一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置的制作方法

本申请涉及蒸镀工艺领域，特别是涉及一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置。

背景技术：

真空蒸镀法是在真空蒸镀机中放盛有有机物的坩埚，通过对其内部的电阻丝通电加热，使有机物蒸发或气化，然后向固定的基板附着并最终形成膜层。

其中，蒸镀过程中的蒸发源为蒸镀点源装置，然而该蒸镀点源装置在蒸镀过程中容易产生蒸镀颗粒，该蒸镀颗粒蒸镀至基板上会导致蒸镀时长短、产品封装失效和外观不良，同时也会导致蒸镀喷嘴的堵塞。

技术实现要素：

本申请提供一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置，以解决蒸镀过程中产生的蒸镀颗粒蒸镀至基板上导致蒸镀时长短、产品封装失效、外观不良以及蒸镀喷嘴堵塞的问题。

为解决上述技术问题，本申请提出一种蒸镀喷嘴，包括：喷嘴部和连接喷嘴部的过滤部，喷嘴部和过滤部为中空结构且过滤部的侧壁上设有多个连通孔。

其中，连通孔的开口大小在沿靠近喷嘴部的方向上逐渐增大。

其中，过滤部包括至少两个阻挡板，至少两个阻挡板沿过滤部指向喷嘴部的方向上间隔设置于过滤部内部，阻挡板开设有多个通气孔。

其中，相邻两个阻挡板上的通气孔在参考平面上的正投影彼此错位，参考平面垂直于从过滤部指向喷嘴部的方向。

其中，各阻挡板的多个通气孔的分布密度沿过滤部指向喷嘴部的方向上依次增大；和/或各阻挡板的通气孔的开口大小沿过滤部指向喷嘴部的方向上依次增大。

其中，蒸镀喷嘴还包括盖板组件，所述盖板组件为中空结构且与所述喷嘴部可拆卸连接；其中，盖板组件包括反射板，其中当盖板组件盖设于喷嘴部时反射板绕设于喷嘴部的外围。

其中，喷嘴部和反射板呈锥台形。

其中，喷嘴部设有第一扣合部，盖板组件还包括第二扣合部，第一扣合部和第二扣合部能够相互扣合。

其中，连通孔为圆形孔或长条形孔。

为解决上述技术问题，本申请提出一种蒸镀点源装置，包括如上述所述的蒸镀喷嘴和蒸镀坩埚，蒸镀喷嘴的过滤部嵌设于蒸镀坩埚内。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请提供一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置，蒸镀喷嘴包括喷嘴部和连接喷嘴部的过滤部，喷嘴部和过滤部为中空结构，且过滤部的侧壁上设有多个连通孔，以允许过滤部外部的蒸镀气体经连通孔进入过滤部内部，并向喷嘴部传输。由于过滤部的筒壁阻挡，使得蒸镀颗粒较难从连通孔中输出，能够降低蒸镀颗粒从喷嘴部传输至基板上，同时也能避免蒸渡颗粒堵塞喷嘴部。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是本申请蒸镀喷嘴一实施例的爆炸示意图；

图2是本申请过滤部第一实施例的主视图；

图3是本申请过滤部第二实施例的主视图；

图4是图3所示a-a的截面图；

图5是图3所示b-b的截面图；

图6是图3所示c-c的截面图；

图7本申请盖板组件一实施例的立体图；

图8是本申请蒸镀点源装置一实施例的爆炸示意图。

附图标号：1、喷嘴部；11、第一扣合部；12、喷嘴口；2、过滤部；21、连通孔；3、第一阻挡板；31、中部区域；32、环形区域；321、第一通气孔；4、第二阻挡板；41、第二通气孔；5、第三阻挡板；51、遮挡部；52、辐条；53、第三通气孔；6、盖板组件；61、反射板；62、第二扣合部；7、蒸镀坩埚。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本申请的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对发明所提供的一种蒸镀喷嘴及蒸镀点源装置做进一步详细描述。

