孔15b的面(在图9中是下侧的面)抵接在螺栓头141的背面侧141a。
[0142]接着，在图6中，以第二泵8的叶轮82中的圆筒部822c (图8)为下侧的状态，从贯通孔82ai将螺栓14贯穿插入。
[0143]此时，叶轮82的圆盘状部件82a的背面(在图8中是下侧的面:叶片82b侧的面)中的半径方向内侧的区域以与第2固定部件15中的大径孔15a的开口侧的端面抵接的方式配置。
[0144]如果将第二泵8的叶轮82向螺栓14贯穿插入，则在图6中，从第I固定部件12(参照图13)的小径突出部12b侧向螺栓14贯穿插入。
[0145]当使第I固定部件12贯穿插入在螺栓14上时，将第I固定部件12的小径突出部12b与第二泵8的叶轮82中的上方圆盘状部件82a的贯通孔82ai (参照图8)嵌合，并且与第2固定部件15的大径孔15a (参照图9)嵌合。
[0146]在使第I固定部件12贯穿插入到螺栓14上之后，将异物排出泵9的壳体91从突出圆筒部91c侧向螺栓14贯穿插入。此时，如图6所示，以将壳体91推下的方式向螺栓14贯穿插入，直到第I固定部件12的轴部12a (参照图13)的上端突出到壳体91中的底部91b的上方。
[0147]在将壳体91贯穿插入在螺栓14上的状态下，将异物排出泵9的叶轮92从下方圆盘部件92a的贯通孔92ai (参照图11)向螺栓14贯穿插入。当将叶轮92向螺栓14贯穿插入时，如图6所示，使下方圆盘部件92a (参照图11)的下表面与第I固定部件12的上端抵接。
[0148]如果以第2固定部件15、第二泵8的叶轮82、第I固定部件12、异物排出泵9的壳体91、异物排出泵9中的叶轮92的顺序贯穿插入到固定螺栓14上，则如图6所示，使螺栓14的阳螺纹143与形成在泵驱动轴10的前端上的阴螺纹1i旋合，并利用预定的工具紧固。
[0149]由此，将第二泵8的叶轮82及异物排出泵9的叶轮92固定到泵驱动轴10前端上。
[0150]如图1和图5所示，泵装置100的最下方被罩部件Cb覆盖。
[0151]罩部件Cb通过将第二泵8的吸入侧覆盖，来防止比较大的异物被吸引到泵装置100内部。
[0152]在图5中，罩部件Cb具有圆筒部Cba和底部Cbb。并且，罩部件Cb在从底部Cbb直到圆筒部Cba的垂直方向中间的区域由开设有例如许多圆孔的冲切金属构成。虽然没有图示，但罩部件Cb整个区域浸渍在工作流体中。
[0153]虽然没有明确图示，但在底部Cbb的外缘附近，为了将罩部件Cb安装到第二外壳4 (参照图1)上，而形成有安装螺栓B2用的螺栓贯穿插入孔。
[0154]进而，在壳体81上也形成有安装螺栓B2用的螺栓贯穿插入孔(在图7中省略图示
[0155]在图1、图5中，安装螺栓B2贯通形成在罩部件Cb及泵壳体81上的螺栓贯穿插入孔，螺栓B2前端的阳螺纹与形成在第二外壳4的下端面上的阴螺纹4m (参照图2)旋合。
[0156]由于安装螺栓B2的螺栓头的背面抵接在罩部件Cb的底部Cbb的外缘附近，所以安装螺栓B2的轴力被传递给罩部件Cb。
[0157]在图5中，螺栓BI是用来将壳体91安装到第二外壳4侧的螺栓。
[0158]在图6中，在异物排出泵9的壳体91上，在底部91b的半径方向外缘部附近的4个部位形成有用于使螺栓BI贯穿插入的贯穿插入孔(省略图示)。
[0159]在图5和图6中，在异物排出泵9中的上方盖部件93 (图6)和圆筒状导向部件7中的底部73 (图5)上，也分别形成有螺栓BI的贯穿插入孔(未图示)。
[0160]安装螺栓BI贯通形成在壳体91、上方盖部件93、圆筒状导向部件7上的螺栓贯穿插入孔。在图1中，螺栓BI前端的阳螺纹(未图示)与形成在第二外壳4的下端面上的阴螺纹4p (参照图2)旋合。
[0161]如图6所示，由于安装螺栓BI的头的背面抵接在壳体9中的底部91b的半径方向外缘部附近，所以安装螺栓BI的轴力被传递给壳体91。
[0162]接着，参照图1、图4?图6，对工作流体的流动进行说明。
[0163]更详细地讲，说明从混入有异物的工作流体分离异物并将清洁化的工作流体和包含异物的流体分别从放出口 26、46ο排出的过程。
[0164]为了防止图示的复杂，在图1中省略了工作流体的流动中的F6?F10。
[0165]第I实施方式的泵装置100例如安设在贮存有工作流体的未图示的箱的盖体的上方。即，泵装置100中的第一外壳的凸缘43通过未图示的固定螺栓被载置固定在未图示的箱的盖上。
