技术总结
本实用新型公开了一种保持类金刚石镀膜真空室真空度稳定的控制系统，它包括真空计、调节差分放大器、偏置电路、比较器电路、单片机控制器、驱动电路、步进电机、调节阀，真空计、调节电路连接单片机控制器与差分放大器，偏置电路连接差分放大器，差分放大器和比较电路连接单片机控制器，单片机控制器依次连接驱动电路、步进电机和调节阀，步进电机与比较电路相连。在真空抽气系统开始工作时，单片机控制器保证调节阀处于最大开启状态，待真空室真空度抽到相对稳定状态后，控制器动作，通过调节阀设置要求的真空度值并保证动态平衡，控制精度高。
技术研发人员：宋永宾;邱月;王勇安
受保护的技术使用者：青岛优百宇真空设备股份有限公司
文档号码：201620725350
技术研发日：2016.07.10
技术公布日：2017.01.11