请参阅图1，图1是本申请蒸镀喷嘴一实施例的爆炸示意图。

本实施例中蒸镀喷嘴包括喷嘴部1和过滤部2，喷嘴部1连接过滤部2，喷嘴部1和过滤部2为中空结构，即喷嘴部1和过滤部2处于连通状态，以使得蒸镀气体经过滤部2从喷嘴部1向基板传输。同时，过滤部2的侧壁上设有多个连通孔21，以允许过滤部2外部的蒸镀气体经连通孔21进入过滤部2内部，并向喷嘴部1传输。

由于该蒸镀喷嘴和后续提及的蒸镀坩埚构成蒸镀点源装置，在蒸镀喷嘴用于蒸镀坩埚过程中，过滤部2插入至蒸镀坩埚的蒸发腔内。过滤部2的筒壁与蒸镀坩埚的侧壁之间间隔设置且不贴合，当过滤部2的筒壁上设置有多个连通孔21，以允许过滤部2外部的蒸镀气体经连通孔21进入过滤部2内部，并向喷嘴部1的喷嘴口12传输。

由于蒸镀过程中，蒸镀颗粒速度和能量相对较大，过滤部2底部无连通孔21，使得大部分蒸镀颗粒直接碰撞过滤部2底部，而无法进入到过滤部2内部。但仍有少数部分蒸镀颗粒进入到过滤部2的筒壁与蒸镀坩埚的侧壁之间间隔内，由于连通孔21设置于过滤部2的筒壁阻挡，其方向与蒸镀颗粒速度方向不一致，使得蒸镀颗粒较难从连通孔21中输出，允许蒸镀气体从过滤部2外部进入过滤部2内部，并向喷嘴部1的喷嘴口12传输，从而降低蒸镀颗粒从喷嘴部1的喷嘴口12传输至基板上。上述连通孔21间隔设置于过滤部2的筒壁上，可以等间隔设置或不等间隔设置，连通孔21具体设置方式不做限定。

请参阅图2，图2是本申请过滤部第一实施例的主视图。

在一实施例中，结合图1，连通孔21为圆形孔或长条形孔，其中圆形孔或长条形孔均能降低蒸镀颗粒从过滤部2的侧壁蒸镀出蒸镀坩埚的概率；同时，也为蒸镀气体提供了多条蒸镀路径。当然，长条形孔还能够增大蒸镀气体流通量。优选的，圆形孔半径或长条形孔宽度小于等于3mm，能有效防止蒸镀颗粒直接从连通孔21中进入到喷嘴部1的喷嘴口12处。

请继续参阅图1和图2，在蒸镀过程中，为了让更多的蒸镀气体从过滤部2进入到喷嘴部1的喷嘴口12传输，本实施例中连通孔21的开口大小即连通孔21的开口面积在沿靠近喷嘴部1的方向上逐渐增大，逐渐增大的连通孔21更利于传输更多的蒸镀气体。在实际过程中，由于位于过滤部2下部处的蒸镀颗粒相对较多，因此需要将连通孔21的开口大小设置成相对较小些，而由于连通孔21靠近喷嘴部1处存在蒸镀颗粒相对较少，因此需要将连通孔21的截面积设置成相对大些，以便于大量蒸镀气体通过，同时也能降低蒸镀颗粒从喷嘴部1的喷嘴口12传输至基板上，避免蒸渡颗粒堵塞喷嘴部1。

当蒸镀喷嘴用于蒸镀坩埚的过程中，由于连通孔21的开口大小在靠近喷嘴部1的方向上逐渐增大，能够使蒸镀坩埚内的内压更加稳定，减小因内压太大而导致蒸镀不均匀的问题。

在一实施例中，过滤部2包括至少两个阻挡板，至少两个阻挡板安装于过滤部2的内部。具体地，阻挡板固定于过滤部2内。至少两个阻挡板沿从过滤部2指向喷嘴部1的方向间隔设置于过滤部2内部，阻挡板开设有多个通气孔，以使得蒸镀颗粒依次先后直接碰撞阻挡板或通气孔、阻挡板等，从而降低蒸镀颗粒从喷嘴部1的喷嘴口12传输至基板上，同时也允许蒸镀气体从通气孔中传输到喷嘴部1的喷嘴口12处，为蒸镀气体提供了多条蒸镀路径。其中，阻挡板数量为两个、三个或者多个，其数量并不做限定。

