盖130的可调整部131与第一本体110的可调整部111 (图1A)固定，使当第一本体110的可调整部111受到调整时，第一侧盖130的可调整部131被可调整部111带动而形变。由于第一侧盖130的可调整部131本身因为弱化而具有可挠性，使当第一本体110的可调整部111受到调整而形变时，第一侧盖130的可调整部131容易形变，进而使涂布狭缝100R靠近第一侧盖130的宽度W(图1D)可容易调整，如容易扩大或缩小。
[0081]此外，第一切割道130cl与第二切割道130c2所围绕区域之外的区域成为刚性较强(相对于可调整部131)的基座部132。上述第二贯孔130h2设于基座部132。
[0082]第一侧盖130具有一端面130s3，其与涂布狭缝100R的开口 10Ra位于第一侧盖130的同侧。第一切割道130cl从端面130s3沿一曲线路径、一直线路径或其组合路径往接近第二切割道130c2的方向延伸。本实施例的第一切割道130cl以沿直线路径延伸为例说明。
[0083]第一切割道130cl延伸至与第二切割道130c2的延伸线相交。例如，第二切割道130c2的上缘130u的延伸线LI与第一切割道130cl相交，使可调整部131具有足够的可挠性。另一实施例中，第二切割道130c2的下缘130b的延伸线与第一切割道130cl相交，使可调整部131具有更好的可挠性。相比于第一切割道130cl未延伸至与第二切割道130c2的延伸线相交，由于本实施例的第一切割道130cl延伸至与第二切割道130c2的延伸线相交，使第一侧盖130中连接第一切割道130cl与第二切割道130c2的材料较少,进而使可调整部131具有更好的可挠性。当第一侧盖130中连接第一切割道130cl与第二切割道130c2的材料愈少时，可调整部131的挠性愈好。
[0084]薄膜涂布装置100还包括调整元件150，其连接第一侧盖130的可调整部131与基座部132，以调整可调整部131与基座部132的相对位置。详细来说，可调整部131及基座部132分别具有内螺孔131t及132t。调整元件150包括内螺帽151、螺栓152及外螺帽153，通过内螺帽151及螺栓152的行程调整，可调整可调整部131与基座部132的相对位置，进而调整涂布狭缝100R的宽度W(图1D)。当涂布狭缝100R的宽度W(图1D)调整至一预设宽度后，通过锁紧外螺帽153可固定可调整部131与基座部132的相对位置。在调整第一本体110的可调整部111后，若仍未获得预期的涂布狭缝宽度(例如，涂布狭缝100R靠近第一侧盖130之处的宽度相比于中间的涂布狭缝宽度仍过大或过小)，则可单独操作调整元件150，以获得各点宽度大致相同的涂布狭缝。
[0085]请参照图1C，其绘示图1B的俯视图。第一侧盖130具有第三外侧面130s4，其与内侧面130sl相对。如图1C所示，第一切割道130cl从内侧面130sl沿直线路径、曲线路径或其组合路径延伸到第三外侧面130s4，即第一切割道130cl贯穿第一侧盖130的厚度。本实施例中，第一切割道130cl垂直于内侧面130sl，且以直线路径延伸至第三外侧面130s4。
[0086]请参照图1D，其绘示图1A的薄膜涂布装置组合后的俯视图。薄膜涂布装置100组合后，第二本体120相对第一本体110配置，且与第一本体110之间形成涂布狭缝100R。由于第一切割道130cl及第二切割道130c2的设计，涂布狭缝100R靠近第一侧盖130的宽度W比现有涂布狭缝靠近第一侧盖130的宽度W’更容易调整。进一步地说，就扩大宽度的相同大小调整力而言，本实施例的涂布狭缝100R靠近第一侧盖130的宽度W比现有涂布狭缝的靠近第一侧盖130的宽度W’还宽(因为容易调宽)。虽然未绘示，但就缩小宽度的相同大小调整力而言，本实施例的涂布狭缝100R靠近第一侧盖130的宽度W比现有涂布狭缝的靠近第一侧盖130的宽度W’还窄(因为容易调窄)。
[0087]请参照图2，其绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。相比于图1B的第一侧盖130，本实施例的第二切割道130c2为细线形切割道，其宽度小于图1B的第二切割道130c2。本实施例中，凹槽I 1r (为方便理解，以虚线绘示凹槽I 1r的位置)位于第一贯孔130hl与第二贯孔130h2之间，使第一侧盖130的可调整部131与第一本体110的可调整部111 (可调整部111的可挠性较好)固定，而不与第一本体110的基座部112 (基座部112的可挠性较差)固定，因此不致让可调整部131受到过度拘束。
[0088]请参照图3，其绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。与图2的第一侧盖不同的是，本实施例的第二切割道130c2的位置位于凹槽IlOr与第一贯孔130hl之间。与图2的第一侧盖130相似的是，凹槽I1r (为方便理解，凹槽IlOr的位置以虚线绘示)仍位于第一贯孔130hl与第二贯孔130h2之间，如此使可调整部131不与第一本体110的基座部112固定，因此不会让可调整部131受到过度拘束。
