微观装置的制造及其处理技术
  • 本发明公开。该红外成像探测器包括衬底;若干一维半导体碳纳米管或者半导体性碳纳米管薄膜条带,位于所述衬底上;非对称接触电极,包含呈相间排布的叉指状电极结构的若干第一电极和若干第二电极。该方法首先采用蒸发驱动自组装的方法在衬底上排列若干一维半导体碳纳米管或者若干半导体性碳纳米管薄膜条带;然后在其上形成...
  • ,属于纳米光子材料及器件。在缓冲层基体的缓冲层上制备光刻胶纳米光栅结构,将金纳米颗粒胶体溶旋涂在光栅表面并限制到光栅凹槽中,加热处理使金表面的有机配合基升华,金纳米颗粒熔融,形成金属光子晶体;混有固化剂的柔性衬底液涂到金属光子晶体上,盖上另一片缓冲层基体,加热进行交联聚合,置于盐酸或硫酸溶液中,使...
  • 本发明涉及化学领域,具体涉及。该方法包括A.在氮气环境中,将油酸和油胺的混合物加热;B.保持加热后温度,在第一设定时间内注入碲的三辛基氧膦萃取前驱物,在第二设定时间内进行化学反应得到碲纳米线;C.将碲纳米线所在的溶液降温,同时向该溶液注入铋或铅的三辛基氧膦萃取前驱物和苯肼,得到金属碲化物;D.待C...
  • 本发明公开了一种铑钯合金纳米晶的制备方法,将六氯铑酸钠和四氯钯酸钠溶解于乙二醇得到混合溶液Ⅰ,将聚乙烯吡咯烷酮、抗坏血酸和溴化钾溶解于乙二醇得到混合溶液Ⅱ;将混合溶液Ⅱ加热至80~160℃,再将混合溶液Ⅰ以1~6mL/h的速度滴加到混合溶液Ⅱ中,得到所述的铂钯合金纳米晶;所述六氯铑酸钠的浓度为0....
  • 本发明涉及一种利用二次阳极氧化铝模板制备TiO2纳米管的方法;其TiO2纳米管直径为80~120nm,管壁厚度约为20nm。利用三电极体系进行控电位沉积;将二次阳极氧化铝膜电极置于三氯化钛电解液中,控电位沉积TiO2纳米管,沉积电位为-0.7~-0.9V,电解液温度为5~35℃;然后将二次阳极氧化...
  • 本发明公开了,该方法包括如下步骤(1)清洗硅片,去除表面杂质和氧化层;(2)在硅片上涂覆负性光刻胶,并进行前烘;(3)用PDMS模板作为压印模板,进行压印工艺,得到光刻胶半球阵列结构;(4)用氧等离子体进行刻蚀,得到跨尺度的光刻胶阵列结构;(5)将跨尺度的光刻胶阵列结构进行热解,得到三维跨尺度碳电...
  • 本发明公开,该方法包括(1)使用磁控溅射技术在气体传感器四角元器件基底上溅射一层纯ZnO薄膜;(2)配制生长花状ZnO纳米棒团簇的溶液;(3)将溅射有ZnO薄膜的四角元器件基底放在所配制溶液中,在烘箱中分两步进行化学溶解,获得花状ZnO纳米棒团簇;(4)将四角元器件基底焊在元器件上并对乙醇进行气敏...
  • 本发明涉及,包括如下步骤1)提供亲水的或疏水的可密封容器;2)提供纳米碳材料的水性分散溶液,加入到上述容器中;3)加入与水互不相溶的有机相;4)加入含C10-C18烷基链的季铵盐阳离子表面活性剂;5)振荡或搅拌以形成微乳液,使纳米碳材料从水溶液中转移到微乳液液滴的表面;6)停止振荡或搅拌,静置或不...
  • 本发明公开了,制备方法是将三聚氰胺粉末加入到耐高温容器中,并将耐高温容器放到振动器上振动处理;然后将耐高温容器加盖放入程序升温控制的装置中,以较高的升温速率升温至第一预设温度,保持一段时间;继续将程序升温控制的装置以较低的升温速率进一步升温至第二预设温度,保持一段时间;将得到的产品冷却至室温后研磨...
  • 本发明公开了一种制备层状Sn-ZSM-5沸石分子筛的方法,该方法使用的模板剂为十六烷基三甲基对甲基苯磺酸铵盐,在杂金属原子锡(Sn)盐存在下通过水热合成的办法,一步法直接得到骨架含有杂金属原子Sn的层状纳米ZSM-5丝光沸石分子筛(Sn-ZSM-5)。本发明与现有技术相比最显著的优点在于Sn-ZS...