在蒸镀过程中，为了进一步避免蒸镀颗粒跟随蒸镀气体传输至喷嘴部1的喷嘴口12处，本实施例中相邻两个阻挡板上的通气孔在参考平面上的正投影彼此错位，参考平面垂直于从过滤部2指向喷嘴部1的方向，减小产品不良发生几率。由于蒸镀颗粒依次经过至少两个阻挡板时，必定会碰撞到对应的阻挡板，其中一旦蒸镀颗粒发生一次碰撞，蒸镀颗粒能量就会减弱到难以再跟随蒸镀气体传输到喷嘴部1的喷嘴口12处，进而通过上述至少两个阻挡板能起到阻挡蒸镀颗粒的作用。

在实际过程中，当过滤部2底部无底壁时，位于过滤部2底部的阻挡板作为其底部。当过滤部2底壁存在底壁时，底壁可以直接阻挡蒸镀颗粒，其中底壁上也可以开设通气孔，其作用与阻挡板作用相同。

其中，至少两个阻挡板可以垂直于过滤部2的筒壁设置，也可以与过滤部2的筒壁呈角度设置，其中阻挡板不管以何种方式安装于过滤部2内，只要两个阻挡板上的通气孔在参考平面上的正投影彼此错位即可。

请参阅图3、图4和图5，图3是本申请过滤部第二实施例的主视图；图4是图3所示a-a的截面图；图5是图3所示b-b的截面图。

举例而言，至少两个阻挡板包括第一阻挡板3和第二阻挡板4，第一阻挡板3和第二阻挡板4依次设置于过滤部2的内部，第二阻挡板4相较于第一阻挡板3靠近喷嘴部1设置。

其中，第一阻挡板3包括位于第一阻挡板3中部的中部区域31和环形区域32，环形区域32环绕中部区域31设置。第一阻挡板3上开设有多个第一通气孔321，第一通气孔321为蒸镀气体提供了蒸镀路径。其中，多个第一通气孔321设置在环形区域32上，即第一通气孔321数量可以为一个、四个等，其数量不做限定。

其中，第二阻挡板4上开设有多个第二通气孔41，其数量为一个或者多个，其数量不做限定。多个第二通气孔41间隔设置于第二阻挡板4的中部，多个第二通气孔41在第一阻挡板3上的投影落入第一阻挡板3的中部区域31内，以使得第二阻挡板4除了第二通气孔41外的其他区域能够遮挡从设置有多个第一通气孔321的环形区域32进入的蒸镀颗粒。

具体地，第二阻挡板4只有一个第二通气孔41，第二通气孔41开设于第二阻挡板4中部，第二阻挡板4外圈遮挡于设置有多个第一通气孔321的环形区域32上。进一步地，为了实现第二阻挡板4更多遮挡第一阻挡板3上的环形区域32可以考虑将多个第一通气孔321环形设置于环形区域32上。当然，为了蒸镀气体提供更多蒸镀路径，第一通气孔321数量为四个，且四个第一通气孔321互相垂直设置于环形区域32上，如图4所示。

请参阅图6，图6是图3所示c-c的截面图；

结合图3、图4和图5，为了进一步降低蒸镀颗粒依次从第一阻挡板3和第二阻挡板4穿过且从喷嘴部的喷嘴口中输出，本实施例中至少两个阻挡板还包括第三阻挡板5，通过设置第三阻挡板5来实现对蒸镀颗粒进一步遮挡。

第三阻挡板5的具体结构如下：第三阻挡板5包括遮挡部51和至少两个辐条52，遮挡部51通过至少两个辐条52与过滤部2连接，以对遮挡部51进行固定。辐条52数量为两个、三个或者多个，其具体数量不做限定。为了实现遮挡部51与过滤部2连接的稳定性，至少两个辐条52绕遮挡部51的轴向间隔设置，并呈放射状展开。同时，由于遮挡部51与过滤部2之间连接有辐条52，使得遮挡部51与过滤部2之间形成有间隙，进而在相邻的辐条52之间形成第三通气孔53，第三通气孔53用于蒸镀气体流通，进而为蒸镀气体提供了更多的蒸镀路径。

结合图1，遮挡部51在第二阻挡板4上的投影覆盖第二通气孔41，以遮挡从第二阻挡板4的第二通气孔41中穿出的蒸镀颗粒，以防止蒸镀颗粒从喷嘴部1的喷嘴口12蒸镀至基板上，而导致产品封装失效和外观不良以及喷嘴部1的堵塞。

