一种双离子束金属镀膜自动化设备的制作方法

文档序号:15457833发布日期:2018-09-15 01:40

技术特征:

1.一种双离子束金属镀膜自动化设备,包括设备机架(1),所述设备机架(1)的顶部设置有真空镀膜室(2),所述设备机架(1)的内腔底部设置有真空装置(3),所述真空装置(3)与真空镀膜室(2)相连通,所述真空镀膜室(2)的右侧壁设置有密封门体(4),所述真空镀膜室(2)的左侧壁底部设置有进气口(5),所述真空镀膜室(2)的内腔底部中心处设置有溅射淀积台(6),所述溅射淀积台(6)的顶部设置有镀膜工件(7),其特征在于:所述真空镀膜室(2)的内腔左侧壁中部设置有主离子源(9),在所述真空镀膜室(2)的内腔顶部分别设有靶材滑块(11)、辅源滑块(12),所述靶材滑块(11)始终位于辅源滑块(12)的左侧,且所述靶材滑块(11)、辅源滑块(12)均可沿同一水平直线方向来回往复移动,在所述靶材滑块(11)上设有靶材(14),在所述辅源滑块(12)的底部固定安装有辅助离子源(15),所述主离子源(9)和辅助离子源(15)的外壁均设置有冷却裹层(16),在所述真空镀膜室(2)上还设置有水冷装置(17),所述冷却裹层(16)与水冷装置(17)相连通。

2.根据权利要求1所述的一种双离子束金属镀膜自动化设备,其特征在于:所述水冷装置(17)包括有储水箱(171)、循环水泵(172)、散热排(173)和输水管(174),所述冷却裹层(16)的侧壁具有供冷却液流通的容腔,所述冷却裹层(16)的侧壁设置有与所述容腔相连通的进液口(161)和出液口(162),两组所述冷却裹层(16)的进液口(161)共同连接于储水箱(171)的出水口,两组所述冷却裹层(16)的出液口(162)共同连接于散热排(173)的进水口,所述冷却裹层(16)、储水箱(171)、循环水泵(172)和散热排(173)通过输水管(174)依次连通构成冷却系统。

3.根据权利要求1所述的一种双离子束金属镀膜自动化设备,其特征在于:在所述主离子源(9)与真空镀膜室(2)之间设有铰接座(8)。

4.根据权利要求1所述的一种双离子束金属镀膜自动化设备,其特征在于:在所述真空镀膜室(2)的内腔顶部设置有直线导轨(10),所述直线导轨(10)上安装有靶材滑块(11)和辅源滑块(12),所述靶材滑块(11)的底部固定设置有靶材装夹台(13),所述靶材装夹台(13)的底部装夹设置有靶材(14)。

5.根据权利要求1所述的一种双离子束金属镀膜自动化设备,其特征在于:在所述真空镀膜室(2)的内腔顶部设置有摆幅调整机构(20),所述摆幅调整机构(20)具有安装座(201),在所述安装座(201)的下方沿水平方向的左、右两端分别设有可沿竖直方向伸缩的调整装置(202),在所述调整装置(202)的下方设有平移调节装置(203),所述平移调节装置(203)具有对称设置的两根横杠(2031),且所述调整装置(202)与相对应的横杠(2031)转动连接,在两根横杠(2031)之间区域内沿水平方向的左、右两端分别设有电动卷轴(2032),在两个电动卷轴(2032)之间设有卷帘滑轨(2033),所述卷帘滑轨(2033)上安装有靶材滑块(11)和辅源滑块(12),所述靶材滑块(11)的底部固定设置有靶材装夹台(13),所述靶材装夹台(13)的底部装夹设置有靶材(14)。

6.根据权利要求5所述的一种双离子束金属镀膜自动化设备,其特征在于:所述调整装置(202)具有对称设置的第一竖直横杆(2021)、第二竖直横杆(2022),所述第一竖直横杆(2021)与第二竖直横杆(2022)的上端均与安装座(201)滑动连接,所述第一竖直横杆(2021)与第二竖直横杆(2022)的下端与横杠(2031)分别对应且转动连接,在所述第一竖直横杆(2021)与第二竖直横杆(2022)之间设有连接横杆(2023),在所述连接横杆(2023)与安装座(201)之间设有电动调节装置(2024)。

7.根据权利要求5所述的一种双离子束金属镀膜自动化设备,其特征在于:所述卷帘滑轨(2033)具有设置在两根横杠(2031)之间的矩形移动块(20331),在所述矩形移动块(20331)的水平左、右两端设有柔性卷帘(20332),且所述柔性卷帘(20332)分别与相邻的电动卷轴(2032)相对应,所述靶材滑块(11)和辅源滑块(12)设置在矩形移动块(20331)上。

8.根据权利要求1所述的一种双离子束金属镀膜自动化设备,其特征在于:在所述真空镀膜室(2)的内腔顶部设置有角度调整机构(21),所述角度调整机构(21)具有两个可沿水平直线方向往复移动的调整座(211),在每个调整座(211)上均设有可以水平方向为中心轴线转动的转动座(212),所述靶材滑块(11)、辅源滑块(12)分别设置在转动座(212)上,所述靶材滑块(11)的底部固定设置有靶材装夹台(13),所述靶材装夹台(13)的底部装夹设置有靶材(14)。

9.根据权利要求8所述的一种双离子束金属镀膜自动化设备,其特征在于:所述角度调整机构(21)具有支撑装置(213),所述支撑装置(213)具有两个相对设置且可固定在真空镀膜室(2)的内腔顶部的固定块(2131),在所述固定块(2131)之间对称设有两根水平滑杆(2132),且两根水平滑杆(2132)贯穿调整座(211),在两个固定块(2131)上分别设有调节丝杠(2133),且所述调节丝杠(2133)与相邻的调整座(211)相连接。

10.根据权利要求8所述的一种双离子束金属镀膜自动化设备,其特征在于:所述调整座(211)上设有可以沿直线方向顶出的微调滑块(2111),且所述转动座(212)安装在微调滑块(2111)上。

再多了解一些
当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1