  • 本发明公开了共掺杂导电氧化锌粉体材料及其制备方法。该材料是将掺杂化合物与锌盐化合物配制成一定摩尔比的盐溶液,然后与一定浓度的沉淀剂双滴加到高速搅拌的去离子水中得到白色沉淀物;将沉淀物继续陈化一定时间,抽滤、水洗、醇洗、干燥、研磨、煅烧得到共掺杂导电氧化锌粉体。该掺杂氧化锌粉体中掺杂离子与锌离子的摩...
  • 本发明公开了。其特征在于在油相体系中将油相组分、乳化剂按照一定添加比进行混合;水分散体系中将分散稳定剂、表面活性剂、纳米氧化锌粉体按照一定添加比加入水中进行混合;两相分别混合均匀并加热到一定温度后,在快速搅拌下将两相均质混合,并冷却到室温,形成稳定的乳液分散体系。由上述方法所制备的纳米氧化锌复合分...
  • 本发明涉及,属于无机纳米材料。首先将可溶性易分解金属盐与水和乙醇的混合溶液配置成前驱体溶液,将上述步骤制备得到的前驱体溶液经超声波雾化得到雾滴;在载气或风扇作用下,将上述步骤制备得到雾滴带入到微波中,快速干燥热解,能制备得到纳米粉体,纳米粉体为纳米壳层金属氧化物或复合氧化物粉体。本发明利用超声波和...
  • ,将附有Pt纳米颗粒的硅片放入清洁的石英舟内,使Si衬底相对于前躯体粉末在石英舟中的位置位于气流的下游,然后将石英舟置于电阻炉的恒温区,向炉腔内第一次通入氮气,以赶出残余的空气;然后,使电阻炉的温度升到设定温度,向炉腔内通入氨气后,在硅衬底上得到笋形GaN纳米线。本发明以Ga2O3为镓源、氨气为氮...
  • 本发明公开了一种用于气敏传感器的分级自组装ZnO微纳结构(包括微球和花状结构)的制备方法,其特征在于以水溶性锌盐作为制备分级自组装ZnO微纳结构的前驱体,十六烷基溴化铵和抗坏血酸作为模板剂,在碱性条件下生成ZnO沉淀,不需要较长时间的洗涤过程就可得到纯净的分级自组装ZnO微纳结构。本发明方法操作简...
  • 本发明公开了,包括A选取一端封闭,另一端边缘为扶手椅型的C(6.6)单壁纳米管;B在石墨烯片层原材料中选取一个零维石墨烯纳米盘,将零维石墨烯纳米盘的中心部位进行碳原子去除以形成缺陷形状,缺陷形状与步骤A中的C(6.6)单壁纳米管的扶手椅型边缘相匹配;C将所述C(6.6)单壁纳米管的扶手椅型边缘与所...
  • 本发明涉及,所述方法包括(1)配制醋酸锰溶液;(2)对多壁碳纳米管进行预处理;(3)将所述醋酸锰溶液倒入多壁碳纳米管制得前驱液;(4)调节直流电压和衬底温度,在衬底上进行沉积,沉积开始前预通氮气,制备薄膜后在氮气气氛下进行烧结,制得氧化锰/多壁碳纳米管复合薄膜电极。本发明实现了氧化锰/多壁碳纳米管...
  • 本发明提供一种碳纳米管制备装置,包括一反应腔,所述反应腔内设置有至少一个进气管,每个进气管上设有多个进气孔;基片承载盘;至少一个出气管,每个出气管上设有多个出气孔;其中,所述基片承载盘位于所述进气管和所述出气管之间,每个进气管和每个出气管可拆卸的安装在所述反应腔中。通过对传统碳纳米管阵列生长用CV...
  • 本发明属于无机材料制备领域,特别是涉及一种金红石型二氧化钛微纳米材料及其低温制备方法。通过水热法,制备出由一维纳米线为基元结构组成的金红石微纳米材料。所述一维纳米线直径5~10nm,纳米线长度200~300nm,微球直径约400~600nm。本发明制备过程中所用的原料均廉价易得,工艺流程简单、易操...
  • 本发明公开了一种多巴胺-黑色素纳米微球修饰的电化学传感器,它主要特征为在玻碳电极表面涂有多巴胺-黑色素纳米微球敏感膜。其制法为将多巴胺-黑色素纳米微球加入蒸馏水中并超声分散均匀,得到多巴胺-黑色素纳米微球分散液,然后将多巴胺-黑色素纳米微球分散液涂覆到玻碳电极表面,氮气干燥既得所需电化学传感器。本...
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