一种螺旋结构的碲化铋纳米片薄膜及其制备方法与流程

文档序号:11507174阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开一种螺旋结构的碲化铋纳米片薄膜及其制备方法,是通过以下工艺过程实现的:在高真空热蒸发镀膜机坩埚中,加入一定量的高纯Bi2Te3粉末,放置于加热区域。调整衬底样品台到蒸发源的距离至10cm,在衬底样品台上放置清洗过的氟晶云母。开启复合分子泵机组抽真空至5*10‑5Pa,衬底加热至380℃‑400℃,热蒸发源温度加热至340℃‑360℃,开始镀膜。在此温度下反应5‑120min,通过控制面板调节蒸发源和衬底温度至0℃,等待仪器自然降温后,获得产物。本发明的特点在于:此方法可直接制备出螺旋结构的碲化铋纳米片薄膜;产物形貌螺旋生长,台阶清晰可见;无其他产物,对环境污染小。

技术研发人员:简基康;王颖;郭燕红
受保护的技术使用者:新疆大学
技术研发日:2017.04.13
技术公布日:2017.08.18
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