[0166]并且，泵装置100下端的罩部件Cb浸渍在未图示的箱内的工作流体中。
[0167]在图1中，当使泵装置100中的未图示的动作开关成为“0Ν”的状态时，电动马达I开始旋转。与电动马达I的旋转一起，泵驱动轴10旋转，安装在泵驱动轴10的前端侧的第二泵8的叶轮82旋转。此外，直接固定在泵驱动轴10的前端上的异物排出泵9的叶轮92也旋转。
[0168]在图5和图6中，未图示的箱中的工作流体被第二泵8的叶轮82吸起(图5和图6的箭头Fl的流动)，流过第二泵8的壳体81与异物排出泵9的壳体91之间的环状间隙(箭头F2的流动)，向图4中的旋风分离器上方腔室44流入(图4的箭头F3的流动)。
[0169]虽然省略图示，但可以在圆筒状壳体5的半径方向内侧和圆筒状导向部件7的半径方向外侧设置螺旋状的引导部件，从而增大由箭头F3表示的回转流的回转分量。
[0170]在图4中，在从旋风分离器上方腔室44经由旋风分离器流入口 6ai流入到旋风分离器6内的工作流体中，将不包含切肩等比重大的异物的清洁的工作流体用箭头F4、F5表不O
[0171]该清洁的工作流体被从旋风分离器放出管60的下端部60a向第一泵3侧(上方)吸入，在旋风分离器放出管60中上升。接着，流入吸入侧连接部件30的中空部30i，并流入第一泵3 (箭头F6的流动)。
[0172]流入到吸入侧连接部件30的中空部30i中的工作流体通过第一泵单元31的叶轮31b的离心力被附加扬程而流速增加(箭头F7)，并向叶轮31b的半径方向外侧放出。
[0173]向叶轮31b的半径方向外侧放出的工作流体在泵外壳31a的内壁面上折回(箭头F8)，向下段的泵单元32流入。
[0174]接下来，在各级的泵单元32?35中升压(箭头F8、箭头F9)，从泵放出口 3o流过第一外壳2的流路24和放出口 26(F10)，经由未图示的连接器及配管例如被输送至未图示的机床。
[0175]在流入到旋风分离器6内的工作流体中，比重大的异物被回转流F4的离心力向旋风分离器内周面6i侧推压，沿着旋风分离器内周面6i下降(箭头Fdl的流动)。
[0176]如图5和图6所示，含有在内周面6i下降的异物的工作流体在旋风分离器流出口 6ο被作为节流部件的圆锥部件13节流，增加流速，向异物排出泵的叶轮92流入(箭头Fd2)o并且，如图1、图5和图6所示，包含异物的流体通过叶轮92的旋转而扬程增加并增速，从叶轮92放出(箭头Fd3)。
[0177]如图1所示，从叶轮92放出的工作流体(箭头Fd3:包含异物的工作流体)在异物排出管11中流动(箭头Fd4)，经由流路46 (箭头Fd5)从放出口 46ο放出(Fd6)。
[0178]接着，经由未图示的配管输送至未图示的异物处理设备。关于该异物处理设备，可以应用公知技术的设备，不特别存在限定条件。
[0179]如图1所示，从第一外壳2经由第二外壳4形成有返回流路Ld。
[0180]返回流路Ld作为泄漏至机械密封件MS上方的工作流体的排放流路发挥功能，从第一外壳2的圆筒状中空部21的底部角部(角落)，经由外壳下端面2e的半径方向外缘部，在第一泵3的外壳的半径方向外缘附近沿垂直方向延伸，连通到第二外壳4的下端面上的半径方向外缘附近的开口部Lde。
[0181]在第I实施方式的泵装置100中，抑制了工作流体向比机械密封件MS靠上方的区域的泄漏。即使工作流体泄漏到比机械密封件MS靠上方的区域，该泄漏的工作流体也经由返回流路Ld返回到开口部Lde。
[0182]开口部Lde的位置设置在相对于形成在安装凸缘43上的安装用的螺栓孔40h为半径方向内侧的位置。
[0183]如上所述，泵装置100安设在贮存工作流体的未图示的箱的上方，在未图示的箱的盖上例如形成贯通孔，将安装凸缘43的半径方向内侧的台阶部通过套筒接合安装到该未图示的贯通孔中。安装凸缘43的半径方向内侧的台阶部由附图标记Tm (图4)表示，台阶部Tm的外径尺寸等于未图示的箱的盖的贯通口的内径。
[0184]在图1中，上述泄漏的工作流体经由返回流路Ld、开口部Lde和该贯通孔返回到未图示的贮存箱内。
[0185]根据参照图1?图13以上描述的第I实施方式的泵装置100，由于第一泵3由具有叶轮的离心泵构成，所以关于大流量(例如，150升/分或其以上的流量)也能够应对。因此，能够应对机床的冷却剂处理的大流量化。
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