粘接剂组合物、粘接片及半导体装置的制造方法_2

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示氢原子或碳原子数1~8的烷基。R4表示芳基、取代芳基、芳香族杂环基、酰基、氧羰基 (oxycarbonyl)或氛基。
[0041] 以R1表示的基团具体如下。作为碳原子数1~8的烷基,可列举甲基、乙基、正丙 基、异丙基、环丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、环丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基等碳 原子数1~8的直链状、支链状或环状的烷基。作为优选的烷基,可以是碳原子数1~4的 直链状或支链状烷基,更加优选为甲基或乙基。
[0042] 作为芳基,可列举苯基、萘基等;作为取代芳基,可列举具有取代基的苯基、具有取 代基的萘基等;作为芳香族杂环基,可列举吡啶基、呋喃基、噻吩基等。作为具有上述取代基 的芳基的取代基,例如可列举卤素原子、羟基、烷氧基、胺基、硝基、氰基、-C0R5表示的含有 羰基的基团(R5=碳原子数1~8的烷基、芳基、碳原子数1~8的烷氧基、芳氧基)、磺酰 基、三氟甲基等。作为优选的芳基,可以是苯基、三氟甲基取代苯基。此外,上述取代基,可 以取代1个或2个,优选为对位或者邻位。
[0043] R2及R3所示的各基团具体如下。碳原子数1~8的烷基可列举与上述R1所示的 烷基相同的烷基。
[0044] R4所示的各基团具体如下。作为芳基、取代芳基、芳香族杂环基,可列举与上述R1 所示的基团相同的基团。作为酰基,可列举甲酰基、乙酰基、苯甲酰基等。作为氧羰基,优选 为-C00R6(R6=H、碳原子数1~8的烷基、芳基)表示的基团,例如可列举羧基、甲氧基羰 基、乙氧基幾基、丙氧基幾基、正丁氧基幾基、仲丁氧基幾基、叔丁氧基幾基、正戊氧基幾基、 苯氧基幾基等。作为优选的氧幾基,可以是甲氧基幾基、乙氧基幾基。
[0045] 作为R4所示的各基团,可以是芳基、取代芳基、氧羰基。作为优选的芳基,可以是苯 基。作为优选的取代芳基,可以是卤素原子取代苯基、三氟甲基取代苯基。此外,上述取代 基为卤素原子时,可以取代1~5个。为烷氧基或三氟甲基时,可以取代1个或2个,取代 1个时,优选为对位或者邻位,取代2个时,优选为间位。作为优选的氧羰基,可以是甲氧基 幾基、乙氧基幾基。
[0046] 作为优选的通式(1)所示的含有碲的化合物,可以是R1表示碳原子数1~4的烷 基、R2及R3表示氢原子或碳原子数1~4的烷基、R4由芳基、取代芳基、氧羰基表示的化合 物。特别优选为,R1表示碳原子数1~4的烷基,R2及R3表示氢原子或碳原子数1~4的 烷基,R4可以是苯基、取代苯基、甲氧基幾基、乙氧基幾基。
[0047] 通式(1)所示的含有碲的化合物具体如下。作为含有碲的化合物,可列举(甲基碲 基(tellanyl)-甲基)苯、(1-甲基碲基-乙基)苯、(2-甲基碲基-丙基)苯、1-氯-4-(甲 基碲基-甲基)苯、1-羟基-4-(甲基碲基-甲基)苯、1-甲氧基-4-(甲基碲基-甲基)苯、 1-胺基-4-(甲基碲基-甲基)苯、1-硝基-4-(甲基碲基-甲基)苯、1-氰基-4-(甲基碲 基-甲基)苯、1-甲基羰基-4-(甲基碲基-甲基)苯、1-苯基羰基-4-(甲基碲基-甲基) 苯、1-甲氧基羰基-4-(甲基碲基-甲基)苯、1-苯氧基羰基-4-(甲基碲基-甲基)苯、1-磺 酰-4-(甲基碲基-甲基)苯、1-三氟甲基-4-(甲基碲基-甲基)苯、1-氯-4-(1-甲基碲 基-乙基)苯、1-羟基-4-(1-甲基碲基-乙基)苯、1-甲氧基-4-(1-甲基碲基-乙基)苯、 