保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统的制作方法

文档序号:12550079阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统,其特征在于:真空计、调节差分放大器、偏置电路、比较器电路、单片机控制器、驱动电路、步进电机、调节阀,真空计、调节电路连接单片机控制器与差分放大器,偏置电路连接差分放大器,差分放大器和比较电路连接单片机控制器,单片机控制器依次连接驱动电路、步进电机和调节阀,步进电机与比较电路相连。

2.根据权利要求1所述的保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统,其特征在于:还包括报警显示,报警显示与单片机相连。

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