技术总结
本发明提供了一种赛隆陶瓷靶材的制作方法。包括：提供包括氮化硅、氧化铝、氮化铝、助烧剂以及导电剂的原料粉末；并将所述原料粉末混合均匀后，进行热压烧结处理，形成赛隆陶瓷靶材。采用本发明制得的赛隆陶瓷具有良好的导电性和导热性能，从而在线丝切割工艺中，加强赛隆陶瓷与移动中的电极丝之间不断产生脉冲性的火花放电，并在火花放电时瞬时产生高温，加快赛隆陶瓷与电极丝的接触部位的蚀除，改善赛隆陶瓷的切割性能，提高切割赛隆陶瓷的顺畅性，以及赛隆陶瓷的机械加工精度。
技术研发人员：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;王科
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
文档号码：201310370661
技术研发日：2013.08.22
技术公布日：2016.12.28