立式烧结炉的制作方法

文档序号:11069701阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种立式烧结炉,其特征在于:主体结构包括真空手套箱(1)和位于真空手套箱(1)内的炉体、隔热系统、加热系统和坩埚系统,真空手套箱(1)使用25mm厚含硼聚乙烯板和50mm厚Q235碳钢板制成,真空手套箱(1)前后面对称分布数对手套孔(13),炉体、隔热系统、加热系统和坩埚系统在真空手套箱内从外到内同心分布。

2.根据权利要求1所述的一种立式烧结炉,其特征在于:炉体由炉盖(2)、炉腔(3)和炉底(4)组成,炉体采用立式结构,炉盖(2)采用齿啮式锁紧结构。

3.根据权利要求1所述的一种立式烧结炉,其特征在于:隔热系统由上隔热板(5)、隔热腔(6)和下隔热板(7)组成。

4.根据权利要求1所述的一种立式烧结炉,其特征在于:加热系统由加热电极(8)、电极连接板(9)和加热器(10)组成,加热器(10)采用钨铼合金材料制成圆形。

5.根据权利要求1所述的一种立式烧结炉,其特征在于:坩埚系统由坩埚(11)和坩埚支撑杆(12)组成。

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