技术总结
本发明涉及一种用于翘曲变形测试的样品制备方法，其特征是，包括以下步骤：（1）将待测样品放置在样品台上，样品台中间为放置待测样品的放置区域，在放置区域的周围设置凸台；（2）在待测样品的上方放置白色胶膜，白色胶膜的边缘托放在凸台上；（3）在样品台上方的压力滚轮向下挤压，并且压力滚轮从一侧向另一侧滚压，使白色胶膜与待测样品紧密贴；（4）将待测样品从样品台上取下，并将待测样品边缘多余的白色胶膜切割去除。本发明在样品表面涂覆一层白色胶膜，该白色胶膜的厚度控制更加均匀；测试完毕后胶膜可以很容易去除，不会对样品表面造成污染；升温过程中胶膜不易挥发，不会对光栅和样品测试结果造成影响。
技术研发人员：刘海燕
受保护的技术使用者：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
文档号码：201611258886
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.06.09