1.一种RH提升气体阀站,其特征在于,包括:
一氩气供应主管,所述氩气供应主管上具有一氩气切断阀;
至少一控流单元,每一所述控流单元具有一进气端以及一出气端,所述进气端与所述氩气供应主管连接,每一所述控流单元包括至少两级管路,每级管路上具有一电磁阀和一限流孔板;
一真空室插入管,与所述出气端连接。
2.如权利要求1所述的RH提升气体阀站,其特征在于:进一步包括一氮气供应主管,所述氮气供应主管上具有一氮气切断阀,所述氮气供应主管与所述进气端连接。
3.如权利要求2所述的RH提升气体阀站,其特征在于:所述氩气供应主管与所述氮气供应主管汇合至一气体供应总管,所述气体供应总管与所述进气端连接。
4.如权利要求3所述的RH提升气体阀站,其特征在于:当所述控流单元为多个时,所述气体供应总管分成多个分支结构并分别与多个所述控流单元的进气端连接。
5.如权利要求1所述的RH提升气体阀站,其特征在于:当所述控流单元为多个时,多个所述控流单元为相同的。
6.如权利要求1所述的RH提升气体阀站,其特征在于:同一控流单元的每级管路上的限流孔板限制的气体流量不同。