技术特征：
技术总结
本发明公开了一种半导体设备的任务终止方法，其中，半导体设备可同时运行多个任务，该方法包括以下步骤：接收终止目标任务的终止指令；获取目标任务对应的晶圆所在的模块；判断晶圆所在的模块是否为多个任务共用的模块；如果晶圆所在的模块是多个任务共用的模块，则控制晶圆移动至目标任务的工艺模块或装卸载模块，并在晶圆移动至工艺模块或装卸载模块之后停止目标任务；如果晶圆所在的模块不是多个任务共用的模块，则立即停止目标任务。根据本发明实施例的半导体设备的任务终止方法，可以有效提高如CVD等半导体设备的工作效率和使用效率。本发明还公开了一种半导体设备的任务终止系统。
技术研发人员：隋英丽
受保护的技术使用者：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
技术研发日：2016.01.06
技术公布日：2017.07.14