微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明公开了一种。微气泡发生器包括衬底、两个双层石墨烯电极和碳纳米管;两个双层石墨烯电极位于衬底上,电极间距为1~8μm,碳纳米管连接两个双层石墨烯电极,用作加热组件。制备方法包括如下步骤在生长有双层石墨烯的金属箔表面旋涂PMMA;去除金属箔,将PMMA保护的双层石墨烯转移至衬底上,热处理使双层石...
  • 本发明公开了,所述采集器包括压电薄膜、金属电极、粘附层,金属质量块和硅质量块。本发明提出的螺旋型带压电式能量采集器具有低频宽频带的特点,而且其制备方式与传统的MEMS工艺兼容,易于批量化生产。专利说明[0001]本发明涉及MEMS集成加工领域,具体是一种螺旋型低频宽频带压电式能量采集器及其制备方...
  • 本发明公开一种具有真空腔的微机电系统露点传感器。该发明包括光源、光电探测器、测控电路和传感器主体。传感器主体包括第一基片、膜片、第一绝缘层、温度传感器、加热电阻、第二绝缘层、反射镜面、第二基片和制冷器。第一基片的正面刻蚀形成膜片,第一绝缘层置于膜片的正面,温度传感器和加热电阻分别置于第一绝缘层的正...
  • 本发明公开了一种块体镁材料,其中包含纳米结构的镁,还可包含至少一种纳米结构的过渡族金属,过渡族金属重量占块体镁材料总重小于20%。本发明还公开了上述块体镁材料的制备方法,包括以下步骤金属块经熔化、蒸发、冷却,形成金属纳米粉;金属纳米粉经高压扭转压制成块体材料。该材料具有普通块体材料与纳米材料的双重...
  • 本发明属于纳米材料和光电功能材料,具体为一种氧化亚铜纳米线多孔薄膜及其制备方法和应用。本发明以硫氰酸亚铜薄膜为前体,通过与碱溶液反应获得氧化亚铜纳米线多孔薄膜。本发明提出的氧化亚铜纳米线多孔薄膜可作为光电转换材料,在功能材料和器件领域还有广泛的用途。专利说明一种氧化亚铜纳米线多孔薄膜及其制备方法和...
  • 本发明提供了一种。所述探测器包括读出电路衬底、微桥桥腿、热敏感层、红外反射层以及红外吸收层。所述红外吸收层支撑设置于所述热敏感层的上方,并与所述红外反射层形成针对入射红外光的谐振腔,所述微桥桥腿置于红外反射层下方,并与读出电路衬底形成电学链接。上述结构能够在降低器件热导的同时增加器件红外吸收率,提...
  • 本发明属于纳米复合材料制备领域,具体涉及一种碳纳米管定向排列的方法。,其特征在于包括以下工艺步骤首先将碳纳米管提纯,然后将提纯后的碳纳米管均匀分散到乳胶状聚合物中,在半干状态下,将匀速转动的转杆插入混合物中转动,得到同心环装定向排列的碳纳米管/聚合物的混合物。本发明有益效果利用转轮转动带动混合物形...
  • 本发明公开了一种钆(Ш)-碳量子点和制备方法以及其在磁共振-荧光双模态成像探针中的应用,属于医学影像材料制备,包括以下步骤1)将前驱体进行热处理,生产热解产物;2)将热解产物加入碱性溶液中进行超声分散处理,得到悬浊液;3)将悬浊液经水性微孔滤膜抽滤得到含有钆(Ш)-碳量子点的滤液;4)将含有钆(Ш...
  • 本发明属于机械制造,具体涉及一种模块化的装配装置。具有可重配置模块化特征的自动微装配装置,其技术方案是它包括自主式装配单元(1)、装配线辅助单元(2)以及上下料单元(3);自主式装配单元(1)包括搬运机械手(5)、微夹持器组件(6)、同轴对位检测组件(7)、微动平台组件(8)、支撑架(9)以及支撑...
  • 本发明公开了,该系统集显微镜、机械手、键合工艺平台等设备于一体,通过控制机构控制机械手运作,先将管座放置于键合工艺平台上固定,然后将芯片安装于管座上,最后实现键合封装。通过采用两个显微镜分别对管座与芯片的位姿进行确认,实现芯片与管座间的自动对位、装配,降低传感器制作过程中对作业员的要求,提高工作效...
