包含具有光酸产生官能团和碱溶解度增强官能团的重复单元的聚合物和相关光致抗蚀剂...的制作方法_3

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液中,温热到室温且搅拌过夜。将反应混合物冷却到0°C且通过添 加水(300mL)来缓慢淬灭且用甲基叔丁基醚(2 X 250mL)洗涤。丢弃有机层,且将含碘化钠 (30g,0. 200mmol)的水(IOOmL)在剧烈搅拌下添加到水层中。将沉淀过滤且用大量的水洗 涤,悬浮于最少的丙酮中,在室温下搅拌1小时且过滤,得到呈灰白色固体状的标题化合物 (30. 2g,57% )。1H NMR(500MHz,(CD3)2SO) δ :8. 52(d,J = 8. 0Hz,2H),8. 33(d,J = 8. 0Hz, 2H),7· 96(t,J = 7· 5Hz,2H),7· 75(d,J = 7· 5Hz,2H),7· 31(s,2H),3· 94(vis t,J = 5. 5Hz, 2H),3.67(vis t,J = 5.0Hz,2H),3.55(vis t,6.0Hz,2H),3.42(vis t,J = 4.5Hz,2H), 3.21(s,3H),2.20(s,6H)。
[0059] 实例 5
[0060] 图5是制备I,I-二氟-2-(甲基丙烯酰氧基)乙磺酸5-(4-(2-(2-甲氧基乙氧 基)乙氧基)-3, 5-二甲基苯基)-5H-二苯并[b,d]噻吩-5-鑰的合成流程。
[0061] 1,1_二氟-2-(甲基丙烯酰氧基)乙磺酸5-(4-(2-(2-甲氧基乙氧基)乙氧 基)-3, 5-二甲基苯基)-5H-二苯并[b,d]噻吩-5-鑰.将碘化5-(4-(2-(2-甲氧基乙氧 基)乙氧基)-3,5_二甲基苯基)二苯并噻吩-5-鑰(13.0g,24.3mmol)和1,1_二氟-2-(甲 基丙烯酰氧基)乙磺酸三乙铵(8. 22g,24. 8mmol)溶解于二氯甲烷(150mL)和水(150mL)中 且在室温下搅拌过夜。分离各层,且有机层用水(8X150mL)洗涤且在减压下浓缩,得到呈 白色吸湿固体状的标题化合物(15. lg,97% ),其储存在惰性氮气气氛下。1H NMR(500MHz, (CD3)2CO) δ :8. 52(d,J = 8· 0Hz,2H),8· 38(d,J = 8· 5Hz,2H),8· 00(t,J = 7· 5Hz,2H), 7.80(t,J = 8.0Hz,2H),7.51(s,2H),6.13-6.16(m,lH),5.67-5.69(m,lH),4.77t,J = 15. 5Hz,2H),4. 02-4. 05 (m,2H0,3. 73-3. 77 (m,2H),3. 58-3. 62 (m,2H),3. 44-3. 49 (m,2H), 3. 25 (s,3H),2. 26 (s,6H),I. 13 (s,3H)。
[0062] 实例 6
[0063] 图6是制备I,I-二氟-2-(甲基丙烯酰氧基)乙磺酸5-(4-甲氧基-3-(4-((2-甲 基金刚烧 _2_基)氧基)-1- (2- ((2-甲基金刚烧_2_基)氧基)_2_氧代乙氧基)-1,4-二 氧代丁 _2_基)苯基)-二苯并噻吩鐵的合成流程。
[0064] 1,1_二氟-2-(甲基丙烯酰氧基)乙磺酸5-(4-甲氧基-3-(4-((2-甲基金刚 烧 _2_基)氧基)-1-(2-((2-甲基金刚烧_2_基)氧基)_2_氧代乙氧基)_1,4-二氧代 丁 _2_基)苯基)-二苯并噻吩鐵.将氣化5_ (4_甲氧基_3_ (4_ ((2_甲基金刚烧_2_基) 氧基)_1_ (2-((2-甲基金刚烧_2_基)氧基)_2_氧代乙氧基)_1,4-二氧代丁 _2_基) 苯基)-二苯并噻吩鑰(37.8g,47.4mm〇l)和1,1_二氟-2-(甲基丙烯酰氧基)乙磺酸 N,N,N-三甲基-1-苯基甲胺鑰(18.9g,49.8mmol)溶解于 DCM(250mL)和水(250mL)中, 且在25°C下搅拌过夜。分离各层,水相用二氯甲烷(IOOmL)萃取,合并的有机层用水 (8X200mL)洗涤且在减压下浓缩,得到呈灰白色固体状的标题化合物(36. 0g,77%)。