片式中大功率半导体元件引线框架的电解除油装置的制作方法

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种片式中大功率半导体元件引线框架的电解除油装置。

背景技术：

电解除油是在碱性溶液中，以零件为阳极或阴极，采用不锈钢板、镍板、镀镍钢板或钛板为第二电极，在直流电作用下将零件表面的油污除去的过程。在中大功率半导体元件引线框架的制造过程中需要对冲压后的裸铜板进行电解除油，目前有针对成卷的冲压裸铜板进行电解除油的装置，但是该类除油装置一般是将卷式的冲压裸铜板静止地放置在盛满碱液的除油槽内，这样在应用到片式的冲压螺铜板时，一方面片式的冲压裸铜板与电极的连接非常不方便，另一方面片式冲压裸铜板放置在除油槽内可能会互相重叠，导致表面的油污无法完全去除，去油效果较差，因此目前亟需设计一种专门针对片式中大功率半导体元件引线框架的电解除油装置。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是：提供一种片式冲压裸铜板与电极连接方便、各冲压裸铜板之间不会相互重叠、除油效果较好的片式中大功率半导体元件引线框架的电解除油装置。

本发明的技术解决方案是：一种片式中大功率半导体元件引线框架的电解除油装置，包括除油槽和整流器，其特征在于：还包括并排设置在除油槽上部的用于传送和电连接片式裸铜板的多个导电辊、以及设置在除油槽底部的导电板，所述多个导电辊与整流器的正极或负极电连接，所述导电板与整流器的另一极电连接，所述导电辊由驱动装置驱动旋转，所述各导电辊的底部均设有绝缘套，以使电力线绕开导电辊的底部而穿过放置在导电辊上的片式裸铜板。

采用上述结构后，本发明具有以下优点：

本发明片式中大功率半导体元件引线框架的电解除油装置只要将整流器的正极或负极与各导电辊电连接，即可使放置在导电辊上的片式冲压裸铜板与整流器的正极或负极电连接，从而使得片式冲压裸铜板与电极的连接非常方便；同时将导电板与整流器的另一极电连接，就可使冲压裸铜板与导电板之间、以及各导电辊与导电板之间产生电势差，而在各导电辊的底部均设置绝缘罩，就可使电力线绕开导电辊的底部而几乎全部穿过放置在导电辊上的片式裸铜板，从而可对冲压裸铜板进行电解除油，除油效果更好；此外将冲压裸铜板分开摊在导 电辊上也使得各冲压裸铜板之间不会相互重叠，且冲压裸铜板在导电辊的传动下，使各个部位均能经过各导电辊之间的间隙，从而可使电力线能穿过冲压裸铜板的各个部位进行电解除油，除油效果较好。

作为优选，所述除油槽内沿导电辊的传送方向上依次设有阴极电解槽和阳极电解槽，所述阴极电解槽和阳极电解槽的底部均设有导电板，所述阴极电解槽内的多个导电辊与整流器的负极电连接，所述阴极电解槽内的导电板与整流器的正极电连接，所述阳极电解槽内的多个导电辊与整流器的正极电连接，所述阳极电解槽内的导电板与整流器的负极电连接。该设置不仅对冲压裸铜板进行阴极电解除油，而且还对冲压裸铜板进行阳极电解除油，不仅利用了阴极除油速度快的优点，而且还使阴极电解除油时渗入到冲压裸铜板中的氢气被阳极电解除油过程中产生的氧气全部去除，从而消除了氢脆。

作为优选，还包括横跨阴极电解槽和阳极电解槽的前支撑板和后支撑板，所述各导电辊的两端分别通过导电转轴转动连接在前后支撑板上。该设置可将导电辊简单可靠地安装在阴极除油槽内和阳极除油槽内。

作为优选，所述各导电辊的导电转轴与后支撑板转动连接的一端伸出到后支撑板外，还包括一用于各导电辊的导电转轴滚动连接的第一电极连接件，所述阴极电解槽内的各导电辊通过第一电极连接件与整流器的负极电连接，所述阳极电解槽内的各导电辊通过第一电极连接件与整流器的正极电连接。该设置可利用一与阴极除油槽内的各导电辊的导电转轴滚动连接的第一电极连接件来实现电连接，连接方式简单可靠。

作为优选，所述阴极电解槽和阳极电解槽中还分别设置一竖直的第二电极连接件，所述阴极电解槽的第二电极连接件的一端与导电板电连接，另一端与整流器的正极电连接，所述阳极电解槽的第二电极连接件的一端与导电板电连接，另一端与整流器的负极电连接。该设置使整流器与导电板的连接简单可靠。

作为优选，所述第二电极连接件的外部包覆绝缘层。该设置可防止第二电极连接件与导电辊发生短路。

作为优选，所述第一电极连接件包括横跨在阴极除油槽和阳极电解槽的各导电辊的导电转轴的上方的支架、以及嵌入到支架的各通孔中的电极头，所述各电极头的底部分别与相应的导电辊的导电转轴滚动连接，所述阴极除油槽内的各电极头与整流器的负极电连接，所述阳极除油槽内的各电极头与整流器的正极电连接。该第一电极连接组件所需部件少，结构简单，电连接可靠。

