具备在线监测功能的电子束快速成型设备的制作方法

文档序号:12155860阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开一种具备在线监测功能的电子束快速成型设备,包括中央控制单元、电子枪电源、偏扫电源、工作台电源、电子枪、工作室、装粉箱、工作台、二次电子收集器和二次电子变送器;二次电子收集器接收电子束微束扫描过程产生的二次电子信息;二次电子变送器对上述二次电子信息进行整形放大后送入中央控制单元;中央控制单元对同步记录的二次电子信号进行分析处理,判断制造层是否存在缺陷。本实用新型利用二次反射电子信号对电子束快速成型设备制造元件过程进行质量在线监测,从而克服了光学监测手段易受污染的缺点。

技术研发人员:韦寿祺;黄小东;朱国坤;秦玉江;张建飞;黄兴泉;覃胤鸿;费翔;陆苇;唐强;刘新才
受保护的技术使用者:桂林狮达机电技术工程有限公司
文档号码:201621071755
技术研发日:2016.09.22
技术公布日:2017.03.15

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