1H NMR(500MHz,(CD3)2CO) δ :(8.52-8.56(m,2H),8.37(d,J = 8Hz,lH),8.31(d,J = 8·5Ηζ, 1H),7· 99-8. 06 (m,2H),7· 78-7. 85 (m,3H),7· 63 (dd,J = 9,1. 5Hz,1H),7· 31 (d,J = 9Hz, 1H),6. 16-6. 19 (m,1H),5. 64-6. 69 (m,1H),5. 62 (s,2h),4. 72-4. 79 (m,2H),4. 50-4. 65 (m, 2H),4. 42-4. 47 (m,1H),3. 96 (s,3H),2. 99-3. 07 (m,1H),2. 63-2. 70 (m,1H),2. 10-2. 30 (m, 4H),(I. 42-2. 09(m,31H) 〇
[0065] 实例 7
[0066] 图7是制备1,I-二氟-2-(2-(甲基丙烯酰氧基)乙酰氧基)乙磺酸5-(4-甲氧 基-3- (4- (((1R,3S,5r,7r) -2-甲基金刚烷-2-基)氧基)-I- (2- (((1R,3S,5r,7r) -2-甲 基金刚烧_2_基)氧基)-2_氧代乙氧基)-1,4-二氧代丁-2-基)苯基)-5H_二苯并[b, d]噻吩-5-鑰的合成流程。
[0067] 1,1-二氟-2-(2-(甲基丙烯酰氧基)乙酰氧基)乙磺酸5-(4-甲氧 基-3- (4- (((1R,3S,5r,7r) -2-甲基金刚烷-2-基)氧基)-I- (2- (((1R,3S,5r,7r) -2-甲基 金刚烧_2_基)氧基)_2_氧代乙氧基)_1,4_二氧代丁-2-基)苯基)-5H_二苯并[b,d] 噻吩-5-鑰.将氯化5-(4-甲氧基-3-(4-((2-甲基金刚烷-2-基)氧基)-1-(2-((2-甲 基金刚烧 _2_基)氧基)_2_氧代乙氧基)_1,4_二氧代丁 _2_基)苯基)-二苯并噻吩鐵 (40.(^,50.2臟〇1)和1,1-二氟-2-(2-(甲基丙烯酰氧基)乙酰氧基)乙磺酸^^三甲 基-1-苯基甲胺鑰(23. 0g,52. 6mmol)溶解于二氯甲烷(300mL)和水(300mL)中且在室温下 搅拌过夜。分离各层,有机相用水(7X250mL)洗涤且浓缩,得到呈白色固体状的标题化合 物(43.4 8,83%)。4匪1?(3001抱,(〇)3)250)5:8.52((1,了 = 7.8抱,2!1),8.31((1,了 = 8.1抱, lH),8.26(d,J = 8. lHz,lH),7.97(t,J = 7.8Hz,2H),7.75(t,J = 7.8Hz,2H),7.71(d,J =2. 4Hz,1H),7· 35(dd,J = 9· 0,2· 4Hz,1H),7· 22(d,J = 9. 0Hz,1H),6· 12-6. 17(m,1H), 5· 76-5. 82(m,1Η),4· 87(s,2H),4· 63(t,J = 15. 6Ηζ,2Η),4· 59(s,2H),4· 35(t,J = 7· 5Hz, 1Η),3· 82 (s,3Η),2· 92-3. 10 (m,2Η),2· 56-2. 68 (m,1Η),L 35-2. 25 (m,36Η)。
[0068] 实例 8
[0069] 图8是制备1,1-二氟-2-(甲基丙烯酰氧基)乙磺酸5-(4-甲氧 基_3_ (2_ (2_ (((1R,3S,5r,7r) _2_甲基金刚烧_2_基)氧基)_2_氧代乙氧基)_2_氧 代_1_(2_氧代四氛咲喃_3_基)乙基)苯基)_5H_二苯并[b,d]噻吩_5_鐵的合成流程。