作为优选，所述电极头由黄铜制成。黄铜不仅导电性能好，而且密度大，可在导电转轴 的转动下保持平稳可靠的电性连接。

附图说明：

图1为本发明包括阴极电解槽和阳极电解槽的片式中大功率半导体元件引线框架的电解除油装置；

图2为仅包括阴极电解槽的片式中大功率半导体元件引线框架的电解除油装置；

图3为第一电极连接件与导电辊的电连接结构示意图；

图中：1-除油槽，2-整流器，3-导电辊，4-导电板，5-绝缘套，6-阴极电解槽，7-阳极电解槽，8-前支撑板，9-后支撑板，10-导电转轴，11-第一电极连接件，12-第二电极连接件，13-支架，14-电极头，15-通孔，18-裸铜板。

具体实施方式

下面结合附图，并结合实施例对本发明做进一步的说明。

实施例：

如图1、图2、图3所示，一种片式中大功率半导体元件引线框架的电解除油装置，包括除油槽1和整流器2，其特征在于：还包括并排设置在除油槽1上部的用于传送和电连接片式裸铜板18的多个导电辊3、以及设置在除油槽1底部的导电板4，所述多个导电辊3与整流器2的正极或负极电连接，所述导电板4与整流器2的另一极电连接，所述导电板4可为网状，所述导电辊3由驱动装置驱动旋转，所述各导电辊3的底部均设有绝缘套5，以使电力线绕开导电辊3的底部而穿过放置在导电辊3上的片式裸铜板18。

采用上述结构后，本发明具有以下优点：

本发明片式中大功率半导体元件引线框架的电解除油装置只要将整流器2的正极或负极与各导电辊3电连接，即可使放置在导电辊3上的片式冲压裸铜板18与整流器2的正极或负极电连接，从而使得片式冲压裸铜板18与电极的连接非常方便；同时将导电板4与整流器2的另一极电连接，就可使冲压裸铜板18与导电板4之间、以及各导电辊3与导电板4之间产生电势差，而在各导电辊3的底部均设置绝缘罩，就可使电力线绕开导电辊3的底部而几乎全部穿过放置在导电辊3上的片式裸铜板18，从而可对冲压裸铜板18进行电解除油，除油效果更好；此外将冲压裸铜板18分开摊在导电辊3上也使得各冲压裸铜板18之间不会相互重叠，且冲压裸铜板18在导电辊3的传动下，使各个部位均能经过各导电辊3之间的间隙，从而可使电力线能穿过冲压裸铜板18的各个部位进行电解除油，除油效果较好。

作为优选，所述除油槽1内沿导电辊3的传送方向上依次设有阴极电解槽6和阳极电解槽7，所述阴极电解槽6和阳极电解槽7的底部均设有导电板4，所述阴极电解槽6内的多个导电辊3 与整流器2的负极电连接，所述阴极电解槽6内的导电板4与整流器2的正极电连接，所述阳极电解槽7内的多个导电辊3与整流器2的正极电连接，所述阳极电解槽7内的导电板4与整流器2的负极电连接。该设置不仅对冲压裸铜板18进行阴极电解除油，而且还对冲压裸铜板18进行阳极电解除油，不仅利用了阴极除油速度快的优点，而且还使阴极电解除油时渗入到冲压裸铜板18中的氢气被阳极电解除油过程中产生的氧气全部去除，从而消除了氢脆。

作为优选，还包括横跨阴极电解槽6和阳极电解槽7的前支撑板8和后支撑板9，所述各导电辊3的两端分别通过导电转轴10转动连接在前后支撑板8、9上。该设置可将导电辊3简单可靠地安装在阴极除油槽1内和阳极除油槽1内。

作为优选，所述各导电辊3的导电转轴10与后支撑板9转动连接的一端伸出到后支撑板9外，还包括一用于各导电辊3的导电转轴10滚动连接的第一电极连接件11，所述阴极电解槽6内的各导电辊3通过第一电极连接件11与整流器2的负极电连接，所述阳极电解槽7内的各导电辊3通过第一电极连接件11与整流器2的正极电连接。该设置可利用一与阴极除油槽1内的各导电辊3的导电转轴10滚动连接的第一电极连接件11来实现电连接，连接方式简单可靠。

作为优选，所述阴极电解槽6和阳极电解槽7中还分别设置一竖直的第二电极连接件12，所述阴极电解槽6的第二电极连接件12的一端与导电板4电连接，另一端与整流器2的正极电连接，所述阳极电解槽7的第二电极连接件12的一端与导电板4电连接，另一端与整流器2的负极电连接。该设置使整流器2与导电板4的连接简单可靠。

作为优选，所述第二电极连接件12的外部包覆绝缘层。该设置可防止第二电极连接件12与导电辊3发生短路。

作为优选，所述第一电极连接件11包括横跨在阴极除油槽1和阳极电解槽7的各导电辊3的导电转轴10的上方的支架13、以及嵌入到支架13的各通孔15中的电极头14，所述各电极头14的底部分别与相应的导电辊3的导电转轴10滚动连接，所述阴极除油槽1内的各电极头14与整流器2的负极电连接，所述阳极除油槽1内的各电极头14与整流器2的正极电连接。该第一电极连接组件所需部件少，结构简单，电连接可靠。

作为优选，所述电极头14由黄铜制成。黄铜不仅导电性能好，而且密度大，可在导电转轴10的转动下保持平稳可靠的电性连接。

本实施例中，通过整流器2加在导电板4和导电辊3上的电压为5-6V，电流为40-50A，碱性除油剂的温度为50-60°，导电辊3的传送速度为2-3m/min。