2的示意图，如图2所示，在上一实施例的基础上，该过滤容器组件121包括:至少一个过滤容器1211，每个过滤容器1211中包含有过滤芯或过滤网；当过滤容器1211为至少两个时，至少两个过滤容器1211由高至低依次摆放在不同高度，且高度较低的过滤容器的过滤精度高于高度较高的过滤容器的过滤精度，其中，过滤精度可以通过对过滤芯或者过滤网的网格大小来控制，相邻过滤容器1211之间通过管道连接。当过滤容器1211为至少两个时，相邻过滤容器1211之间的管道上设置有第一阀门1212。进一步地，第一阀门1212上设置有第一计时器和第一控制器，该第一计时器和该第一控制器电连接，该第一控制器与第一阀门1212的受控端相连，该第一控制器用于根据第一计时器的计时时间控制所述第一阀门的开闭状态。
[0024]该反应容器组件122包括反应容器1221和结晶容器1222;该反应容器1221中盛放有反应溶液，该反应溶液用于与抛盘尾液中氧化物进行反应，氧化物为抛盘11在抛光过程中所分离出的金属氧化物;该结晶容器1222用于对反应溶液与氧化物反应后生成的可溶杂质进行冷却结晶，以生成可溶杂质的结晶物与去除杂质后的抛光尾液;该反应容器1221和结晶容器1222由高至低依次摆放，反应容器1221和结晶容器1222之间通过管道连接。进一步地，反应容器1221和结晶容器1222之间的管道上设置有第二阀门1223。该第二阀门1223上设置有第二计时器和第二控制器，第二计时器和第二控制器电连接，第二控制器与第二阀门1223的受控端相连，第二控制器用于根据第二计时器的计时时间控制第二阀门1223的开闭状态。
[0025]更进一步地，结晶容器1222与回收容器组件123之间也是通过管道连接，并且该管道上设置有第三阀门1224。该第三阀门1224上设置有第三计时器和第三控制器，第三计时器和第三控制器电连接，第三控制器与第三阀门1224的受控端相连，第三控制器用于根据第三计时器的计时时间控制第三阀门1224的开闭状态。
[0026]具体地，当抛盘为铜盘，抛光液为金刚石抛光液时，上述抛光机的工作过程如下:抛盘11上的抛光尾液经由入液口流入与其连接的第一个过滤容器1211中，在第一个过滤容器1211中先利用过滤芯或者利用过滤网将抛光尾液中大固体杂质过滤掉，过滤芯或者过滤网的网格直径为15微米，可选地，再通入氧气加热，使抛光尾液中的铜元素与氧气充分反应生成氧化铜;第一控制器根据第一计时器设置第一阀门1212的计时时间为600秒，当达到600秒时，打开第一阀门1212，再将过滤后的抛光尾液导入第二个过滤容器1211中，利用过滤芯或者利用过滤网将相对于大固体杂质较小的固体杂质过滤掉，通常第二个过滤容器1211中的过滤芯或者过滤网的网格直径为8微米，实现将大于8微米的固体杂质过滤掉；当然，这里还可以增加更多的过滤容器1211，本实用新型实施例对过滤容器1211的个数不做限制了，第二个过滤容器1211和反应容器1221之间通过管道连接，该管道上设置有阀门1225，阀门1225上设置有计时器和控制器，该控制器根据该计时器设置阀门1225的计时时间为60秒，当达到60秒时，打开阀门1225，将经过过滤容器组件121过滤后的抛光尾液导入反应容器1221中，反应容器1221中盛放有200ml反应溶液稀硫酸，稀硫酸与氧化铜反应生成硫酸铜，硫酸铜为天蓝色晶体，即为上述的可溶杂质，通常加入的经过过滤后的抛光液要过量，保证硫酸根充分反应，第二控制器根据第二计时器设置第二阀门为常闭，此时抛光尾液中剩下金刚石颗粒(碳元素)和硫酸铜晶体;抛光液中金刚石颗粒的直径根据抛光液型号不同而定，如6微米标准的抛光液中金刚石颗粒直径为I至7微米;10微米标准的抛光液中金刚石颗粒直接为I至11微米之间。本实施例以6微米标准的抛光液作为例子说明。若抛光液型号不一样，上述过滤芯或者过滤网的网格直径也随之变化，然后将抛光尾液导入结晶容器1222中，进行冷却结晶，形成可溶杂质的结晶物，即胆矾，胆矾颗粒较大，可直接过滤掉;第三控制器根据第三计时器设置第三阀门1224计时时间为120秒，当冷却结晶时间达到120秒后，将过滤后的抛光尾液导入回收容器组件123中，按比例兑入金刚石抛光液机油，当进行PH值测试后，混合后的溶液呈中性，则可以将该溶液重新作为抛光液使用。通常每10ml溶液加入I OOml金刚石抛光液机油，则混合后的溶液呈中性。
