一种沉降器排放液中氯硅烷的回收装置及方法与流程

文档序号:12236114阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种沉降器排放液中氯硅烷的回收装置即方法,其包括:渣浆缓冲罐,用于储存排放液并分离出氯硅烷;输入管道,通过阀门连接至渣浆缓冲罐的顶部,用于将从沉降器排出的排放液输送到所述渣浆缓冲罐;第一输出管道,通过阀门连接至渣浆缓冲罐的中部,用于将在渣浆缓冲罐中分离出的氯硅烷输送至蒸馏装置;其中,所述第一输出管道上设置有第一过滤器和第一屏蔽泵;第二输出管道,通过阀门连接至渣浆缓冲罐的底部,用于将在渣浆缓冲罐中分离出的残留液输送至水洗装置。通过对沉降器排放液中氯硅烷进行回收再利用,提高了多晶硅生产中的中间产品三氯氢硅的产量,节约了对废渣进行水洗的水量及药品用量,降低了多晶硅的生产成本。

技术研发人员:杨紫琪;张博;王勇
受保护的技术使用者:青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司
文档号码:201610767967
技术研发日:2016.08.30
技术公布日:2017.02.22

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