[0089]请参照图4，其绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。第一侧盖130具有第一切割道130cl、第二切割道130c2及数个第一贯孔130hl。本实施例中，数个第一贯孔130hl位于第一切割道130cl与第二切割道130c2围绕的区域内。由于凹槽IlOr (为方便理解，凹槽IlOr的位置以虚线绘示)仍位于第一贯孔130hl与第二贯孔130h2之间，使可调整部131不与第一本体110的基座部112固定，因此不会让可调整部131受到过度拘束。第一贯孔130hl的数量可以是二个，或二个以上。
[0090]请参照图5，其绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。本实施例中，第二切割道103c2的剖面形状为三角形。另一实施例中，第二切割道103c2的剖面形状可以是椭圆形的一部分、圆形的一部分或多边形的一部分。只要可让第一侧盖130具备可挠性，第一侧盖130的第二切割道130c2的剖面形状不受本发明实施例所限制。
[0091]请参照图6，其绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。第一侧盖130的第一切割道130cl从内侧面130sl倾斜地延伸至第三外侧面130s4。具体而言，第一切割道130cl从内侧面130sl以远离第二外侧面130s2的方式倾斜地延伸至第三外侧面130s4，使第一切割道130cl与内侧面130sl夹一钝角Al。另一实施例中，第一切割道130cl可沿曲线路径或直线与曲线的组合路径倾斜地延伸至第三外侧面130s4。通过设计钝角Al的数值，可决定第一侧盖130中连接第一切割道130cl与第一切割道130cl的材料体积，借此决定可调整部131的可挠性。
[0092]请参照图7，其绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。与图6的第一侧盖130不同的是，本实施例的第一侧盖130的第一切割道130cl与内侧面130sl夹一锐角A2，并沿一直线路径倾斜地延伸至第三外侧面130s4。
[0093]请参照图8，其绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。与图6的第一侧盖130不同的是，本实施例的第一侧盖130的第一切割道130cl沿多段直线路径倾斜地延伸，其中多段直线路径不平滑地连接。
[0094]请参照图9，其绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。第一侧盖230具有切割道230c，其环绕第一贯孔130hl。具体而言，切割道230c为一螺旋形切割道，其环绕第一贯孔130hl至少一圈，使第一侧盖230的可调整部131具备足够可挠性。切割道230c的形成方法可相似于第一切割道130cl，容此不再赘述。
[0095]请参照图10，其绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。与图9的第一侧盖230不同的是，本实施例的切割道230c从端面130s3延伸至环绕第一贯孔130hl。
[0096]请参照图11，其绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。与图10的第一侧盖230不同的是，本实施例的切割道230c从第二外侧面130s2延伸至环绕第一贯孔130hl。
[0097]请参照图12，其绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。本实施例中，切割道230c包括第一切割道230cl及第二切割道230c2，其中第一切割道230cl环绕第一贯孔130hl的第一侧，而第二切割道230c2环绕第一贯孔130hl的第二侧，其中第一侧相对于第二侧。具体而言，第一切割道230cl与第二切割道230c2各包括环形切割道230c3、第一线形切割道230c4及第二线形切割道230c5，其中环形切割道230c3具有第一端与第二端，第一线形切割道230c4从环形切割道230c3的第一端往第一侧盖130之外延伸，而第二线形切割道230c5从环形切割道230c3的第二端往第一侧盖130之内延伸。本实施例中，第一线形切割道230c4从环形切割道230c3的第一端往端面130s3或第二外侧面130s2的方向延伸，但不延伸至端面130s3或第二外侧面130s2，而第二线形切割道230c5从环形切割道230c3的第二端往第四外侧面130s5的方向延伸，但不延伸至内部流道。
[0098]请参照图13，其绘示依照本发明另一实施例的第一侧盖的侧视图。本实施例中，切割道230c包括环形切割道230c3及二第二线形切割道230c5，其中环形切割道230c3环绕第一贯孔130hl，而二第二线形切割道230c5分别连接于环形切割道23