微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明涉及,属于生物传感器制备领域。本发明第一步为多壁碳-二氧化锡-壳聚糖纳米复合材料及0.5%Nafion溶液的制备以多壁碳、二氧化锡、壳聚糖为原料,利用多壁碳-二氧化锡-壳聚糖复合材料的良好电化学氧化还原活性、好的生物相溶性以及高度的化学稳定性,修饰工作电极以促进电子转移;第二步为乙酰胆碱酯酶...
  • ,其特征是块体硅作或经过元素掺杂的块体硅为阳极,钨棒或钼棒为阴极,调节两极间距在10~30mm;将反应室抽真空,充入一定比例的氢气和惰性气体;再将自动控制直流电弧金属纳米粉生产设备与冷却水系统相连接,接通电源并起弧,调节电流和两极间距,形成稳定的电弧;在氢等离子体热源作用下,阳极蒸发为气相硅原子态...
  • ,采用粒径为40~70nm的高能球磨纳米磁性碳化铬作为磁流体中的磁性微粒,水溶液配料法制备前驱体,铬氧化物直接碳化法制备纳米碳化铬;高能球磨后制得纳米磁性碳化铬,然后将纳米磁性碳化铬微粒预分散于基液中,表面改性后得到纳米碳化铬磁流体。本发明制备的纳米碳化铬粒径为40~70nm,而且团聚并不严重,经...
  • 本发明涉及一种太赫兹频扫H面扇形喇叭天线及其在体硅MEMS工艺下的制备方法,适用于太赫兹波段通信及探测等应用。本发明的太赫兹频扫H面扇形喇叭天线采用了多个具有有益效果的结构喇叭天线的侧壁展开方式选取了弯曲渐开,使得天线的等相位面能够发生变化,产生波束偏转;渐开的曲线选取了两条平滑过渡的对数曲线,使...
  • 本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法,所述制造方法具有下述步骤在硅层(10)的现有的(110)-表面定向的情况下,通过在所述硅层(10)的正面(12)上至少实施与晶体定向相关的蚀刻步骤从至少一个单晶的硅层(10)至少部分地结构化出至少一个结构(42、46),其中在硅层(10)的现有的(110)-...
  • ,包括以下步聚1)形成前驱物气体;2)称量原料;3)将步骤2)所得的前体放入60-70℃的真空烘箱中干燥10~30小时后放入气氛保护管式真空炉中,并置于导电基材上,然后通入氮气或氩气,再通入前驱物气体;4)将步骤3)中获得的产物制得分散粉体,并用酚醛树脂-P123高分子共聚物-原硅酸乙酯的溶胶等体...
  • 本发明方法具体是。首先,将疏水性的环氧化上转换发光纳米晶分散在环己烷中;然后将其加入到半胱氨酸和二氯甲烷的混合溶液中,并在常温常压条件下反应一定的时间,形成功能化的纳米粒子;最后,将其酸化,即得到半胱氨酸改性的稀土上转换发光纳米晶。本发明方法具有工艺简单,操作方便,结构易控的优势。改性的纳米荧光材...
  • 本发明涉及,包括GeI4作为锗源溶解于油胺中,加入金纳米粒子作为催化剂,在无水无氧、320-350℃的条件下反应,用乙醇或正己烷离心、洗涤三次后,在真空干燥箱中室温下干燥,得到锗纳米线。本发明不同于传统的固相法——化学气相沉积,其合成温度低,工艺简单,成本低廉。专利说明[0001]本发明属于纳米线...
  • 本发明提供了一种用于形成MEMS器件的方法。该方法包括以下步骤提供具有第一部分和第二部分的衬底;在衬底的第一部分上制造膜式传感器;以及在衬底的第二部分上制造体硅传感器。本发明还提供了一种MEMS器件。专利说明MEMS器件及其形成方法[0001]本发明总体涉及半导体工艺,更具体地,涉及微机...
  • 本发明涉及MEMS晶体管及其制造方法。公开了用于CMOS集成电路的FBEOL层级的MEMS晶体管。该MEMS晶体管包括集成电路内的腔。具有两端的MEMS悬臂开关被设置在该腔中且在两端中的至少一端被锚定。栅极和漏极位于该腔的侧壁中且与MEMS悬臂开关分隔开一间隙。响应于施加到栅极的电压,MEMS悬臂...
