技术总结
本实用新型提供了一种RH提升气体阀站，包括一氩气供应主管，所述氩气供应主管上具有一氩气切断阀；至少一控流单元，每一所述控流单元具有一进气端以及一出气端，所述进气端与所述氩气供应主管连接，每一所述控流单元包括至少两级管路，每级管路上具有一电磁阀和一限流孔板；一真空室插入管，与所述出气端连接。本实用新型采用以限流孔板为核心元件的控流单元来分级调控提升气体流量，替代造价昂贵的以一体式流量控制器为核心元件的无级调控提升气体流量的控流单元，实现极低成本、高精度的提升气体流量控制。
技术研发人员：欧洪林;许海虹
受保护的技术使用者：中冶南方工程技术有限公司
文档号码：201620491985
技术研发日：2016.05.26
技术公布日：2016.12.07