一种碳化硅的生长装置的制作方法

文档序号:12550234阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种碳化硅的生长装置,包括壳体(1),其特征在于:所述壳体(1)的内部设置有保温层(2),所述保温层(2)的内侧下方设有滑槽(3),滑槽(3)内通过支架(4)滑动安装有坩埚(5),所述保温层(2)内部左右两侧均开设有槽孔(6),所述槽孔(6)的底部固定安装有第一液压伸缩杆(7),所述第一液压伸缩杆(7)之间设有连接板(8),所述连接板(8)上固定安装固定块(9);固定块(9)下方连接有空心管状籽晶轴(10),籽晶轴(10)下端连接有籽晶托架(11);所述坩埚(5)两侧对称设有第二液压伸缩杆(12)且第二液压伸缩杆(12)之间的中心轴线与籽晶托架(11)中心轴线重合。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅的生长装置,其特征在于:所述的籽晶托架(11)包括石墨板(14)和石墨手臂(15),石墨手臂(15)固定连接在石墨板(14)下方,所述的石墨板(14)通过机械连接或者通过粘合剂与籽晶轴(10)固定连接,石墨手臂(15)下方有开口(16)。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅的生长装置,其特征在于:所述开口(16)的高度大于籽晶(13)的厚度。

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