1- 胺基-4-(1-甲基碲基-乙基)苯、1-硝-4-(1-甲基碲基-乙基)苯、1-氰基-4-(1-甲 基蹄基_乙基)苯、1 _甲基幾基_4_(1_甲基蹄基-乙基)苯、1-苯基幾基-4-(1-甲基蹄 基-乙基)苯、1-甲氧基羰基-4-(1-甲基碲基-乙基)苯、1-苯氧基羰基-4-(1-甲基碲 基-乙基)苯、1-磺酰-4- (1-甲基碲基-乙基)苯、1-三氟甲基-4- (1-甲基碲基-乙基) 苯[1-(1-甲基碲基-乙基)-4-三氟甲基苯]、1-(1-甲基碲基-乙基)-3,5-双-三氟甲基 苯、1,2, 3, 4, 5_五氣_6_ (1_甲基蹄基-乙基)苯、1_氣_4_ (2_甲基蹄基-丙基)苯、1_轻 基-4-(2-甲基碲基-丙基)苯、1-甲氧基-4-(2-甲基碲基-丙基)苯、1-胺基-4-(2-甲 基蹄基 _丙基)苯、1_硝基_4_(2_甲基蹄基-丙基)苯、1_氛基-4-(2-甲基蹄基-丙 基)苯、I-甲基幾基-4_(2_甲基蹄基-丙基)苯、1-苯基幾基-4-(2-甲基蹄基-丙基) 苯、1 _甲氧基幾基_4_ (2_甲基蹄基-丙基)苯、1-苯氧基幾基-4-(2-甲基蹄基-丙基) 苯、1-磺酰-4-(2-甲基碲基-丙基)苯、1-三氟甲基-4-(2-甲基碲基-丙基)苯、2-(甲 基碲基-甲基)吡啶、2-(1-甲基碲基-乙基)吡啶、2-(2-甲基碲基-丙基)吡啶、2-甲 基-2-甲基碲基-丙醇、3-甲基-3-甲基碲基-2- 丁酮、2-甲基碲基-乙酸甲酯、2-甲基碲 基-丙酸甲酯、2-甲基碲基-2-甲基丙酸甲酯、2-甲基碲基-乙酸乙酯、2-甲基碲基-丙酸 乙酯、2-甲基碲基-2-甲基丙酸乙酯[乙基-2-甲基-2-甲基碲基-丙酸酯]、2-(正丁基 碲基)-2-甲基丙酸乙酯[乙基-2-甲基-2-正丁基碲基-丙酸酯]、2-甲基碲基丙烯腈、 2- 甲基碲基丙腈、2-甲基-2-甲基碲基丙腈、(苯基碲基-甲基)苯、(1-苯基碲基-乙基) 苯、(2-苯基碲基-丙基)苯等。
[0048] 此外,在上述化合物中,包含全部将甲基碲基、1-甲基碲基、2-甲基碲基的部分分 别变更为乙基碲基、1-乙基碲基、2-乙基碲基、丁基碲基、1-丁基碲基、2-丁基碲基的化合 物。优选可以为(甲基碲基-甲基)苯、(1-甲基碲基-乙基)苯、(2-甲基碲基-丙基) 苯、1-氯-4-(1-甲基碲基-乙基)苯、1-三氟甲基-4-(1-甲基碲基-乙基)苯[1-(1-甲 基碲基-乙基)-4-三氟甲基苯]、2-甲基碲基-2-甲基丙酸甲酯、2-甲基碲基-2-甲基丙 酸乙酯[乙基-2-甲基-2-甲基碲基-丙酸酯]、2-(正丁基碲基)-2-甲基丙酸乙酯[乙 基-2-甲基-2-正丁基碲基-丙酸酯]、1-(1-甲基碲基-乙基)-3, 5-双-三氟甲基苯、 1,2, 3, 4, 5-五氟-6-(1-甲基碲基-乙基)苯、2-甲基碲基丙腈、2-甲基-2-甲基碲基丙 腈、(乙基碲基-甲基)苯、(1-乙基碲基-乙基)苯、(2-乙基碲基-丙基)苯、2-乙基碲 基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙基碲基-2-甲基丙酸乙酯、2-乙基碲基丙腈、2-甲基-2-乙基 碲基丙腈、(正丁基碲基-甲基)苯、(1-正丁基碲基-乙基)苯、(2-正丁基碲基-丙基) 苯、2-正丁基碲基-2-甲基丙酸甲酯、2-正丁基碲基-2-甲基丙酸乙酯、2-正丁基碲基丙 腈、2-甲基-2-正丁基碲基丙腈。
[0049] 以上述通式(1)表示的含有碲的化合物可以单独或组合2种以上使用。作为通式 (1)所示的含有碲的化合物,例如采用乙基-2-甲基-2-甲基碲基-丙酸酯时,作为其合成 方法,可以通过日本特开2011-74380号公报所公开的方法获得。
