金属披覆板的电浆蚀刻进度监测结构的制作方法

文档序号:5285656阅读:340来源:国知局
专利名称:金属披覆板的电浆蚀刻进度监测结构的制作方法
技术领域
本实用新型是与印刷电路板的加工有关,更详而言之,乃是指一种用来指示蚀刻状态的金属披覆板的电浆蚀刻进度监测结构。
缘是,依据本实用新型所提供的一种金属披覆板的电浆蚀刻进度监测结构,该金属披覆板是由一金属层以及一树脂层相互贴附而成, 其中,该监测结构是为在该金属层形成的至少一镂空部位,沿该镂空部位的一边缘向对边延伸若干指示条,该等指示条是与该对边相距预定距离,且该等指示条的宽度是呈等差级数渐宽,各指示条间是相隔预定距离;由此,在进行电浆蚀刻时,最窄的指示条底部的树脂层会最先被完全蚀刻,而使该最窄的指示条弯曲,随着蚀刻的继续进行,该等指示条会依序由窄至宽逐一弯曲,以指示该位置的蚀刻状态。
其中,该监测结构是为形成于该金属层上的相邻二镂空部位,该等指示条乃是由该等镂空部位的相邻一侧缘背向延伸而成。
其中,该等指示条的间距是相同。
其中,该等指示条的长度是相同。
请再参阅图2,是说明本实用新型的使用原理,图2(A)是显示指示条14下方的树脂层9尚未被蚀刻前的状态,随着电浆蚀刻的进行,如图2(B)所示,各该指示条14底部的树脂层9即渐向下且向旁侧蚀刻,最窄的指示条14底部的树脂层9会最先被蚀刻完毕而弯曲,然后依序弯曲,操作者即可依据第几个指示条14弯曲来看出蚀刻效果;如图3所示,在使用时,可将待蚀刻的金属披覆板5上设置多个监测结构10,该等监测结构10是位于该金属层7上的待蚀刻电路8之间,于该树脂层9进行电浆蚀刻时,即可由该监测结构10得知该树脂层9上各个位置的蚀刻速率,亦可得知蚀刻器材的腔室内的各位置的蚀刻速率。
经由上述的结构及说明,可清楚的了解本实用新型可明确指示出蚀刻的速率,在金属披覆板上设置多个本实用新型10,即可在蚀刻时显示出该金属层7各位置的蚀刻速率,亦可显示出电浆蚀刻设备的腔室内各位置的蚀刻速率,进而可供操作者判断每次蚀刻时的最佳操作模式,达到缩短蚀刻时间、降低原物料成本的效果,解决了现有方式所面临的问题。
权利要求1.一种金属披覆板的电浆蚀刻进度监测结构,该金属披覆板是由一金属层以及一树脂层相互贴附而成,其特征在于,其中,该监测结构是为在该金属层形成的至少一镂空部位,沿该镂空部位的一边缘向对边延伸若干指示条,该等指示条是与该对边相距预定距离,且该等指示条的宽度是呈等差级数渐宽,各指示条间是相隔预定距离。
2.依据权利要求1所述的金属披覆板的电浆蚀刻进度监测结构,其特征在于,其中,该监测结构是为形成于该金属层上的相邻二镂空部位,该等指示条乃是由该等镂空部位的相邻一侧缘背向延伸而成。
3.依据权利要求1所述的金属披覆板的电浆蚀刻进度监测结构,其特征在于,其中,该等指示条的间距是相同。
4.依据权利要求1所述的金属披覆板的电浆蚀刻进度监测结构,其特征在于,其中,该等指示条的长度是相同。
专利摘要本实用新型是有关于一种金属披覆板的电浆蚀刻进度监测结构,该金属披覆板是由一金属层以及一树脂层相互贴附而成,其中,该监测结构是为在该金属层形成的至少一镂空部位,沿该镂空部位的一边缘向对边延伸若干指示条,该等指示条是与该对边相距预定距离,且该等指示条的宽度是呈等差级数渐宽,各指示条间是相隔预定距离;由此,在进行电浆蚀刻时,最窄的指示条底部的树脂层会最先被完全蚀刻而使该最窄的指示条弯曲,随着蚀刻的继续进行,该等指示条会依序由窄至宽逐一弯曲,以指示该位置的蚀刻状态。
文档编号C25F3/00GK2579914SQ0228741
公开日2003年10月15日 申请日期2002年11月26日 优先权日2002年11月26日
发明者池万国 申请人:联测科技股份有限公司
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