高精密度金属蚀刻加工工艺的制作方法

文档序号:3314975阅读:338来源:国知局
高精密度金属蚀刻加工工艺的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种高精密度金属蚀刻加工工艺,其包括如下步骤:S1.蚀刻前处理,对金属表面进行前处理,所述前处理包括除油、水洗、干燥;S2.丝网印刷,对经过前处理的金属表面进行丝网印刷,丝网印刷结束后进行干燥;S3.蚀刻相应图形,蚀刻时按照S2中丝网印刷形成的图案进行蚀刻;S4.蚀刻后处理,所述后处理包括碱洗、抛光、染色。本发明的高精密度金属蚀刻加工工艺流程简单、操作方便、加工效率高。其通过合理安排加工步骤,保证了金属蚀刻的加工精度,同时对蚀刻后的金属进行了表面处理,优化了金属的表面性能。
【专利说明】高精密度金属蚀刻加工工艺
【技术领域】
[0001]本发明涉及金属刻蚀【技术领域】,尤其涉及一种高精密度金属蚀刻加工工艺。
【背景技术】
[0002]金属蚀刻也称光化学金属蚀刻(photochemical etching),其是指通过曝光制版、显影后,将要金属蚀刻区域的保护膜去除,在金属蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。该工艺最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密金属蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,金属蚀刻更是不可或缺的技术。
[0003]但是,现有的金属蚀刻工艺加工出来产品往往具有精度不高的问题,不能满足某些高精度场合的应用,且有的金属蚀刻工艺流程较为复杂。
[0004]因此,针对上述问题,有必要提供进一步的解决方案。

【发明内容】

[0005]本发明的目的在于提供一种高精密度金属蚀刻加工工艺。
[0006]为实现上述发明目的,本发明的一种高精密度金属蚀刻加工工艺,其包括如下步骤:
[0007]S1.蚀刻前处理,对金属表面进行前处理,所述前处理包括除油、水洗、干燥;
[0008]S2.丝网印刷,对经过前处理的金属表面进行丝网印刷,丝网印刷结束后进行干燥;
[0009]S3.蚀刻相应图形,蚀刻时按照S2中丝网印刷形成的图案进行蚀刻;
[0010]S4.蚀刻后处理,所述后处理包括碱洗、抛光、染色。
[0011]作为本发明的进一步改进,所述除油包括化学除油、表面活性剂除油,甚至电解除油、超声除油。
[0012]作为本发明的进一步改进,所述丝网印刷采用单丝维网。
[0013]作为本发明的进一步改进,所述单丝维网的材质为不锈钢、尼龙、或聚酯,目数为150 目。
[0014]作为本发明的进一步改进,丝网印刷时,将单丝维网固定于网框机上,并在单丝维网上涂覆感光胶,涂覆2-3次后,干燥。
[0015]作为本发明的进一步改进,丝网印刷后,自然干燥1.5h,或烘干6~9min,烘干时,烘干温度为58~80°C。
[0016]作为本发明的进一步改进,蚀刻后,还需去除保护的碱溶性耐酸油墨。
[0017]作为本发明的进一步改进,去除保护的碱溶性耐酸油墨采用碱洗去除。
[0018]作为本发明的进一步改进,所述碱洗为浸入45~60g/L NaOH碱液中,温度控制在66 ~78°C,浸泡 3.5 ~5min。[0019]作为本发明的进一步改进,染色后,还需进行硬化处理。
[0020]与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明的高精密度金属蚀刻加工工艺流程简单、操作方便、加工效率高。其通过合理安排加工步骤,保证了金属蚀刻的加工精度,同时对蚀刻后的金属进行了表面处理,优化了金属的表面性能。
【专利附图】