[0050] 在聚合工序中,除了上述含有碲的化合物之外,还可添加偶氮类聚合引发剂作 为聚合促进剂。偶氮类聚合引发剂只要是用于通常的自由基聚合的引发剂即可,并无特 别限定,作为例示,可列举2, 2' -偶氮双(异丁腈)(AIBN)、2, 2' -偶氮双(2-甲基丁腈) _8沁、2,2'-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)妳¥抑、1,1'-偶氮双(1-环六甲腈)仏(:圆)、二 甲基-2, 2'-偶氮双异丁酯(MAIB)、4, 4'-偶氮双(4-氰基吉草酸)(ACVA)、1,Γ-偶氮双 (I-乙酰氧基苯基乙烧)、2, 2' -偶氮双(2-甲基丁基酰胺)、2, 2' -偶氮双(4-甲氧 基_2, 4_二甲基戊臆)、2, 2' -偶氣双(2_甲基脉基丙烷)二盐酸盐、2, 2' -偶氣双[2_ (2_味 P坐啉-2-基)丙烷]、2, 2' -偶氮双[2-甲基-N-(2-羟基乙)丙酸酰胺]、2, 2' -偶氮双 (2, 4, 4-三甲基戊烷)、2_氰基-2-丙基偶氮甲酰胺、2, 2' -偶氮双(N- 丁基-2-甲基丙酸 酰胺)、2, 2'-偶氮双(N-环己-2-甲基丙酸酰胺)等。使用上述偶氮类聚合引发剂时,相 对于lmol用作聚合引发剂的式(1)的含有蹄的化合物,最好优选以0. 01~lOOmol、更加优 选以0.1~lOOmol、进一步优选以0.1~5mol的比例使用。
[0051] 丙烯酸聚合物(A)通过活性自由基聚合而形成的方法举例如下。在非活性气体置 换的容器中,将上述单体的混合物与通式(1)所示的活性自由基聚合引发剂及根据需要的 偶氮类聚合引发剂混合。此时,作为非活性气体,可列举氮、氩、氦等。优选可以是氩、氮。特 别可以是氮。单体与通式(1)所示的活性自由基聚合引发剂的使用量只要根据目标的丙烯 酸聚合物(A)的分子量或者分子量分布适当调节即可。作为优选的使用量,大约为以各单 体的分子量乘以添加比例所得的值的总和除以目标丙烯酸聚合物(A)的重均分子量(Mw) 的值(使用量的单位为摩尔数),根据情况使用该值的〇. 3~3倍左右的量。
[0052] 聚合通常为在无溶剂的条件下进行,使用通常用于自由基聚合的有机溶剂也 无妨。作为可使用的溶剂,可列举例如苯、甲苯、N,N-二甲基甲酰胺(DMF)、二甲基亚砜 (DMS0)、丙酮、氯仿、四氯化碳、四氢呋喃(THF)、醋酸乙酯、三氟甲基苯等。此外,也可使用水 性溶剂,例如水、甲醇、乙醇、异丙醇、正丁醇、乙基溶纤剂、丁基溶纤剂、1-甲氧基-2-丙醇 等。作为溶剂的使用量,只要适当调节即可,例如相对于lg单体,溶剂可以为〇. 01~l〇〇ml, 优选为〇. 05~10ml,特别优选为0. 05~0. 5ml。
[0053] 其次,对上述混合物进行搅拌。反应温度、反应时间只要根据所得的丙烯酸聚合物 (A)的分子量或者分子量分布适当调节即可,但通常为在60~150°C下搅拌5~100小时。 优选可以在80~120°C下搅拌10~30小时。聚合通常以常压进行,但加压或者减压也无 妨。反应结束后,根据常法在减压下去除所使用的溶剂或残留的单体,或沉淀过滤然后再沉 淀,或者进行管柱分离等根据需要将目标丙烯酸聚合物(A)纯化。关于反应处理,只要不阻 碍目标物可进行任何处理方法。
[0054] 例如,在丙烯酸聚合物(A)中,使包含于其中的重均分子量Mw为5万以下的低分 子量成分的比例为〇. 1质量%以下,可采用下述分离法。首先,在1〇〇质
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