当然，过滤部2内还设置有第四阻挡板、第五阻挡板等，阻挡板数量越多，更能降低蒸镀颗粒传输。当阻挡板数量为多个时，至少相邻两个阻挡板上的通气孔需满足互补方式分布。

请继续参阅图3、图4和图5，在一实施例中，各阻挡板的多个通气孔的分布密度沿从过滤部2指向喷嘴部1的方向依次增大，在蒸镀气体朝向喷嘴部1运动的过程中，其经过的阻挡板2数量越多运动的路径越长，其损失的热量也越多，颗粒的数量也越少，因此在靠近喷嘴部1的方向上，各阻挡板上通气孔的分布密度逐渐增大即阻挡板上通气孔的数量逐渐增多，使得蒸镀气体在后续的传输路径上损伤较少的热量，避免蒸镀气体液化，增加蒸镀气体的蒸镀路径。同时，为了进一步增加蒸镀气体的蒸镀路径，本实施例在各阻挡板的通气孔的开口大小沿从过滤部2指向喷嘴部1的方向依次增大。

请参阅图7，图7是本申请盖板组件一实施例的立体图。

结合图1，在一实施例中蒸镀喷嘴还包括盖板组件6，盖板组件6为中空结构且与喷嘴部1可拆卸连接。盖板组件6包括反射板61，反射板61的层数可以为两层、三层或者多层。当盖板组件6盖设于喷嘴部1时反射板61绕设于喷嘴部1的外围时，使得热量更多地集中反射于喷嘴部1周围上，能够减少蒸镀气体的热量散失，以防止蒸镀气体液化凝结堵于喷嘴部1内。

具体地，反射板61设置于盖板组件6底部，其中反射板61绕设于喷嘴部1的外围，反射板61的横截面的面积沿从喷嘴部1指向过滤部2的方向上逐渐增大，进而将喷嘴部1和盖板组件6之间的热量反射到喷嘴部1上，提高了喷嘴部1周围的温度，以减少蒸镀气体的热量散失，进而避免喷嘴部1堵孔。

具体地，喷嘴部1的横截面的面积沿从喷嘴部1向过滤部2方向上逐渐增大，使得喷嘴部1和反射板61呈锥台形，减小喷嘴部1热量散热，提高了盖板组件6温度，进而有利于蒸镀气体蒸镀至待蒸镀产品。

由此可知，通过在过滤部2内安装至少两个阻挡板、喷嘴部1和反射板61之间的嵌套扣合，通过上述两种方式更易于提高盖板组件6的温度，从而防止蒸镀气体堵于喷嘴部1内。

具体地，喷嘴部1设有第一扣合部11，盖板组件6还包括第二扣合部62，第一扣合部11和第二扣合部62能够相互扣合，使得盖板组件6盖设于喷嘴部1。由于第二扣合部62与第一扣合部11之间围设形成有腔体，该腔体能够将蒸镀坩埚内热量集中于第二扣合部62和第一扣合部11之间，减少热量的散失，提高喷嘴部1的温度。

本实施例蒸镀喷嘴包括喷嘴部和连接喷嘴部的过滤部，喷嘴部和过滤部为中空结构，且过滤部的侧壁上设有多个连通孔，以允许过滤部外部的蒸镀气体经连通孔进入过滤部内部，并向喷嘴部传输。由于过滤部的筒壁阻挡，使得蒸镀颗粒较难从连通孔中输出，能够降低蒸镀颗粒从喷嘴部的喷嘴口传输至基板上。

请参阅图8，图8是本申请蒸镀点源装置一实施例的爆炸示意图。

本实施例中蒸镀点源装置包括上述所述的蒸镀喷嘴和蒸镀坩埚7，蒸镀喷嘴的过滤部2嵌设于蒸镀坩埚7内，蒸镀喷嘴的第一扣合部11与蒸镀坩埚的开口扣合。

需要说明的是，本实施例蒸镀喷嘴是上述实施例中所阐述的蒸镀喷嘴，在此不作赘述。

以上所述仅为本申请的实施方式，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。