一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备的制作方法

文档序号:11742881阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备,包括主机架(3),其特征在于:所述主机架(3)上方安装有罗茨泵(2),且主机架(3)右侧固定有传膜架(4),所述主机架(3)通过支管(18)与滑阀泵(8)相连接,所述滑阀泵(8)上方安装有维持泵(6),且维持泵(6)通过导线与起重架(7)固定连接,所述起重架(7)上设置有前置阀(5),所述滑阀泵(8)左侧安装有低温水气泵(17),且低温水气泵(17)下方设置有镀膜室(15),所述镀膜室(15)右下方设置有卷绕室(14),且卷绕室(14)安装在底架(13)上,所述底架(13)内设置有真空室(12),且真空室(12)右侧固定有增压泵(11),所述增压泵(11)右侧设有控制柜(10),且控制柜(10)通过主轴(9)与底架(13)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备,其特征在于:所述主机架(3)左侧通过连轴与副机架(1)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备,其特征在于:所述滑阀泵(8)共设置有两个,且滑阀泵(8)内安装有阀门(16)。

4.根据权利要求1所述的一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备,其特征在于:所述低温水气泵(17)通过软管与冷冻仓相连接。

5.根据权利要求1所述的一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备,其特征在于:所述滑阀泵(8)之间设有六十六度夹角。

6.根据权利要求1所述的一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备,其特征在于:所述卷绕室(14)和镀膜室(15)之间设置有蒸发源。

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