技术总结
本发明提供一种能够分别设定冷却电子部件的多个单元(构件)的冷却条件的电子部件输送装置以及电子部件检查装置。电子部件输送装置具有载置电子部件并能够冷却上述电子部件的第一载置部、以及载置上述电子部件并能够冷却上述电子部件的第二载置部,该电子部件输送装置能够分别设定上述第一载置部的冷却条件和上述第二载置部的冷却条件。另外,电子部件输送装置具有能够把持上述电子部件且能够冷却上述电子部件的第一臂、以及能够把持上述电子部件且能够冷却上述电子部件的第二臂,该电子部件输送装置能够分别设定上述第一臂的冷却条件和上述第二臂的冷却条件。
技术研发人员:清水博之;前田政己;山崎孝;桐原大辅
受保护的技术使用者:精工爱普生株式会社
文档号码:201610608422
技术研发日:2016.07.28
技术公布日:2017.02.15