  • 本发明公开了,具体的工艺步骤为首先在尺寸已设定的铜基片上旋涂一层SU-8光刻胶,经过前烘、曝光、后烘、显影、竖膜等工艺过程得到微电铸母模,然后再运用微电铸和去胶工艺得到1/2结构,最后利用销接工艺将两片1/2结构组合成一个整体。本发明使用一次涂胶工艺结合销接工艺即可得到大厚度、高深宽比的全金属沟道...
  • ,其步骤将制备碳纳米管产生的尾气,由冷凝系统将温度降为25-35℃;将冷却后的尾气输入第一个储气罐;由压缩机将储气罐中的尾气以流量A输入气体分离器,由气体分离器将尾气中的无效气体过滤以流量D排掉;将经气体分离器过滤后的气体以流量B输入第二个储气罐;将第二个储气罐中的气体以流量C与制备碳纳米管的原料...
  • 本发明涉及,尤其涉及一种钇铝金属醇盐水解沉淀制备高纯钇铝石榴石纳米粉体的方法,所述制备方法包括如下步骤①将铝粒和钇粒分别与无水三氯化铝溶于异丙醇得到异丙醇铝和异丙醇钇,将异丙醇铝和异丙醇钇按Al3+Y3+摩尔比为53混匀后滴加到碳酸氢铵溶液中;②将步骤①所得产品超声反应3~5h,将得到的沉淀陈化、...
  • 本发明提供了一种MEMS器件的制造方法,包括提供一衬底;在所述衬底上依次形成氮化钽层和硬掩膜层;在所述硬掩膜层上涂布光刻胶并对所述硬掩膜层进行第一次刻蚀,形成刻蚀窗口,所述刻蚀窗口下保留部分硬掩膜层;去除所述硬掩膜层上的光刻胶并对所述刻蚀窗口下的硬掩膜层和氮化钽层进行第二次刻蚀,形成沟槽。在本发明...
  • 本发明涉及多态镓锑-硒化锡多层纳米复合相变材料及其制备和应用,为Ga30Sb70/SnSe2纳米复合多层相变薄膜,由SnSe2薄膜和Ga30Sb70薄膜交替排列成多层薄膜结构,其中SnSe2薄膜的厚度为5~35nm,Ga30Sb70薄膜的厚度为5~35nm;Ga30Sb70/SnSe2纳米复合多层...
  • 本发明公开了一种表面具有多级纳微米结构的材料,其包括多孔导电基底;在所述多孔导电基底上垂直于该基底生长的初级微米棒或初级微米片阵列;在每一所述初级微米棒上成放射状生长的多个四氧化三铁次级纳米棒,或在每一所述初级微米片上垂直于该微米片生长的多个四氧化三铁次级纳米棒。该材料可用作电池特别是碱性电池的负...
  • 本发明为一种微机电装置,其包括基板、质量块及多个悬臂。悬臂分别设置于基板的周围与质量块的周围之间且用以支撑氧化层。基板包含平行一轴向多个第一电极和多个第二电极,分别自基板上相对两区延伸而出。基板中央另有蚀刻区,设置于其中央的质量块包含平行同一轴向的多个第三电极与多个第四电极,分别自质量块的相对两侧...
  • 本发明公开了一种三维多孔二氧化钛纳米管催化剂及其制备方法和应用,属于纳米材料制备。该催化剂由相互搭接的二氧化钛纳米管组成。其制备方法是以由纳米纤维或碳纳米管相互搭接组成的三维多孔海绵作为模板,原位负载二氧化钛。之后,利用在空气中加热的方法将三维多孔海绵氧化除掉,形成三维多孔二氧化钛纳米管催化剂。本...
  • 本发明公开了,属于功能材料。本发明以钒酸钠、偏钒酸铵、偏钒酸钠、偏钒酸钾、氧化钒或氯化钒为掺杂源,以氧化锗、乙酸盐为原料,以水为溶剂,将氧化锗、乙酸盐、钒化合物与水均匀混合后置于反应容器内并密封,于120-180℃、保温0.5-24h,得到絮状钒掺杂锗酸盐纳米线。本发明钒掺杂锗酸盐纳米线具有良好的...
  • 本发明公开,首先以硝酸锌和硫脲在乙二胺和水的混合溶剂中,在150—200℃下反应8—10小时,得到硫化锌杂化纳米片;然后分散在乙二胺中,加入水和氯化镉,在120-200℃下反应3-6小时即可得到硫化镉纳米等级结构材料。本发明采用离子交换水热合成法,工艺简单,成本低,制备出的树枝状CdS纳米棒长度在...
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