一种单晶炉副炉分离结构的制作方法

文档序号:17371958发布日期:2019-04-09 23:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶炉副炉分离结构,包括底座(1)、主炉室(2)和副炉室(3),所述主炉室(2)置于底座(1)上,所述主炉室(2)底部设有下级传动装置(21),所述主炉室(2)顶部设有炉盖(22),所述炉盖(22)与副炉室(3)底部之间连通设置有隔离阀室(4),所述隔离阀室(4)内设有主炉室隔离阀(41),所述副炉室(3)顶部设有上级传动装置(31),所述副炉室(3)炉体上设有抬升旋转装置(32),其特征在于:所述副炉室(3)与隔离阀室(4)之间设有离合结构(5),所述离合结构(5)包括下级法兰(52)和上级法兰(51),所述下级法兰(52)与隔离阀室(4)顶部连接,所述下级法兰(52)表面周沿圆周阵列有若干一级螺纹孔(521),所述一级螺纹孔(521)内螺纹连接有一级定位螺栓(522),所述上级法兰(51)与副炉室(3)底部连接,所述上级法兰(51)上开设有若干供一级定位螺栓(522)穿过的一级腰形孔(511),所述一级定位螺栓(522)顶部螺纹连接有与上级法兰(51)表面抵接的一级定位螺母(523),若干所述一级腰形孔(511)的一端扩大并形成供一级定位螺母(523)穿过的扩张通孔(512)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉副炉分离结构,其特征在于:相邻所述一级腰形孔(511)之间开设有二级腰形孔(513),所述二级腰形孔(513)的孔径保持不变,所述下级法兰(52)表面上与二级腰形孔(513)对应的位置圆周阵列有若干二级螺纹孔(524),所述二级螺纹孔(524)内螺纹连接有二级定位螺栓(525)。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉副炉分离结构,其特征在于:所述一级定位螺母(523)为锥形螺母。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉副炉分离结构,其特征在于:所述上级法兰(51)为旋转法兰,所述上级法兰(51)与副炉室(3)之间螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉副炉分离结构,其特征在于:所述下级法兰(52)靠近上级法兰(51)的表面上圆周阵列有若干球形槽(526),所述球形槽(526)内均放置有滚珠(533),所述球形槽(526)的口径与滚珠(533)直径相同,所述球形槽(526)的深度与滚珠(533)半径相同,所述上级法兰(51)下表面与滚珠(533)之间滚动连接。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉副炉分离结构,其特征在于:所述下级法兰(52)与上级法兰(51)之间夹设有保持盘(53),所述保持盘(53)上与一级螺纹孔(521)和二级螺纹孔(524)的对应位置均开设有大小相同的限位通孔(531),所述保持盘(53)上与滚珠(533)的对应位置开设有球形孔(532),所述保持盘(53)的厚度为滚珠(533)半径的0.8~0.9倍。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉副炉分离结构,其特征在于:所述副炉室(3)底部设有副炉室隔离阀(33),所述副炉室隔离阀(33)位于隔离阀室(4)上方。

8.根据权利要求2所述的一种单晶炉副炉分离结构,其特征在于:所述一级腰形孔(511)和二级腰形孔(513)内壁均贴合设置有缓冲橡胶垫(514)。

9.根据权利要求4所述的一种单晶炉副炉分离结构,其特征在于:所述上级法兰(51)外侧周沿贴合设置有环状的防滑橡胶垫(515)。

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