用于助熔剂法生长氮化物单晶的承载结构及系统的制作方法

文档序号:15792055发布日期:2018-10-31 00:20阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种用于助熔剂法生长氮化物单晶的承载结构及系统。所述的承载结构包括籽晶承载体和支撑机构,所述籽晶承载体可升降地设置于助熔剂法生长氮化物单晶的反应容器内,所述籽晶承载体与支撑机构固定连接,所述支撑机构与驱动机构传动连接。较之现有技术,本实用新型通过设置与氮化物单晶的反应容器配合的、结构简单的承载结构,可以在进行助熔剂法制备氮化物单晶的液相外延生长过程中,方便快捷的调控籽晶的位置,使籽晶外延界面始终处于熔液中合适的过饱和度区域内,从而获得连续生长的高质量液相外延氮化物单晶。

技术研发人员:刘宗亮;徐科;任国强;王建峰
受保护的技术使用者:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
技术研发日:2018.02.09
技术公布日:2018.10.30

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