  • 本发明公开了一种,包括以下步骤首先,以多形貌稀土上转换发光纳米晶为核,用十六烷基三甲基溴化铵为辅助剂将疏水性稀土上转换纳米晶转换为亲水性;而后,将亲水性上转换纳米晶分散在混合溶液中;滴加正硅酸乙酯,生成介孔二氧化硅直接包覆的稀土上转换纳米晶;去除模板剂,即得到一种多功能介孔纳米荧光材料。本发明提供...
  • 本发明公开了一种具有减反射微观结构的纳米颗粒系统及其制备方法,以及采用该纳米颗粒系统制备太阳能集热器的光能吸收器的方法及太阳能集热器,其中该纳米颗粒系统的制备包括蝶翅的选择和前处理、沉积贵金属纳米颗粒,及沉积硫族半导体纳米颗粒等步骤。本发明制备的纳米颗粒系统实现了大尺度化,且具有蝶翅的减反射微观结...
  • 本发明涉及,属于新材料与纳米材料。本发明将金属催化硅腐蚀技术与原电池腐蚀技术有效结合,直接利用溶解于氢氟酸溶液中的氧气作为促进硅腐蚀的氧化剂,不需要添加其它氧化剂如双氧水、硝酸铁等。该技术简单易行,可以实现多种形貌硅微纳米结构材料的规模化制备。所制备的硅微纳米结构材料在太阳能电池、锂离子电池、热电...
  • 本发明公开一种。该检测芯片包括基板、活性试剂、亲水性液滴及亲油性物质。基板包括设置有第一容置槽,其中第一容置槽包括彼此相邻的第一空间及第二空间。活性试剂配置于第一容置槽的第一空间中。亲水性液滴配置于第一容置槽的第二空间中。亲油性物质配置于第一容置槽中,其中亲油性物质与活性试剂及亲水性液滴不互溶,且...
  • 本发明公开了一种通过铁盐调控的α型三氧化二铁微纳米材料的制备方法。本发明在4-羟乙基哌嗪乙磺酸(HEPES)水溶液中加入不同种类的铁盐水溶液,采用水热法,通过冷却、离心、洗涤和热处理等操作,分别得到球形、多孔棒状和立方块状α型三氧化二铁微纳米材料,大小10nm~1.8μm。本发明采用的方法具有简单...
  • 本发明涉及一维核壳纳米结构的自组装制备,1)首先,利用液相合成方法在水溶液体系中合成贵金属纳米颗粒;2)将得到的贵金属纳米颗粒分散在无机盐和乙醇的混合溶液中;3)取一定量的碱性溶液,比如氨水的乙醇溶液,加入混合溶液,而后加入SiO2前驱体的醇溶液,搅拌一定时间,离心得到自组装链状且具有SiO2壳层...
  • 本发明涉及一种一维纳米结构的自组装制备,1)首先,利用液相合成方法在水溶液体系中合成贵金属纳米颗粒;2)将得到的贵金属纳米颗粒分散在无机盐和醇的混合溶液中;3)取一定量的碱性溶液,比如氨水的乙醇溶液,加入混合溶液,搅拌一定时间,离心得到自组装链状的金属纳米结构。本发明可以组装具有不同颗粒大小的一维...
  • 本发明公开了,该方法首先在衬底上制作一层聚合物薄膜或金属薄膜的牺牲层然后在牺牲层上涂覆一层光刻胶,制作得到大高宽比微结构,最后去除牺牲层,获得自支撑大高宽比聚合物结构。本发明的有益效果为通过在衬底与微结构之间添加辅助牺牲层,克服了现有技术中衬底与微结构之间不易剥离的技术问题,大大提高了器件的良率,...
  • 本发明提供,属于化学传感领域。按一定比例配制LiCl·H2O和Pebax的醇溶液作为纺丝前驱体液体,纺得Pebax纳米纤维阻抗与湿度的关系较为灵敏。Pebax本身具有较好的耐化学性、柔韧性、透气性、生物相容性等性能,结合LiCl·H2O化学性能稳定的优点,该传感纤维具有精度高、响应迅速等优点,使其...
  • 本发明公开了一种金纳米棒单颗粒SPR探针的制备方法,以及用该探针来监测纳米载药释放动力学的方法。在含有表面活性剂CTAB的HAuCl4中,加入还原剂抗坏血酸和通过NaBH4还原所得的金种子,得到金纳米棒溶液,随后离心提纯。调节pH在碱性条件下,加入TEOS乙醇溶液作为硅源,室温下搅拌反应。将得到的...
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