[0027]本公开实施例提供的抛光机可以达到节省抛光液，进而降低芯片的成本的效果。
[0028]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种抛光机，其特征在于，所述抛光机包括:抛盘和抛光液循环系统； 所述抛光液循环系统包括:依次顺序连接的过滤容器组件、反应容器组件和回收容器组件;所述过滤容器组件具有位于所述抛盘下方的入液口，以使所述抛盘上的抛光尾液经由所述入液口流入所述过滤容器组件中，所述过滤容器组件的出液口与所述反应容器组件的入液口相连接，所述反应容器组件的出液口与所述回收容器组件的入液口相连接； 所述过滤容器组件用于过滤所述抛光尾液中的固体杂质； 所述反应容器组件用于去除所述抛光尾液中的可溶杂质； 所述回收容器组件用于使去除杂质后的抛光尾液与抛光液机油混合，并重新生成抛光液。2.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述过滤容器组件包括:至少一个过滤容器，每个所述过滤容器中包含有过滤芯或过滤网； 当所述过滤容器为至少两个时，至少两个所述过滤容器由高至低依次摆放在不同高度，且高度较低的过滤容器的过滤精度高于高度较高的过滤容器的过滤精度，相邻过滤容器之间通过管道连接。3.根据权利要求2所述的抛光机，其特征在于，所述过滤容器为至少两个时，相邻过滤容器之间的管道上设置有第一阀门。4.根据权利要求3所述的抛光机，其特征在于，所述第一阀门上设置有第一计时器和第一控制器，所述第一计时器和所述第一控制器电连接，所述第一控制器与所述第一阀门的受控端相连，所述第一控制器用于根据所述第一计时器的计时时间控制所述第一阀门的开闭状态。5.根据权利要求1-4任一项所述的抛光机，其特征在于，所述反应容器组件包括反应容器和结晶容器； 所述反应容器中盛放有反应溶液，所述反应溶液用于与所述抛盘尾液中氧化物进行反应，所述氧化物为所述抛盘在抛光过程中所分离出的金属氧化物;所述结晶容器用于对所述反应溶液与所述氧化物反应后生成的所述可溶杂质进行冷却结晶，以生成所述可溶杂质的结晶物与所述去除杂质后的抛光尾液;所述反应容器和所述结晶容器由高至低依次摆放，所述反应容器和所述结晶容器之间通过管道连接。6.根据权利要求5所述的抛光机，其特征在于，所述反应容器和所述结晶容器之间的管道上设置有第二阀门。7.根据权利要求6所述的抛光机，其特征在于，所述第二阀门上设置有第二计时器和第二控制器，所述第二计时器和所述第二控制器电连接，所述第二控制器与所述第二阀门的受控端相连，所述第二控制器用于根据所述第二计时器的计时时间控制所述第二阀门的开闭状态。
【专利摘要】本实用新型提供一种抛光机，包括：抛盘和抛光液循环系统；该抛光液循环系统包括：依次顺序连接的过滤容器组件、反应容器组件和回收容器组件；过滤容器组件具有位于抛盘下方的入液口，以使抛盘上的抛光尾液经由入液口流入过滤容器组件中，过滤容器组件的出液口与反应容器组件的入液口相连接，反应容器组件的出液口与回收容器组件的入液口相连接；过滤容器组件用于过滤抛光尾液中的固体杂质；反应容器组件用于去除抛光尾液中的可溶杂质；回收容器组件用于使去除杂质后的抛光尾液与抛光液机油混合，并重新生成抛光液。从而可以节省抛光液，进而降低芯片的成本。
【IPC分类】B24B29/00, B24B57/02
【公开号】CN205363609
【申请号】CN201620128085
【发明人】段中红, 曹喜平, 韩晓翠, 康建, 梁旭东
【申请人】圆融光电科技股份有限公司
【公开日】2016年7月6日
【申请日】2016年2月18日