设置有前插孔，所述后插件上设置有后插孔，所述前插孔的底部设置有朝下凹陷的容粉槽，所述后插孔的底端设置有朝下凹陷且朝外侧下方倾斜的流粉槽。所述前插件包括设置在插件孔两侧上方的相对的两侧壁、连接在两侧壁之间且可相对两侧壁上下运动的中间插件和设于所述某一侧壁上部且可相对所述侧壁向下运动压迫所述侧壁朝内侧倾斜的调节板。所述传动件防震装置还包括两端分别插于所述前插孔和后插孔中的传动杆。所述中间插件的侧视图呈“工”字型。本实用新型通过在前插孔和后插孔上分别设置容粉槽和流粉槽，从而可将前插件与传动杆之间产生的粉末收容在容粉槽中，将后插件与传动杆之间产生的粉末通过流粉槽排出，从而可防止传动杆震动，不会造成硅片内伤甚至破裂。
下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明，其中图I是本实用新型传动件防震装置的结构示意图；图2是本实用新型传动件防震装置的前插件端面结构示意图；图3是本实用新型传动件防震装置的后插件端面结构示意图。
具体实施方式
请参见图I至图3。本实用新型传动件防震装置包括前插件I、后插件2和传动杆
3。其中前插件I上设置有前插孔11、两侧壁12、中间插件13和调节板14。前插孔11的底部设置有朝下凹陷的容粉槽111，容粉槽111主要用于收容前插件与传动杆之间产生的粉末。两侧壁12设置在插件孔两侧上方且相对设置，中间插件13连接在两侧壁之间且可相对两侧壁上下运动，中间插件13的侧视图呈“工”字型。调节板14设于所述某一侧壁上部，且可相对所述侧壁向下运动压迫所述侧壁朝内侧倾斜。调节板14主要用于在外力所用下向下运动迫使某一侧壁朝侧壁内侧倾斜，即朝图2中b箭头方向压中间插件，两侧壁12宽度减小使中间插件向下运动与前插孔11夹紧传动杆，可防止传动杆的跳动。后插件2上设置有后插孔21。后插孔21的底端设置有朝下凹陷且朝外侧下方倾斜的流粉槽211。流粉槽211主要用于将后插件与传动杆之间产生的粉末排出。由于前插件和后插件与传动杆之间不再存在粉末，因此可防止传动杆震动，不会造成硅片内伤甚至破裂。传动杆3两端分别插于所述前插孔和后插孔中，从而支撑于前插件和后插件上。本实用新型通过在前插孔和后插孔上分别设置容粉槽和流粉槽，从而可将前插件与传动杆之间产生的粉末收容在容粉槽中，将后插件与传动杆之间产生的粉末通过流粉槽排出，从而可防止传动杆震动，不会造成硅片内伤甚至破裂。同时，可通过调节调节板，使中间插件夹紧传动杆，防止传动杆的跳动。本实用新型可有效的防止传动杆震动。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种传动件防震装置，包括前插件、后插件，所述前插件上设置有前插孔，所述后插件上设置有后插孔，其特征在于所述前插孔的底部设置有朝下凹陷的容粉槽，所述后插孔的底端设置有朝下凹陷且朝外侧下方倾斜的流粉槽。
2.根据权利要求I所述的传动件防震装置，其特征在于所述前插件包括设置在插件孔两侧上方的相对的两侧壁、连接在两侧壁之间且可相对两侧壁上下运动的中间插件和设于所述某一侧壁上部且可相对所述侧壁向下运动压迫所述侧壁朝内侧倾斜的调节板。
3.根据权利要求I所述的传动件防震装置，其特征在于所述传动件防震装置还包括两端分别插于所述前插孔和后插孔中的传动杆。
4.根据权利要求2所述的传动件防震装置，其特征在于所述中间插件的侧视图呈“工”字型。·
专利摘要本实用新型公开了一种传动件防震装置，旨在提供一种可防止传动杆振动的传动件防震装置，其包括前插件、后插件，所述前插件上设置有前插孔，所述后插件上设置有后插孔，所述前插孔的底部设置有朝下凹陷的容粉槽，所述后插孔的底端设置有朝下凹陷且朝外侧下方倾斜的流粉槽。本实用新型可用于链式清洗、刻蚀设备。
文档编号C23F1/08GK202482436SQ20122001538
公开日2012年10月10日 申请日期2012年1月13日 优先权日2012年1月13日
发明者磨建新, 谢鑫 申请人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司