【附图说明】
[0021]图1为本发明的高精密度金属蚀刻加工工艺的一【具体实施方式】的工艺流程示意图。
【具体实施方式】
[0022]下面结合附图所示的各实施方式对本发明进行详细说明,但应当说明的是,这些实施方式并非对本发明的限制,本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代,均属于本发明的保护范围之内。
[0023]如图1所示,本发明的高精密度金属蚀刻加工工艺包括如下步骤: [0024]S1.蚀刻前处理,对金属表面进行前处理,所述前处理包括除油、水洗、干燥;
[0025]S2.丝网印刷,对经过前处理的金属表面进行丝网印刷,丝网印刷结束后进行干燥;
[0026]S3.蚀刻相应图形,蚀刻时按照S2中丝网印刷形成的图案进行蚀刻;
[0027]S4.蚀刻后处理,所述后处理包括碱洗、抛光、染色。
[0028]具体而言,所述除油包括化学除油、表面活性剂除油,甚至电解除油、超声除油。此外,也可以选用商品的专用除油剂。彻底清洗干净后,经干燥再转入丝网印刷。
[0029]所述丝网印刷中采用单丝维网,该单丝维网的材质为不锈钢、尼龙、或聚酯,目数为150目。丝网印刷时,将单丝维网固定于网框机上,并在单丝维网上涂覆感光胶,涂覆2-3次后,干燥。丝网印刷后,自然干燥1.5h,或烘干6~9min,烘干时,烘干温度为58~80°C。
[0030]蚀刻相应图形时,在操作过程中要严格控制溶液的温度和时间。温度过高、时间过长,油墨与板面的附着力下降,在蚀刻与非蚀刻处可能出现油墨的脱落,导致图纹模糊走样,影响蚀刻的精度和装饰效果。
[0031]蚀刻后,还需去除保护的碱溶性耐酸油墨。去除保护的碱溶性耐酸油墨采用碱洗去除。所述碱洗为浸入45~60g/L NaOH碱液中,温度控制在66~78°C,浸泡3.5~5min。
[0032]进一步地,染色后,还需进行硬化处理。
[0033]综上所述,本发明的高精密度金属蚀刻加工工艺流程简单、操作方便、加工效率高。其通过合理安排加工步骤,保证了金属蚀刻的加工精度,同时对蚀刻后的金属进行了表面处理,优化了金属的表面性能。
[0034]对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0035]此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其 他实施方式。
【权利要求】
1.一种高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,所述高精密度金属蚀刻加工工艺包括如下步骤: 51.蚀刻前处理,对金属表面进行前处理,所述前处理包括除油、水洗、干燥; 52.丝网印刷,对经过前处理的金属表面进行丝网印刷,丝网印刷结束后进行干燥; 53.蚀刻相应图形,蚀刻时按照S2中丝网印刷形成的图案进行蚀刻; 54.蚀刻后处理,所述后处理包括碱洗、抛光、染色。
2.根据权利要求1所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,所述除油包括化学除油、表面活性剂除油,甚至电解除油、超声除油。
3.根据权利要求1所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,所述丝网印刷采用单丝维网。
4.根据权利要求1所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,所述单丝维网的材质为不锈钢、尼龙、或聚酯,目数为150目。
5.根据权利要求4所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,丝网印刷时,将单丝维网固定于网框机上,并在单丝维网上涂覆感光胶,涂覆2-3次后,干燥。
6.根据权利要求1所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,丝网印刷后,自然干燥1.5h,或烘干6~9min,烘干时,烘干温度为58~80°C。
7.根据权利要求1所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,蚀刻后,还需去除保护的碱溶性耐酸油墨。
8.根据权利要求7所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,去除保护的碱溶性耐酸油墨采用碱洗去除。
9.根据权利要求8所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,所述碱洗为浸入45~60g/L NaOH碱液中,温度控制在66~78°C,浸泡3.5~5min。
10.根据权利要求1所述的高精密度金属蚀刻加工工艺,其特征在于,染色后,还需进行硬化处理。
【文档编号】C23F1/02GK104018157SQ201410261133
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2014年6月12日 优先权日:2014年6月12日
【发明者】许亚明, 常盛成 申请人:张家港华程机车精密制管有限公司
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