[0070] 1,1-二氟-2-(甲基丙烯酰氧基)乙磺酸5-(4-甲氧基-3-(2-(2-(((11?,35,51 7r) -2-甲基金刚烧-2-基)氧基)-2-氧代乙氧基)-2-氧代-1- (2-氧代四氢呋喃-3-基) 乙基)苯基)-5H-二苯并[b,d]噻吩-5-鑰.将氯化5-(4-甲氧基-3-(2-(2-(((11?,33,5^ 7r) -2-甲基金刚烧-2-基)氧基)-2-氧代乙氧基)-2-氧代-1- (2-氧代四氢呋喃-3-基) 乙基)苯基)-5H-二苯并[b,d]噻吩-5-鑰(40. 0g,59. 2mmol)和1,1_二氟-2-(甲基丙烯 酰氧基)乙磺酸N,N,N-三甲基-1-苯基甲胺鑰(23. 6g,62. 2mmol)溶解于二氯甲烷(300mL) 和水(300mL)中且在室温下搅拌过夜。分离各层,有机相用水(7X250mL)洗涤,浓缩到一半 体积且沉淀到甲基叔丁基醚(I. 5L)中。将沉淀过滤,用甲基叔丁基醚(2 X 500mL)洗涤且干 燥,得到呈白色固体状的标题化合物(39. lg,76% )。1H NMR(300MHz,(CD3)2SO) δ :8. 53(d, J = 7· 8Hz,2H),8· 34(d,J = 8· 1Ηz,2Η),8· 27(d,J = 7· 8Hz,2H),7· 97(t,J = 7. 5Hz, 2H),7.75(dt,J = 7.8,2.7Hz,lH),7.68(d,J = 1.8Hz,lH),7.38(dd,J = 9·0,2·1Ηz, 1H),7· 23(d,J = 9. 0Hz,1H),6· 12(vis s,1H),5· 77(vis s,1H),4· 64(t,J = 15. 6Hz,2H), 4. 60 (s,2H),4. 25 (d,J = 7. 2Hz,1H),4. 05-4. 21 (m,2H),3. 82 (s,3H),3. 36-3. 51 (m,2H), 2. 14-2. 20 (m,1H),I. 38-2. 04 (m,17H)。
[0071] 实例 9
[0072] -般来说,聚合物分子量通过整合引发剂端基和PAG单元中的一个碳从在以2秒 的弛豫延迟操作的Varian 300兆赫兹NMR光谱仪上获得的13C NMR光谱测定。
[0073] 图9是制备I,1-二氟-2-(甲基丙烯酰氧基)乙磺酸5- (4-甲氧基-3- (4- ((2-甲 基金刚烧_2_基)氧基)-1- (2- ((2-甲基金刚烧_2_基)氧基)_2_氧代乙氧基)-1,4-二 氧代丁 -2-基)苯基)_二苯并噻吩鑰的均聚物的合成流程。
[0074] 1,1-二氟-2-(甲基丙烯酰氧基)乙磺酸5-(4-甲氧基-3-(4-((2-甲基金刚 烧 _2_基)氧基)-1-(2-((2-甲基金刚烧_2_基)氧基)_2_氧代乙氧基)_1,4-二氧代 丁 -2-基)苯基)-二苯并噻吩鑰的均聚物.将1,1-二氟-2-(甲基丙烯酰氧基)乙磺酸 5-(4-甲氧基-3-(4-((2-甲基金刚烷-2-基)氧基)-1-(2-((2-甲基金刚烷-2-基)氧 基)氧代乙氧基) -1,4- 二氧代丁 _2-基)苯基)-二苯并卩莖吩鐵(10. 0g,10. 2mmol)溶 解于乳酸乙酯/丫-丁内酯(3/7以~15.〇3中。将引发剂2,2'-偶氮双(2.4-二甲基戊 腈)(1. 〇〇g)溶解于乙腈/四氢呋喃(2/lv/v,l. OOg)中。经4小时将单体和引发剂溶液逐 滴添加到预加热到80°C的烧瓶中,接着添加引发剂追踪剂。将反应混合物搅拌2小时,冷却 到室温,用甲醇(17g)稀释且沉淀到二异丙醚(SOOg)中。将聚合物过滤且干燥,得到呈白 色固体状的标题化合物(8. 00g,80 %,重量平均分子量3, 972)。
[0075] 实例 10
[0076] 图10是制备1,1_二氟-2-(2-(甲基丙烯酰氧基)乙酰氧基)乙磺酸5-(4-甲氧 基-3- (4- (((1R,3S,5r,7r) -2-甲基金刚烷-2-基)氧基)-I- (2- (((1R,3S,5r,7r) -2-甲 基金刚烧_2_基)氧基)_2_氧代乙氧基)_1,4_二氧代丁-2-基)苯基)-5H_二苯并[b, d]噻吩-5-鑰的均聚物的合成流程。
[0077] 1,1-二氟-2-(2-(甲基丙烯酰氧基)乙酰氧基)乙磺酸5-(4-甲氧 基-3- (4- (((1R,3S,5r,7r) -2-甲基金刚烷-2-基)氧基)-I- (2- (((1R,3S,5r,7r) -2-甲基 金刚烧_2_基)氧基)_2_氧代乙氧基)_1,4_二氧代丁-2-基)苯基)-5H_二苯并[b,d] 噻吩-5-鑰的均聚物.将1,1-二氟-2-(2-(甲基丙烯酰氧基)乙酰氧基)乙磺酸5-(4-甲 氧基-3- (4- (((
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