技术总结
本实用新型公开了一种单晶炉副炉分离结构，属于硅晶制造领域，旨在提供一种可实现副炉室和隔离阀室共同或单独分离的单晶炉，其技术方案要点是，包括底座、主炉室和副炉室，所述主炉室顶部设有炉盖，所述炉盖与副炉室底部之间连通设置有隔离阀室，所述副炉室与隔离阀室之间设有离合结构，所述离合结构包括下级法兰和上级法兰，所述下级法兰表面圆周阵列有若干一级螺纹孔，所述一级螺纹孔内螺纹连接有一级定位螺栓，所述上级法兰上开设有若干供一级定位螺栓穿过的一级腰形孔，所述一级定位螺栓顶部螺纹连接有与上级法兰表面抵接的一级定位螺母，若干所述一级腰形孔的一端扩大并形成供一级定位螺母穿过的扩张通孔。本实用新型适用于单晶炉改进。
技术研发人员：贡梦涛
受保护的技术使用者：常州益群新能源科技有限公司
技术研发日：2018.07.18
技术公布日：2019.04.09